技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型提供了一種RH提升氣體閥站，包括一氬氣供應(yīng)主管，所述氬氣供應(yīng)主管上具有一氬氣切斷閥；至少一控流單元，每一所述控流單元具有一進(jìn)氣端以及一出氣端，所述進(jìn)氣端與所述氬氣供應(yīng)主管連接，每一所述控流單元包括至少兩級管路，每級管路上具有一電磁閥和一限流孔板；一真空室插入管，與所述出氣端連接。本實(shí)用新型采用以限流孔板為核心元件的控流單元來分級調(diào)控提升氣體流量，替代造價昂貴的以一體式流量控制器為核心元件的無級調(diào)控提升氣體流量的控流單元，實(shí)現(xiàn)極低成本、高精度的提升氣體流量控制。

技術(shù)研發(fā)人員：歐洪林;許海虹
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中冶南方工程技術(shù)有限公司
文檔號碼：201620491985
技術(shù)研發(fā)日：2016.05.26
技術(shù)公布日：2016.12.07