本發(fā)明涉及對冷卻對象進行冷卻的冷卻裝置。

背景技術(shù)：

成膜裝置、蒸鍍裝置等真空處理裝置具備低溫機構(gòu)，低溫機構(gòu)通過使裝置內(nèi)的氣體凝結(jié)而將其捕捉，從而對真空處理裝置內(nèi)進行減壓(例如，參照專利文獻1)。另外，在真空處理裝置中，使用例如利用熱輻射冷卻作為處理對象的基板的冷卻板(例如，參照專利文獻2)。冷卻板被在配置于冷卻板的內(nèi)部的配管中流動的冷卻水冷卻，通過與基板相對的冷卻板的相對面從基板吸熱，從而冷卻基板。

現(xiàn)有技術(shù)文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開平11-166477號公報

專利文獻2：日本特開2005-332619號公報

但是，在通過冷卻板冷卻基板時，優(yōu)選將冷卻板的相對面的大小設(shè)定得接近基板的大小，并將基板與相對面之間的距離設(shè)定得小。但是，冷卻板的相對面變得越大，冷卻板與真空處理裝置的內(nèi)周面的間隙變得越小，并且使冷卻板的相對面越接近基板，冷卻板與基板的間隙變得越小。其結(jié)果，表示排氣能力的傳導(dǎo)率(conductance)、即排氣速度下降。

另外，這樣的問題不限于冷卻體被冷卻水冷卻的冷卻裝置，即使在利用低溫機構(gòu)進行冷卻的冷卻裝置也同樣會產(chǎn)生。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的在于，提供一種能抑制收納冷卻對象的空間中的排氣速度的下降的冷卻裝置。

根據(jù)一個方式的冷卻裝置包括：冷卻部；以及冷卻體，其包括與所述冷卻部連接的第1面和所述第1面相反側(cè)的第2面，所述冷卻體被所述冷卻部冷卻。所述冷卻體進一步包括使氣體在所述第1面與所述第2面之間流動的通道。

根據(jù)上述構(gòu)成，由于在冷卻體形成有使氣體在第1面和第2面之間流動的通道，所以與不具有通道的構(gòu)成相比，沿冷卻體的第1面的氣體的流動以及沿第2面的氣體的流動被促進。因此，氣體容易向冷卻體流動，其結(jié)果，抑制收納冷卻對象的空間中的排氣速度的下降。

在一個實施方式中，所述冷卻體也可以具有沿相互交叉的第1方向和第2方向延伸的板形狀。所述通道也可以是沿所述第1方向延伸，并將所述冷卻體劃分為多個冷卻部件的狹縫。在該情況下，所述多個冷卻部件也可以具有2種以上的不同的大小。

在一個實施方式中，所述冷卻體也可以具有沿相互交叉的第1方向和第2方向延伸的板形狀。所述冷卻體也可以包括沿所述第1方向延伸，并將所述冷卻體劃分為多個冷卻部件的至少兩個狹縫。在該構(gòu)成中，各狹縫作為所述通道發(fā)揮作用。所述多個冷卻部件也可以包括：兩個端部件，其位于所述冷卻體在所述第2方向上的兩端；以及至少一個中間部件，其位于所述兩個端部件之間。在該情況下，所述兩個端部件中的至少一個也可以比所述中間部件小。

根據(jù)上述構(gòu)成，由于通道(狹縫)位于冷卻體的兩端附近，所以在冷卻體的周圍流動的氣體容易流入冷卻體的通道中。因此，沿第1面的氣體的流動和沿第2面的氣體的流動被促進，抑制收納冷卻對象的空間中的排氣速度的下降。

在一個實施方式中，所述冷卻體也可以具有沿相互交叉的第1方向和第2方向延伸的板形狀。所述冷卻體包括沿所述第1方向延伸并將所述冷卻體劃分為多個冷卻部件至少兩個狹縫。在該構(gòu)成中，各狹縫作為所述通道發(fā)揮作用。所述多個冷卻部件也可以包括：兩個端部件，其位于所述冷卻體在所述第2方向上的兩端；以及至少一個中間部件，其位于所述兩個端部件之間。在該情況下，所述至少一個中間部件中的至少1個也可以比所述兩個端部件的每一個小。

