本實(shí)用新型涉及一種應(yīng)用于真空蒸發(fā)鍍膜領(lǐng)域的有機(jī)蒸發(fā)源，尤其是涉及一種用于電阻加熱式蒸發(fā)鍍膜機(jī)的有機(jī)蒸發(fā)源。

背景技術(shù)：

在真空蒸發(fā)鍍膜行業(yè)中，電阻式加熱蒸發(fā)鍍膜是應(yīng)用最廣泛的一種，而對(duì)于加熱有機(jī)材料來說，有機(jī)蒸發(fā)裝置是蒸發(fā)設(shè)備上最關(guān)鍵的部件之一，尤其是內(nèi)部結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)的是否合理成為蒸發(fā)鍍膜好壞的關(guān)鍵。傳統(tǒng)的有機(jī)蒸發(fā)源缺點(diǎn)有以下幾方面：

1、蒸發(fā)源口部沒有保溫措施，蒸發(fā)的有機(jī)物很容易在口部沉積，口部沉積的物料很容易被蒸汽帶到蒸鍍基板上，而且在加熱的過程中很可能局部溫度過高產(chǎn)生物料飛濺，從而影響了成膜的性能。最有代表性的蒸發(fā)源結(jié)構(gòu)，它是LG電子株式會(huì)社發(fā)表的專利200410056013有機(jī)膜蒸發(fā)源，其核心內(nèi)容是在蒸發(fā)源口部加裝了隔熱阻擋層、保溫層等，以提高口部的溫度防止坩堝口部沉積。此結(jié)構(gòu)在一定程度上提高了蒸發(fā)源上口部的溫度，減少了物料在坩堝口部沉積的幾率，但是這種結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)口部由于沒有熱量補(bǔ)充，是整個(gè)蒸發(fā)源熱量散失最快的部位，理論上很難保證坩堝口部溫度不小于下部物料的溫度，因此無法完全避免坩堝上口部物料在口部的沉積，而且其蒸發(fā)源口部保溫的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)也相對(duì)比較復(fù)雜。

2、傳統(tǒng)有機(jī)蒸發(fā)源的蒸發(fā)口角度不可調(diào)。大多數(shù)有機(jī)蒸發(fā)源直接與腔體用螺絲固定，上面沒有調(diào)整角度的裝置，不能使蒸發(fā)口正對(duì)頂部基片，使有機(jī)材料的利用率大大降低，而且蒸鍍效率明顯下降，即使制作成帶一定角度的蒸鍍?cè)?，但是也不能夠?qū)崿F(xiàn)任意角度的調(diào)整，不僅增加成本，安裝維修也不方便。

3、傳統(tǒng)有機(jī)蒸發(fā)源溫度不可控，本實(shí)用新型采用PID控溫，可控溫度在+-0.5攝氏度。

4、傳統(tǒng)有機(jī)蒸發(fā)源源口擋板與蒸發(fā)源為分體結(jié)構(gòu)，腔體開孔復(fù)雜，安裝不方便。

5、傳統(tǒng)有機(jī)蒸發(fā)源體積過大，同樣腔室內(nèi)只能裝3-4個(gè)蒸發(fā)源，腔室底板利用面積小。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

針對(duì)傳統(tǒng)有機(jī)蒸發(fā)源的眾多缺點(diǎn)和不足，本實(shí)用新型提供了一種用于電阻加熱式蒸發(fā)鍍膜機(jī)的有機(jī)蒸發(fā)源，其第一個(gè)目的是實(shí)現(xiàn)蒸發(fā)源口的長時(shí)間保溫，確保源口溫度與內(nèi)部溫度相同，實(shí)現(xiàn)有效蒸鍍；第二個(gè)目的是實(shí)現(xiàn)所有蒸發(fā)源口正對(duì)頂部基片臺(tái)，提高材料利用率和蒸鍍效率；第三個(gè)目的是實(shí)現(xiàn)蒸鍍溫度實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，使蒸發(fā)溫度與監(jiān)測(cè)溫度相同且溫度可控；第四個(gè)目的是使蒸發(fā)源與源口擋板做成一體，整體體積盡量減小來提高鍍膜機(jī)腔體底板利用率。

為實(shí)現(xiàn)第一個(gè)目的，蒸發(fā)源口的石英坩堝以及帶陶瓷的加熱裝置全部設(shè)置在爐體內(nèi)部，所述的爐體為蒸發(fā)源的保溫屏蔽外殼，石英坩堝全部沉入加熱陶瓷芯內(nèi)部，實(shí)現(xiàn)整體加熱。蒸發(fā)源口周圍用不銹鋼擋片擋住，即避免污染又實(shí)現(xiàn)了保溫。

為實(shí)現(xiàn)第二個(gè)目的，蒸發(fā)源爐體設(shè)計(jì)成正負(fù)45度調(diào)節(jié)功能。所述爐體直接安裝在可調(diào)支板上，可調(diào)支板上開有45度U型孔，與下支板鉸接安裝，轉(zhuǎn)動(dòng)上支板，即可實(shí)現(xiàn)角度調(diào)節(jié)，從而使蒸發(fā)源口正對(duì)基片臺(tái)。

