技術(shù)總結(jié)
一種彈性平面研磨設(shè)備，包括：至少兩個床臺，每一床臺設(shè)有至少一個加工臺面；每個加工臺面設(shè)置有一承載臺；每一個加工臺面上方設(shè)置一個研磨單元，每個研磨單元各包含Z向移動基座、主軸馬達及磨輪，主軸馬達設(shè)置于Z向移動基座上，磨輪與主軸馬達連接，主軸馬達能用以驅(qū)動磨輪旋轉(zhuǎn)，Z向移動基座能沿著X軸及Z軸方向移動，研磨單元的磨輪能用以研磨其所對應(yīng)的加工臺面的承載臺上的載板；每一研磨單元設(shè)置自動測量單元，自動測量單元用于測量其所分別對應(yīng)的加工臺面的承載臺及承載臺上的載板的Z軸方向位置；以及移載單元，用以移載每個承載臺上的載板。借此，床臺獨立，同時作業(yè)不受干擾，穩(wěn)定性較好，且具彈性變化，可形成多樣配置。

技術(shù)研發(fā)人員：李龍生;林勇慶;許峻銘
受保護的技術(shù)使用者：均豪精密工業(yè)股份有限公司
文檔號碼：201620723205
技術(shù)研發(fā)日：2016.07.11
技術(shù)公布日：2017.01.11