根據(jù)上述構(gòu)成，由于在冷卻體的周圍流動的氣體流入位于冷卻體的中央附近的通道(狹縫)中，所以沿冷卻體的第1面的氣體的流動和沿第2面的氣體的流動被促進。因此，抑制收納冷卻對象的空間中的排氣速度的下降。

在一個實施方式中，所述冷卻體也可以具有沿相互交叉的第1方向和第2方向延伸的板形狀。所述通道也可以是沿所述第1方向延伸并將所述冷卻體劃分為多個冷卻部件的狹縫。在這種情況下，所述多個冷卻部件也可以具有大致相同的形狀。另外，所述多個冷卻部件也可以在所述第2方向上等間隔地配置。

根據(jù)上述構(gòu)成，在整個第1面上的沿第1面的氣體的流動被促進。此外，在整個第2面上的沿第2面的氣體的流動也被促進。因此，抑制收納冷卻對象的空間中的排氣速度的下降。

在一個實施方式中，優(yōu)選地，所述多個冷卻部件中的至少一個是相對于由所述第1方向和所述第2方向劃定的基準面傾斜的傾斜部件。所述傾斜部件在所述第2方向上的一端具有緣。在這種情況下，優(yōu)選地，所述緣與在所述第2方向上相鄰的所述多個冷卻部件中的一個冷卻部件重疊。

根據(jù)上述構(gòu)成，由于傾斜部件的緣與相鄰的冷卻部件重疊，所以在從與第2面相對的位置觀察冷卻體時，不能目視確認兩個冷卻部件之間的間隙(即，狹縫)。也就是說，第2面的整個面通過多個冷卻部件而在與冷卻卻對象相對的方向上無間隙地形成。其結(jié)果，冷卻裝置對冷卻對象進行冷卻的效率提高。

附圖說明

圖1是示出被搭載于真空處理裝置的冷卻裝置的一個實施方式的概要框圖。

圖2是將冷卻體與基準面一起示出的立體圖。

圖3是示出冷卻體的第2面的俯視圖。

圖4是示出冷卻體和冷媒通道的剖視圖。

圖5是示出冷卻體的第1面的俯視圖。

圖6是示出變形例中的冷卻體的第2面的俯視圖。

圖7是將變形例中的冷卻體與基準面一起示出的立體圖。

圖8是將其他變形例中的冷卻體與基準面一起示出的立體圖。

圖9是示出變形例中的冷卻體的第2面的俯視圖。

具體實施方式

參照圖1-圖5對冷卻裝置的一個實施方式進行說明。另外，在本實施方式中，冷卻裝置被搭載于作為真空處理裝置的一例的成膜裝置。以下，依次對成膜裝置的概要結(jié)構(gòu)、冷卻裝置的結(jié)構(gòu)以及冷卻裝置的作用進行說明。

[成膜裝置的概要結(jié)構(gòu)]

參照圖1對成膜裝置的概要結(jié)構(gòu)進行說明。圖1是示意性地示出在從上表面觀察成膜裝置時的結(jié)構(gòu)的框圖。

如圖1所示，冷卻裝置10具備冷卻部11和被冷卻部11冷卻的冷卻體12，冷卻體12包括與冷卻部11連接的第1面12a和第1面12a相反側(cè)的第2面12b。

冷卻裝置10搭載于成膜裝置100。成膜裝置100例如為濺射裝置和蒸鍍裝置中的某一個。成膜裝置100具備：真空槽101，其收納冷卻裝置10的冷卻對象tg(成膜對象)；成膜部102，其向冷卻對象tg放出成膜原料；以及支承部103，其支承冷卻對象tg的下端。在成膜裝置100為濺射裝置時，成膜部102是陰極裝置，在成膜裝置100為蒸鍍裝置時，成膜部102是蒸鍍源。

在成膜裝置100中，冷卻裝置10以冷卻體12的第2面12b與成膜部102相對的狀態(tài)配置，在冷卻體12與成膜部102相對的方向上，支承部103位于冷卻體12與成膜部102之間。

