本實(shí)用新型涉及爐管設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種進(jìn)氣管安裝結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

爐管設(shè)備制程氣體進(jìn)氣管（gas nozzle ）一般都采用石英制成，進(jìn)氣端固定在法蘭（flange）上，并通過(guò)帶密封圈的螺紋接口與金屬氣管相連。

一般爐管設(shè)備所使用的進(jìn)氣管都比較長(zhǎng)，在安裝的時(shí)候很難保證其垂直度，而進(jìn)氣管一旦稍有傾斜，就可能與晶舟發(fā)生摩擦，從而影響產(chǎn)品，這是本領(lǐng)域技術(shù)人員所不期望見(jiàn)到的。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對(duì)上述存在的問(wèn)題，本實(shí)用新型公開(kāi)一種進(jìn)氣管安裝結(jié)構(gòu)，應(yīng)用于設(shè)置有金屬氣管的爐管設(shè)備中，所述安裝結(jié)構(gòu)包括：

管道夾具（Nozzle Jig），與所述金屬氣管連接；

進(jìn)氣管，所述進(jìn)氣管為直管，且所述進(jìn)氣管可拆卸地固定在所述管道夾具上。

上述的進(jìn)氣管安裝結(jié)構(gòu)，其中，所述管道夾具包括L型結(jié)構(gòu)管路，所述L型結(jié)構(gòu)管路的水平部分與所述金屬氣管連接，所述L型結(jié)構(gòu)管路的豎直部分的外圍設(shè)置有外殼，所述外殼上設(shè)置有定位凹槽。

上述的進(jìn)氣管安裝結(jié)構(gòu)，其中，所述進(jìn)氣管的下端設(shè)置有與所述定位凹槽尺寸相適配的定位孔。

上述的進(jìn)氣管安裝結(jié)構(gòu)，其中，所述安裝結(jié)構(gòu)還包括與所述定位凹槽和所述定位孔相適配的定位銷(xiāo)（lock pin）；

所述進(jìn)氣管通過(guò)所述定位銷(xiāo)可拆卸地固定在所述管道夾具上。

上述的進(jìn)氣管安裝結(jié)構(gòu)，其中，所述安裝結(jié)構(gòu)還包括與所述定位銷(xiāo)相適配的鎖緊裝置；

所述鎖緊裝置用以鎖緊所述定位銷(xiāo)。

上述的進(jìn)氣管安裝結(jié)構(gòu)，其中，所述鎖緊裝置為C型環(huán)（C-ring）。

上述的進(jìn)氣管安裝結(jié)構(gòu)，其中，所述進(jìn)氣管的材質(zhì)為石英。

上述的進(jìn)氣管安裝結(jié)構(gòu)，其中，所述管道夾具的材質(zhì)為金屬。

上述的進(jìn)氣管安裝結(jié)構(gòu)，其中，所述爐管設(shè)備為ALD （Atomic Layer Deposition，原子層沉積）類(lèi)型的爐管設(shè)備。

上述的進(jìn)氣管安裝結(jié)構(gòu)，其中，所述爐管設(shè)備還包括法蘭；所述管道夾具固定設(shè)置于所述法蘭上。

上述實(shí)用新型具有如下優(yōu)點(diǎn)或者有益效果：

本實(shí)用新型公開(kāi)了一種進(jìn)氣管安裝結(jié)構(gòu)，應(yīng)用于設(shè)置有金屬氣管的爐管設(shè)備中，通過(guò)設(shè)置與金屬氣管連接的管道夾具代替原來(lái)的進(jìn)氣管的L 型進(jìn)氣口，并設(shè)置進(jìn)氣管為直管，從而在安裝時(shí)可以直接將進(jìn)氣管插入管道夾具中，并用定位銷(xiāo)與C型環(huán)固定，從而降低了安裝難度，且在安裝時(shí)進(jìn)氣管不會(huì)與晶舟產(chǎn)生摩擦，進(jìn)而提高了產(chǎn)品的良率。

