1.一種無旋轉(zhuǎn)終結(jié)點(diǎn)的化學(xué)機(jī)械研磨裝置，其特征在于，包括：
研磨頭承載機(jī)構(gòu)，包括：環(huán)形軌道，其通過支架與立柱固定；
研磨頭控制總成，滑動(dòng)設(shè)于環(huán)形軌道外側(cè)，其內(nèi)部設(shè)有控制其及研磨頭運(yùn)行的研磨頭控制單元；
非接觸式供電系統(tǒng)，包括沿環(huán)形軌道設(shè)置的供電部以及相對(duì)間隙設(shè)于研磨頭控制總成中的受電部；
其中，通過向所述供電部供電以產(chǎn)生磁場(chǎng)，使所述受電部產(chǎn)生磁感應(yīng)電流，并輸出到研磨頭控制單元，以驅(qū)動(dòng)研磨頭在研磨臺(tái)面上完成研磨，以及驅(qū)動(dòng)研磨頭控制總成沿環(huán)形軌道往特定方向作持續(xù)性移動(dòng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無旋轉(zhuǎn)終結(jié)點(diǎn)的化學(xué)機(jī)械研磨裝置，其特征在于，所述供電部沿環(huán)形軌道設(shè)有供電線圈，所述受電部設(shè)有受電線圈，所述非接觸式供電系統(tǒng)通過外部電源向供電線圈輸入電流，使受電線圈產(chǎn)生磁感應(yīng)電流，以向研磨頭控制單元進(jìn)行非接觸式輸電。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的無旋轉(zhuǎn)終結(jié)點(diǎn)的化學(xué)機(jī)械研磨裝置，其特征在于，所述供電部依次連接設(shè)有供電部整流單元、變換單元、供電線圈，所述受電部依次連接設(shè)有受電線圈、受電部整流單元，所述非接觸式供電系統(tǒng)通過外部電源向供電部輸入電流，經(jīng)供電部整流單元整流、變換單元斬波、逆變變換之后進(jìn)入供電線圈，并通過電磁感應(yīng)方式和磁場(chǎng)共振方式由受電線圈接受產(chǎn)生磁感應(yīng)電流，經(jīng)受電部整流單元整流后，通過設(shè)于研磨頭控制總成中的受電單元輸出到研磨頭控制單元。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的無旋轉(zhuǎn)終結(jié)點(diǎn)的化學(xué)機(jī)械研磨裝置，其特征在于，所述外部電源通過鋪設(shè)于立柱及支架中的電纜連接所述供電部。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的無旋轉(zhuǎn)終結(jié)點(diǎn)的化學(xué)機(jī)械研磨裝置，其特征在于，所述供電部還設(shè)有供電部控制單元，用于控制供電部啟閉，所述供電部控制單元通過供電部通信單元接受外部的指令。
6.根據(jù)權(quán)利要求3或5所述的無旋轉(zhuǎn)終結(jié)點(diǎn)的化學(xué)機(jī)械研磨裝置，其特征在于，所述受電部還設(shè)有受電部通信單元，用于向外部傳輸供電信息。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-3任意一項(xiàng)所述的無旋轉(zhuǎn)終結(jié)點(diǎn)的化學(xué)機(jī)械研磨裝置，其特征在于，所述供電部和受電部外部設(shè)有防止磁場(chǎng)泄漏的磁通屏蔽部。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無旋轉(zhuǎn)終結(jié)點(diǎn)的化學(xué)機(jī)械研磨裝置，其特征在于，所述研磨頭控制單元設(shè)有控制研磨頭下壓、抬升、旋轉(zhuǎn)的第一電機(jī)、控制研磨頭控制總成沿軌道移動(dòng)的第二電機(jī)。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的無旋轉(zhuǎn)終結(jié)點(diǎn)的化學(xué)機(jī)械研磨裝置，其特征在于，所述研磨頭控制總成通過分設(shè)于環(huán)形軌道內(nèi)側(cè)和底部的滑輪安裝在環(huán)形軌道外側(cè)，所述滑輪受研磨頭控制單元驅(qū)動(dòng)，帶動(dòng)研磨頭控制總成沿軌道移動(dòng)。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的無旋轉(zhuǎn)終結(jié)點(diǎn)的化學(xué)機(jī)械研磨裝置，其特征在于，所述軌道的內(nèi)側(cè)和底部分設(shè)有用以防止滑輪滑脫的護(hù)板和對(duì)滑輪進(jìn)行側(cè)向限定的凹槽。