成膜裝置100具備排氣部104，排氣部104將成膜裝置100的內(nèi)部減壓為規(guī)定的壓力且在成膜裝置100的內(nèi)部形成氣體的流動。

在對冷卻對象tg進行成膜處理時，冷卻裝置10對冷卻對象tg進行冷卻。另外，冷卻裝置10通過凝結(jié)真空槽101內(nèi)的氣體，從而降低收納冷卻對象tg的空間的壓力。冷卻體12的第2面12b與冷卻對象tg之間的距離定義為第1距離l1。該第1距離l1例如為數(shù)十mm程度。另外，冷卻體12的緣和與該冷卻體12的緣相對的真空槽101的內(nèi)周面的距離定義為第2距離l2。該第2距離l2的最小值例如為數(shù)十mm程度。

[冷卻裝置的結(jié)構(gòu)]

參照圖2-圖5對冷卻裝置10的構(gòu)成進行更詳細地說明。

如圖2所示，冷卻體12具有沿相互交叉的第1方向d1和第2方向d2延伸的板形狀。在本例中，第1方向d1和第2方向d2相互正交。冷卻體12包括使氣體在第1面12a與第2面12b之間流動的至少一個通道。在本例中，冷卻體12包括將冷卻體12劃分為多個冷卻部件21的多個狹縫21s，各狹縫21s作為通道而設(shè)置。各狹縫21s沿第1方向d1延伸。所有的多個冷卻部件21具有大致相同的形狀，并在第2方向d2上等間隔地排列。

根據(jù)該冷卻體12，在第1面12a的整體上容易形成沿第1面12a的氣體的流動，另外在第2面12b的整體上也容易形成沿第2面12b的氣體的流動。因此，抑制真空槽101內(nèi)、即收納冷卻對象tg的空間中的排氣速度的下降。

在本例中，各冷卻部件21作為相對于由第1以及第2方向d1、d2劃定的基準面r傾斜的傾斜部件21t而設(shè)置。也就是說，各傾斜部件21t相對于冷卻體12的基準面r傾斜。各傾斜部件21t在第2方向d2上的一端具有緣21e。各傾斜部件21t的緣21e與在第2方向d2上相鄰的傾斜部件21t重疊。

多個傾斜部件21t大致平行地設(shè)置。各傾斜部件21t相對于基準面r的傾角θ只要大于0°且小于或等于90°即可，優(yōu)選為30°以上且60°以下。傾角θ只要考慮冷卻體12吸熱的效率和排氣速度而設(shè)定即可。

各傾斜部件21t具有與冷卻部11連接的第1傾斜面21a和與冷卻對象tg相對的第2傾斜面21b。并且，多個第1傾斜面21a構(gòu)成冷卻體12的與冷卻部11連接的第1面12a。另外，多個第2傾斜面21b構(gòu)成冷卻體12的與冷卻對象tg相對的第2面12b。換句話來講，各第1傾斜面21a包括第1面12a的不同的一部分，各第2傾斜面21b包括第2面12b的不同的一部分。

也就是說，如圖2以及圖3所示，由于各傾斜部件21t的緣21e與在第2方向d2上相鄰的傾斜部件21t重疊，所以多個傾斜部件21t在基準面r的一側(cè)構(gòu)成第1面12a，在基準面r的另一側(cè)構(gòu)成第2面12b。

因此，在成膜裝置100中，在從冷卻對象tg觀察冷卻體12時，第2面12b目視確認為單一面，且目視確認為不存在貫通第2面12b與第1面12a之間的間隙。也就是說，與第2面12b相對的冷卻對象tg的所有的部分與冷卻部件21相對。換句話來講，第2面12b的整個面通過多個冷卻部件21而在與冷卻對象tg相對的方向上無間隙地形成。

如此，由于各傾斜部件21t的緣21e與在第2方向d2上相鄰的傾斜部件21t重疊，所以在從與第2面12b相對的位置觀察冷卻體12時，不能目視確認到兩個傾斜部件21t之間的間隙。也就是說，與第2面12b相對的冷卻對象tg的所有的部分與傾斜部件21t相對。其結(jié)果，冷卻裝置10對冷卻對象tg進行冷卻的效率提高。