附圖說(shuō)明

通過(guò)閱讀參照以下附圖對(duì)非限制性實(shí)施例所作的詳細(xì)描述，本實(shí)用新型及其特征、外形和優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得更加明顯。在全部附圖中相同的標(biāo)記指示相同的部分。并未可以按照比例繪制附圖，重點(diǎn)在于示出本實(shí)用新型的主旨。

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例中進(jìn)氣管安裝結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例中進(jìn)氣管安裝結(jié)構(gòu)應(yīng)用于爐管設(shè)備中的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和具體的實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的說(shuō)明，但是不作為本實(shí)用新型的限定。

如圖1和圖2所示，本實(shí)施例涉及一種進(jìn)氣管安裝結(jié)構(gòu)，可應(yīng)用于設(shè)置有金屬氣管的爐管設(shè)備中，該安裝結(jié)構(gòu)包括：與金屬氣管連接的管道夾具2和可拆卸地固定在管道夾具2上的進(jìn)氣管1，且該進(jìn)氣管1為直管；具體的，該管道夾具2包括L型結(jié)構(gòu)管路，L型結(jié)構(gòu)管路的水平部分與金屬氣管連接，L型結(jié)構(gòu)管路的豎直部分的外圍設(shè)置有外殼21，外殼21上設(shè)置有定位凹槽22，進(jìn)氣管1的下端設(shè)置有與定位凹槽22尺寸相適配的定位孔11。該安裝結(jié)構(gòu)還包括與定位凹槽22和定位孔11相適配的定位銷(xiāo)3，進(jìn)氣管1通過(guò)該定位銷(xiāo)3可拆卸地固定在管道夾具2上。

在本實(shí)用新型一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施例中，上述安裝結(jié)構(gòu)還包括與定位銷(xiāo)3相適配的鎖緊裝置4；該鎖緊裝置4用以鎖緊定位銷(xiāo)3，進(jìn)一步的，該鎖緊裝置4為C型環(huán)。

在本實(shí)用新型一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施例中，上述進(jìn)氣管1的材質(zhì)為石英。

在本實(shí)用新型一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施例中，上述管道夾具2的材質(zhì)為金屬。

在本實(shí)用新型一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施例中，上述爐管設(shè)備為ALD 類(lèi)型的爐管設(shè)備。

在本實(shí)用新型一個(gè)優(yōu)選的實(shí)施例中，爐管設(shè)備還包括法蘭；且該管道夾具2固定設(shè)置于法蘭上。

本安裝結(jié)構(gòu)在第一次安裝時(shí)，只要保證管道夾具2的垂直度，就能保證后面進(jìn)氣管1的安裝沒(méi)有問(wèn)題。進(jìn)氣管1與管道夾具2的固定是通過(guò)一個(gè)定位銷(xiāo)3卡住位于進(jìn)氣管1末端的凹槽，然后再鎖緊C型環(huán)以完成安裝。再做PM時(shí)或其他需要更換進(jìn)氣管1的操作時(shí)，只需要拆除C型環(huán)與定位銷(xiāo)3就可輕松更換進(jìn)氣管1，且不用考慮進(jìn)氣管1安裝的垂直度問(wèn)題。

本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該理解，本領(lǐng)域技術(shù)人員在結(jié)合現(xiàn)有技術(shù)以及上述實(shí)施例可以實(shí)現(xiàn)變化例，在此不做贅述。這樣的變化例并不影響本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)內(nèi)容，在此不予贅述。

以上對(duì)本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例進(jìn)行了描述。需要理解的是，本實(shí)用新型并不局限于上述特定實(shí)施方式，其中未盡詳細(xì)描述的設(shè)備和結(jié)構(gòu)應(yīng)該理解為用本領(lǐng)域中的普通方式予以實(shí)施；任何熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案范圍情況下，都可利用上述揭示的方法和技術(shù)內(nèi)容對(duì)本實(shí)用新型技術(shù)方案作出許多可能的變動(dòng)和修飾，或修改為等同變化的等效實(shí)施例，這并不影響本實(shí)用新型的實(shí)質(zhì)內(nèi)容。因此，凡是未脫離本實(shí)用新型技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所做的任何簡(jiǎn)單修改、等同變化及修飾，均仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案保護(hù)的范圍內(nèi)。