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一種具有防護(hù)功能的硅錠拋光機(jī)探測(cè)裝置的制作方法

文檔序號(hào):12419281閱讀:221來源:國(guó)知局
一種具有防護(hù)功能的硅錠拋光機(jī)探測(cè)裝置的制作方法

本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能硅片生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種太陽(yáng)能硅片生產(chǎn)中對(duì)硅錠拋光時(shí)使用的探測(cè)裝置。



背景技術(shù):

太陽(yáng)能硅片在硅錠切割成晶片的過程中,需將硅錠表面進(jìn)行拋光以達(dá)到要求的粗糙度。硅錠在拋光過程中需要用探針探測(cè)硅錠的尺寸及平整度以進(jìn)行自動(dòng)研磨拋光,現(xiàn)有的硅錠拋光機(jī)探測(cè)裝置,如圖1所示,包括一根橫梁1,橫梁1一側(cè)的兩端各安裝有互相平行的伸縮桿2,每個(gè)伸縮桿2上都設(shè)有橡膠材質(zhì)的防護(hù)套6,橫梁1上與伸縮桿2相對(duì)的一側(cè)的兩端各安裝有一個(gè)探針3,使用時(shí)每臺(tái)硅錠拋光機(jī)安裝有上下兩組探測(cè)裝置共4個(gè)探頭可對(duì)硅錠的四個(gè)角進(jìn)行測(cè)量,每次拋光測(cè)量硅錠時(shí)伸縮桿2帶動(dòng)橫梁1和探針3需伸縮約6次,每天拋光硅錠約100顆,探針共伸縮約600次,長(zhǎng)期使用防護(hù)套易破損且不易更換,由于探針暴露在外面,測(cè)量時(shí)研磨廢水會(huì)滴落進(jìn)入探針內(nèi)部,導(dǎo)致探針使用壽命降低。



技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素:

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是:提供一種具有防護(hù)功能的硅錠拋光機(jī)探測(cè)裝置,可解決現(xiàn)有技術(shù)中防護(hù)套不易更換且探針內(nèi)部易滴入廢水的技術(shù)問題,提高探測(cè)裝置使用壽命。

本實(shí)用新型的目的是通過以下技術(shù)措施來實(shí)現(xiàn)的:

一種具有防護(hù)功能的硅錠拋光機(jī)探測(cè)裝置,包括一根橫梁,所述橫梁一側(cè)的兩端設(shè)有兩個(gè)平行的伸縮桿,所述橫梁上與所述伸縮桿相對(duì)的一側(cè)的兩端分別設(shè)有一個(gè)探針,兩個(gè)所述伸縮桿上都設(shè)有螺旋形的防護(hù)圈,兩個(gè)所述探針的外側(cè)都設(shè)有探針護(hù)套。

作為一種改進(jìn)的方案,所述防護(hù)圈包括一根彈簧,所述彈簧的彈簧絲上均勻包裹有橡膠層。

作為一種改進(jìn)的方案,所述探針護(hù)套采用膠套。

作為一種改進(jìn)的方案,所述探針護(hù)套采用不銹鋼鋼套,所述不銹鋼鋼套的外側(cè)的一端設(shè)有螺紋,所述探針護(hù)套的螺紋端安裝在所述橫梁上,所述不銹鋼鋼套外側(cè)未設(shè)有螺紋的部分均勻包裹有防水層。

采用了上述方案后,本實(shí)用新型的有益效果是:

由于本實(shí)用新型一種具有防護(hù)功能的硅錠拋光機(jī)探測(cè)裝置的伸縮桿上設(shè)有防護(hù)圈,可對(duì)伸縮桿具有一定的防護(hù)功能,防護(hù)圈為螺旋形,使用時(shí)將防護(hù)圈纏繞在伸縮桿上即可,便于更換;探針的外側(cè)設(shè)有探針護(hù)套,可防止研磨時(shí)廢水滴入探針內(nèi)部,提高探針使用壽命,防護(hù)套螺紋安裝在橫梁上,便于更換。

由于防護(hù)圈包括一彈簧,彈簧的彈簧絲上均勻包裹橡膠層,使用時(shí)將防護(hù)圈緊密的纏繞在伸縮桿上,不僅具有防水作用而且便于更換。

由于探針護(hù)套采用膠套,使用時(shí)將其套在探針外側(cè)即可,可防止研磨廢水滴入探針內(nèi)部。

由于探針護(hù)套的不銹鋼鋼套外側(cè)一端設(shè)有螺紋,不銹鋼鋼套外側(cè)未設(shè)有螺紋的部分均勻包裹有防水層,使用時(shí)將探針護(hù)套擰緊在橫梁上即可,使用方便,易于更換,同時(shí)具有一定的防水作用,可防止廢水滴入探針內(nèi)部,從而提高探針使用壽命。

綜上所述,本實(shí)用新型一種具有防護(hù)功能的硅錠拋光機(jī)探測(cè)裝置,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,不僅能對(duì)硅錠拋光機(jī)探測(cè)裝置具有一定的防水性能,而且易于更換,便于使用。

附圖說明

圖1為傳統(tǒng)使用的硅錠拋光機(jī)探測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖

圖2為本實(shí)用新型硅錠拋光機(jī)探測(cè)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖3為圖2中防護(hù)圈4的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖4為圖2中探針護(hù)套5的結(jié)構(gòu)示意圖;

圖中:1、橫梁,2、伸縮桿,3、探針,4、防護(hù)圈,41、彈簧,42、橡膠層,5、探針護(hù)套,51、不銹鋼鋼套,52、防水層,6、防護(hù)套。

具體實(shí)施方式

為使本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成的目的與功效易于明白了解,結(jié)合附圖及具體實(shí)施方式,進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。

如圖2、圖3和圖4所示,本實(shí)用新型一種具有防護(hù)功能的硅錠拋光機(jī)探測(cè)裝置包括一根橫梁1,橫梁1一側(cè)的兩端設(shè)有兩個(gè)平行的伸縮桿2,橫梁1上與伸縮桿2相對(duì)的一側(cè)的兩端分別設(shè)有一個(gè)探針3,兩個(gè)伸縮桿2上都設(shè)有螺旋形的防護(hù)圈4,防護(hù)圈4包括一根彈簧41,彈簧41的彈簧絲上均勻包裹有橡膠層42,使用時(shí)將防護(hù)圈4緊密的纏繞在伸縮桿2上即可,兩個(gè)探針3的外側(cè)都設(shè)有探針護(hù)套5,作為一種方案探針護(hù)套5采用膠套,作為另一種方案探針護(hù)套5包括不銹鋼鋼套51,不銹鋼鋼套51的外側(cè)的一端設(shè)有螺紋可安裝在橫梁1上,不銹鋼鋼套51外側(cè)未設(shè)有螺紋的部分均勻包裹有防水層52。

本實(shí)用新型一種具有防護(hù)功能的硅錠拋光機(jī)探測(cè)裝置使用時(shí),每臺(tái)硅錠拋光機(jī)安裝有上下兩組探測(cè)裝置共4個(gè)探頭可對(duì)硅錠的四個(gè)角進(jìn)行測(cè)量,通過防護(hù)圈和探針護(hù)套的設(shè)置,不僅具有一定的防水性能,而且易于更換,便于使用。

上述實(shí)施例為本實(shí)用新型較佳實(shí)施方式,但本實(shí)用新型的實(shí)施并不受上述實(shí)施例的限制,本實(shí)用新型未詳盡描述部分均為公知技術(shù)。

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