各傾斜部件21t為金屬制的板部件，傾斜部件21t的形成材料只要是例如不銹鋼、鈦合金、或者銅等即可。

在各傾斜部件21t中，優(yōu)選為第2傾斜面21b的至少一部分具有黑色，更優(yōu)選為整個第2傾斜面21b具有黑色。另外，在這種情況下，優(yōu)選為第2傾斜面21b的黑色部分的輻射率為0.8以上，更優(yōu)選為整個第2傾斜面21b的輻射率為0.8以上。通過第2傾斜面21b具有黑色，從而使得冷卻體12吸收從冷卻對象tg輻射的熱的效率提高，其結(jié)果，冷卻體12對冷卻對象tg的冷卻效率提高。

另外，在各傾斜部件21t中，第1傾斜面21a的至少一部分也可以具有黑色。例如，在各傾斜部件21t中，第1傾斜面21a的至少一部分的輻射率也可以是0.8以上。在各傾斜部件21t中，上述傾角θ越大，冷卻對象tg與第2傾斜面21b之間的距離和冷卻對象tg與第1傾斜面21a之間的距離之差越小。因此，由于傾角θ越大，第1傾斜面21a有助于冷卻對象tg的冷卻的程度越大，所以優(yōu)選為第1傾斜面21a的至少一部分也具有黑色。

另外，具有黑色的第1傾斜面21a和第2傾斜面21b例如能通過將傾斜部件21t上的各個第1傾斜面21a和各個第2傾斜面21b氧化而形成。另外，也能通過在構(gòu)成傾斜部件21t的板部件上涂布具有黑色的涂料，從而將第1傾斜面21a和第2傾斜面21b的顏色形成為黑色。

與此相對，在第2傾斜面21b上容易引起氣體凝結(jié)的情況下，第1傾斜面21a的表面粗度也可以小于第2傾斜面21b的表面粗度。在此，第1傾斜面21a也可以是臺階面，該臺階面具有不改變傾斜部件21t的輻射率但稍微改變傾斜部件21t的吸熱量的程度的臺階。或者，第1傾斜面21a也可以是具有改變傾斜部件21t的輻射率的程度的微小的臺階的臺階面。

此外，第1傾斜面21a也可以是具有這2種臺階的雙方的臺階面。即使在第1傾斜面21a具有這2種臺階的某一個的情況下，通過將第1傾斜面21a的臺階設(shè)定得比第2傾斜面21b的臺階小，從而能將在第1傾斜面21a的吸熱量設(shè)定得小。

因此，通過將第1傾斜面21a的表面粗度設(shè)定得比第2傾斜面21b的表面粗度小，從而與第1傾斜面21a的表面粗度為第2傾斜面21b的表面粗度以上的構(gòu)成相比，第1傾斜面21a不容易吸熱。其結(jié)果，與第1傾斜面21a的溫度不容易上升相對應(yīng)地，在第1傾斜面21a上容易引起氣體的凝結(jié)。

第1傾斜面21a的表面粗度例如能通過對第1傾斜面21a進行鏡面加工，從而設(shè)定得比第2傾斜面21b的表面粗度小。

圖4是示出沿與基準面r正交的面的冷卻體12以及冷媒通道(冷卻部11)的剖視圖。

如圖4所示，冷卻部11具備：管狀的冷媒通道11a，其供對冷卻體12進行冷卻的冷媒通過；以及冷媒循環(huán)部11b，其與冷媒通道11a連接。冷媒循環(huán)部11b與冷媒通道11a上的兩個端部連接，將冷媒的溫度保持為規(guī)定的溫度，并且使冷媒從冷媒通道11a的一個端部朝向另一個端部循環(huán)。

冷媒通道11a為金屬制的管部件，冷媒通道11a的形成材料優(yōu)選為例如銅或者具有與銅相同程度的熱傳導(dǎo)率的金屬。冷媒通道11a被在冷媒通道11a的內(nèi)部流動的冷媒直接冷卻，冷媒通道11a的溫度被冷卻到例如90k以上且150k以下。由此，氣體在冷媒通道11a的外表面上凝結(jié)，從而真空槽101內(nèi)被減壓。

各傾斜部件21t的第1傾斜面21a安裝到冷媒通道11a上的一部分，各傾斜部件21t被在冷媒通道11a流動的冷媒冷卻。傾斜部件21t的溫度被冷卻到例如與冷媒通道11a相同的程度，從而在各傾斜部件21t的第1傾斜面21a以及第2傾斜面21b上凝結(jié)氣體。

另外，冷媒通道11a的外表面也可以具有黑色，具有黑色的外表面能通過氧化冷媒通道11a的外表面而形成。或者，也可以通過鍍覆法在構(gòu)成冷媒通道11a的管部件的外表面上形成具有黑色的金屬膜。另外，通過在構(gòu)成冷媒通道11a的管部件涂布具有黑色的涂料，從而能將冷媒通道11a的外表面的顏色形成為黑色。

冷媒通道11a多少受到冷卻對象tg輻射的熱。通過冷媒通道11a的外表面為黑色，從而與冷媒通道11a的外表面為黑色以外的顏色的情況相比，能提高冷卻裝置10對冷卻對象tg的冷卻效率。

在第2方向d2上相鄰的兩個傾斜部件21t之間的距離(相鄰的兩個緣21e之間的距離)l優(yōu)選為50mm以上且100mm以下。通過將距離l設(shè)定為50mm以上，真空槽101內(nèi)的氣體容易流入狹縫21s。另外，通過將距離l設(shè)定為100mm以下，能將第2方向d2上的傾斜部件21t的寬度形成為容易被冷媒通道11a冷卻的大小。

如圖5所示，在從與第1面12a相對的位置觀察時，冷媒通道11a具有折線形狀，該折線形狀具有多個折彎部分。例如，冷媒通道11a由多個直線部分11a1和多個折彎部分11a2構(gòu)成，多個直線部分11a1沿第1方向d1延伸，在相鄰的兩個直線部分11a1之間各設(shè)置一個折彎部分11a2，多個折彎部分11a2沿第2方向d2延伸。

沿第1方向d1的各直線部分11a1的長度大致相等，多個直線部分11a1在第2方向d2上等間隔地配置。

通過各直線部分11a1安裝于一個傾斜部件21t的第1傾斜面21a，從而多個傾斜部件21t在第2方向d2上連續(xù)。沿第1方向d1的各傾斜部件21t的長度比沿第1方向d1的各直線部分11a1的長度大。因此，在冷媒在直線部分11a1中流動的期間，在直線部分11a1與傾斜部件21t之間通過冷媒進行熱交換。因此，與在第1方向d1上直線部分11a1從傾斜部件21t突出的構(gòu)成相比，對傾斜部件21t進行冷卻的效率提高。

[冷卻裝置的作用]

以下，對冷卻裝置10的作用進行說明。

在圖1中，在第1距離l1為數(shù)十mm程度時，真空槽101內(nèi)的氣體幾乎不流入冷卻對象tg與冷卻體12的第2面12b之間。因此，在冷卻體12如以前那樣由單一板構(gòu)成時，在冷卻體12的第2面12b上幾乎不產(chǎn)生氣體的流動。由此，由于在冷卻體12的第2面12b上幾乎不產(chǎn)生氣體的凝結(jié)，所以在第2面12b上的排氣速度下降。

在第2距離l2為數(shù)十mm程度時，氣體也不容易進入冷卻體12的緣與真空槽101的內(nèi)周面之間。因此，在冷卻體12如以前那樣由單一板構(gòu)成時，在冷卻體12的第1面12a上也幾乎不產(chǎn)生氣體的流動。其結(jié)果，在第1面12a上的排氣速度也下降。

與此相對，在上述的冷卻裝置10中，冷卻體12具有狹縫21s，狹縫21s作為將冷卻體12的第1面12a和第2面12b之間貫通的至少一個通道。因此，與由不具有狹縫的單一板構(gòu)成的以前的冷卻體相比，在狹縫21s中的壓力下降，真空槽101內(nèi)的氣體通過狹縫21s在第2面12b與第1面12a之間流動。由此，在各冷卻體12的第1面12a和第2面12b上產(chǎn)生氣體的流動，也容易引起氣體的凝結(jié)。其結(jié)果，抑制冷卻裝置10的排氣速度下降。

如上所述，根據(jù)冷卻裝置的一個實施方式，能得到以下列舉的效果。

(1)由于在冷卻體12上形成有使氣體在第1面12a與第2面12b之間流動的通道，所以與不具有通道的構(gòu)成相比，沿冷卻體12的第1面12a的氣體的流動和沿第2面12b的氣體的流動被促進。因此，氣體容易向冷卻體12流入，其結(jié)果，抑制收納有冷卻對象tg的空間中的排氣速度的下降。

(2)多個冷卻部件21具有大致相同的形狀，并且在第2方向d2上等間隔地排列。因此，在整個第1面12a上的沿第1面12a的氣體的流動被促進。此外，在整個第2面12b上的沿第2面12b的氣體的流動也被促進。其結(jié)果，抑制收納有冷卻對象tg的空間中的排氣速度的下降。

(3)各傾斜部件21t在第2方向d2上的一端具有緣21e，各傾斜部件21t的緣21e與在第2方向d2上相鄰的傾斜部件21t重疊。因此，在從與第2面12b相對的位置(即、冷卻對象tg)觀察時，不能目視確認兩個傾斜部件21t之間的間隙。因此，第2面12b的整個面通過多個傾斜部件21t而在與冷卻對象tg相對的方向上無間隙地形成。其結(jié)果，冷卻裝置10對冷卻對象tg進行冷卻的效率提高。

另外，上述的實施方式也能以如下方式適當?shù)刈兏嵤?/p>

·多個傾斜部件21t的傾角θ也可以彼此不同。即使是這樣的構(gòu)成，只要各傾斜部件21t的緣21e與在第2方向d2上相鄰的傾斜部件21t重疊，就能得到與上述(3)相同的效果。

·各傾斜部件21t由緣21e劃定，具有位于冷卻部11附近的基端和在第2方向d2上位于基端(緣21e)相反側(cè)的頂端。在上述實施方式中，各傾斜部件21t以基端(緣21e)比頂端位于上方的方式相對于基準面r以正斜率傾斜(參照圖2以及圖4)，但是也可以形成為以基端(緣21e)比頂端位于下方的方式相對于基準面r以負斜率傾斜?；蛘撸鄠€傾斜部件21t也可以包含以正斜率傾斜的部件和以負斜率傾斜的部件。

即使是這樣的構(gòu)成，只要各傾斜部件21t的緣21e與在第2方向d2上相鄰的傾斜部件21t重疊，就能得到與上述(3)相等的效果。

·也可以僅使多個傾斜部件21t中的一部分的傾斜部件21t的緣21e與相鄰的傾斜部件21t重疊。即使是這樣的構(gòu)成，在傾斜部件21t的緣21e與相鄰的傾斜部件21t重疊的部分上也能得到與上述(3)相等的效果。

·也可以僅使多個冷卻部件21中的一部分的冷卻部件21由傾斜部件21t構(gòu)成，將剩下的冷卻部件21沿基準面r或者與基準面r平行地配置。即使是這樣的構(gòu)成，在傾斜部件21t的緣21e與相鄰的冷卻部件21重疊的部分上也能得到與上述(3)相等的效果。另外，只要多個冷卻部件21在第2方向d2上被狹縫21s劃分、且多個冷卻部件21具有大致相同的形狀，就能得到與上述(1)以及(2)相等的效果。

·如圖6所示，也可以將冷卻體12的多個冷卻部件31的全部沿基準面r或者與基準面r平行地配置。即使是這樣的構(gòu)成，只要多個冷卻部件31被狹縫31s劃分且多個冷卻部件31具有大致相同的形狀，就能得到與上述(1)以及(2)相等的效果。

·在冷卻體12由多個冷卻部件構(gòu)成的情況下，多個冷卻部件也可以具有2種以上的不同的形狀或者2種以上的不同的大小。

例如，如圖7所示，冷卻體12具有沿第1方向d1和第2方向d2延伸的板形狀。冷卻體12包括將冷卻體12劃分為多個冷卻部件41的多個狹縫41s(在本例中為兩個狹縫41s)，各狹縫41s作為通道而設(shè)置。各狹縫41s沿第1方向d1延伸。多個冷卻部件41包括：兩個端部件41a，其位于第2方向d2上的冷卻體12的兩端；以及至少一個中間部件41b(在本例中為一個中間部件41b)，其在第2方向d2上位于兩個端部件41a之間。各端部件41a的大小小于中間部件41b的大小。

在本例中，在第1方向d1上，各端部件41a的長度與中間部件41b的長度相等。另一方面，在第2方向d2上，各端部件41a的長度比中間部件41b的長度小。

各冷卻部件41是相對于基準面r傾斜的傾斜部件，在第2方向d2上的一端具有緣41e。并且，各冷卻部件41的緣41e與在第2方向d2上相鄰的冷卻部件41重疊。

根據(jù)圖7的構(gòu)成，除了上述(1)以及(3)的效果以外，還能得到以下記載的效果。

(4)由于冷卻體12在第2方向d2上的兩端附近包括通道(狹縫41s)，所以在冷卻體12周圍流動的氣體容易流入冷卻體12的通道中。因此，氣體容易在冷卻體12的第1面12a與第2面12b之間流動。因此，沿第1面12a的氣體的流動以及沿第2面12b的氣體的流動被促進，抑制收納有冷卻對象tg的空間中的排氣速度的下降。

·在圖7的構(gòu)成中，也可以只有多個冷卻部件41中的一部分的冷卻部件41的緣41e與相鄰的冷卻部件41重疊。即使是這樣的構(gòu)成，在冷卻部件41的緣41e與相鄰的冷卻部件41重疊的部分上也能得到與上述(3)相等的效果。另外，也可以僅將多個冷卻部件41中的一部分的冷卻部件41由傾斜部件構(gòu)成，也可以將多個冷卻部件41的全部沿基準面r或者與基準面r平行地配置。即使是這樣的構(gòu)成，只要冷卻體12具有狹縫41s，就能得到與上述(1)相等的效果。

·在圖7的構(gòu)成中，只要位于兩個端部件41a之間的中間部件41b比各端部件41a大，冷卻體12也可以包括兩個以上的中間部件41b。即使是這樣的構(gòu)成，只要各中間部件41b比各端部件41a大，就能得到與上述(4)相等的效果。

·在圖7的構(gòu)成中，也可以只有兩個端部件41a中的一個部件比其他冷卻部件41(另一個端部件41a以及中間部件41b)小。即使是這樣的構(gòu)成，在一個端部件41a(小的端部件41a)所處的部分上也能得到與上述(4)相等的效果。

·在冷卻體12由多個冷卻部件構(gòu)成的情況下，也可以以如圖8所示的形狀、大小形成多個冷卻部件。

如圖8所示，冷卻體12具有沿第1方向d1和第2方向d2延伸的板形狀。冷卻體12包括將冷卻體12劃分為多個冷卻部件51的多個狹縫51s(在本例中為兩個狹縫51s)，各狹縫51s作為通道而設(shè)置。各狹縫51s沿第1方向d1延伸。多個冷卻部件51包括：兩個端部件51b，其位于第2方向d2上的冷卻體12的兩端；以及至少一個中間部件51a(在本例中為一個中間部件51a)，其在第2方向d2上位于兩個端部件51b之間。中間部件51a的大小小于各端部件51b的大小。

在本例中，在第1方向d1上，中間部件51a的長度與各端部件51b的長度相等。另一方面，在第2方向d2上，中間部件51a的長度比各端部件51b的長度小。

各冷卻部件51是相對于基準面r傾斜的傾斜部件，在第2方向d2上的一端具有緣51e。并且，各冷卻部件51的緣51e與在第2方向d2上相鄰的冷卻部件51重疊。

根據(jù)圖8的構(gòu)成，除了上述(1)以及(3)的效果以外，還能得到以下記載的效果。

(5)由于在冷卻體12周圍流動的氣體流入位于冷卻體12的中央附近的通道(狹縫51s)中，所以沿冷卻體12的第1面12a的氣體的流動以及沿第2面12b的氣體的流動被促進。因此，抑制收納有冷卻對象tg的空間中的排氣速度的下降。

·在圖8的構(gòu)成中，也可以只有多個冷卻部件51中的一部分的冷卻部件51的緣51e與相鄰的冷卻部件51重疊。即使是這樣的構(gòu)成，在冷卻部件51的緣51e與相鄰的冷卻部件51重疊的部分上能得到與上述(3)相等的效果。另外，也可以僅將多個冷卻部件51中的一部分的冷卻部件51由傾斜部件構(gòu)成，也可以將多個冷卻部件51的全部沿基準面r或者與基準面r平行地配置。即使是這樣的構(gòu)成，只要冷卻體12具有狹縫51s，就能得到與上述(1)相等的效果。

·在圖8的構(gòu)成中，只要中間部件51a比其他冷卻部件51小，冷卻體12也可以包括四個以上的冷卻部件51。例如，冷卻體12也可以包括兩個端部件51b和位于這些兩個端部件51b之間的兩個中間部件51a。在這種情況下，也可以是各中間部件51a小于各端部件51b，也可以是兩個中間部件51a中的一個小于各端部件51b。也就是說，圖8的構(gòu)成包括位于兩個端部件51b之間的至少一個中間部件51a中的至少一個形成得比各端部件51b小的構(gòu)成。即使是這樣的構(gòu)成，只要中間部件51a比其他冷卻部件51小，就能得到與上述(5)相等的效果。

·在圖1-圖8中，冷卻體12由三個以上的冷卻部件構(gòu)成，但是也可以由兩個冷卻部件構(gòu)成。也就是說，冷卻體12也可以包括兩個冷卻部件和劃分這兩個冷卻部件的單一狹縫(通道)。在這種情況下，兩個冷卻部件也可以以彼此不同的形狀形成，也可以以一個冷卻部件以與另一個冷卻部件不同的大小形成。

·如圖9所示，冷卻體12也可以由具有板形狀的一個冷卻部件61構(gòu)成。冷卻體12作為通道包括沿冷卻部件61的厚度方向貫通冷卻部件61的至少一個貫穿孔61a(在圖9中，九個貫穿孔61a)，各貫穿孔61a沿第1方向d1延伸。多個貫穿孔61a沿第2方向d2排列配置。另外，貫穿孔61a沿第2方向d2延伸，也可以是圓形孔等。

即使是這樣的構(gòu)成，只要冷卻體12具有使氣體在第1面12a與第2面12b之間流動的通道，就能得到與上述(1)相等的效果。

·第2方向d2不限定為與第1方向d1正交的方向，只要是與第1方向d1交叉的方向即可。也就是說，第1方向d1和第2方向d2也可以以90°以外的角度相互交叉。

·冷卻部11不限定為使用冷媒對冷卻體12進行冷卻的機構(gòu)，也可以是低溫機構(gòu)。低溫機構(gòu)只要具備冷凍機和用于將冷凍機連接到冷卻體12的冷卻部件的連接部即可。另外，在冷卻體12由多個冷卻部件構(gòu)成的情況下，冷卻裝置10也可以具備一個低溫機構(gòu)，該低溫機構(gòu)的冷凍機通過連接部連接到多個冷卻部件?；蛘?，冷卻裝置10也可以具備多個低溫機構(gòu)，各低溫機構(gòu)的冷凍機通過對應(yīng)的連接部而與多個冷卻部件中的一個連接。

附圖標記說明

10…冷卻裝置、11…冷卻部、11a…冷媒通道、11a1…直線部分、11a2…折彎部分、11b…冷媒循環(huán)部、12…冷卻體、12a…第1面、12b…第2面、21、31、41、51、61…冷卻部件、21a…第1傾斜面、21b…第2傾斜面、21e、41e、51e…緣、21s、31s、41s、51s…狹縫、21t…傾斜部件、41a、51b…端部件、41b、51a…中間部件、61a…貫穿孔、100…成膜裝置、101…真空槽、102…成膜部、103…支承部、104…排氣部、r…基準面、tg…冷卻對象。