為實(shí)現(xiàn)第三個(gè)目的，本實(shí)用新型采用PID控溫技術(shù)，溫度傳感器直接與坩堝底部接觸，實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)溫度測(cè)量，根據(jù)溫度大小進(jìn)行控溫，溫度控制范圍在+-0.5攝氏度以內(nèi)。

為實(shí)現(xiàn)第四個(gè)目的，擋板旋轉(zhuǎn)采用SMC擺動(dòng)氣缸控制，擋板軸直接從爐體底部穿出，上部伸出爐體，軸與爐體安裝板采用磁流體密封，引線采用玻璃燒結(jié)密封裝置，保證在高溫高真空下能夠使用。與鍍膜機(jī)腔體安裝法蘭可采用多種形式，如KF法蘭，CF法蘭，也可定制使安裝尺寸盡可能小，增大安裝蒸發(fā)源數(shù)量，普通鍍膜機(jī)最多只能安裝4個(gè)，而本實(shí)用新型可安裝10個(gè)以上有機(jī)蒸發(fā)源。

其具體技術(shù)方案如下所述：

一種用于電阻加熱式蒸發(fā)鍍膜機(jī)的有機(jī)蒸發(fā)源，從上到下依次包括蒸發(fā)源擋板、保溫蓋板、保溫隔絕爐體、上支板、下支板、支撐柱、安裝法蘭、旋轉(zhuǎn)磁流體、擺動(dòng)氣缸，所述安裝法蘭還連接有穿線斜管，所述穿線斜管與玻璃燒結(jié)接頭相連接，所述保溫隔絕爐體內(nèi)設(shè)置有支撐芯和加熱陶瓷管，所述加熱陶瓷管內(nèi)設(shè)置有石英坩堝，所述保溫隔絕爐體的蒸發(fā)源口周圍設(shè)置有不銹鋼擋片。

所述保溫隔絕爐體直接安裝在上支板的可調(diào)支板上，所述可調(diào)支板上開有45度U型槽，所述U型槽與下支板鉸接安裝，所述上支板用于實(shí)現(xiàn)所述U型槽的角度調(diào)節(jié)，從而使蒸發(fā)源口正對(duì)基片臺(tái)。

所述有機(jī)蒸發(fā)源采用PID控溫技術(shù)，石英坩堝底部連接有溫度傳感器，實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)溫度測(cè)量，根據(jù)溫度大小進(jìn)行控溫，溫度控制范圍在+-0.5攝氏度以內(nèi)。

所述蒸發(fā)源擋板的旋轉(zhuǎn)采用擺動(dòng)氣缸控制，所述蒸發(fā)源擋板的擋板軸直接從保溫隔絕爐體的底部穿出，上部伸出保溫隔絕爐體，擋板軸與保溫隔絕爐體的安裝板采用磁流體密封，所述蒸發(fā)源擋板的引線采用玻璃燒結(jié)密封裝置。

所述安裝法蘭與鍍膜機(jī)腔體相連接，并用密封圈密封。

所述安裝法蘭的上面設(shè)置有3根支撐柱，所述下支板直接固定在3根支撐柱上，能夠上下調(diào)整距離，所述下支板上開有兩個(gè)孔，其中一個(gè)孔用于固定，另外一個(gè)孔用于調(diào)整好上支板的角度后鎖緊。

所述加熱陶瓷管是內(nèi)部繞有加熱絲的陶瓷體，通過支撐芯固定在保溫隔絕爐體內(nèi)；所述支撐芯是帶有彈性的零件，其上面直接與石英坩堝接觸，所述支撐芯能夠上下調(diào)節(jié)高度，從而使石英坩堝上下移動(dòng)，進(jìn)而調(diào)整到最有利于蒸發(fā)的位置。

所述溫度傳感器采用熱電偶，所述熱電偶接觸頭穿過支撐芯的頂面直接與石英坩堝接觸，有利于實(shí)時(shí)測(cè)溫。

所述穿線斜管的一端與安裝法蘭焊接，另一端安裝有玻璃燒結(jié)接頭，加熱絲和熱電偶線直接從穿線斜管穿出，連接到玻璃燒結(jié)接頭上。

所述擋板軸直接穿過保溫隔絕爐體底面并與底面做成一體，所述擋板軸的下面用萬向節(jié)連接到下支板。

由此可見，本實(shí)用新型的新型用于電阻加熱式蒸發(fā)鍍膜機(jī)的有機(jī)蒸發(fā)源大大改善了傳統(tǒng)有機(jī)蒸發(fā)源的不足，尤其是加熱保溫，角度可調(diào)，高度可調(diào)，溫度可控，結(jié)構(gòu)緊湊，高適應(yīng)性，經(jīng)濟(jì)實(shí)用等眾多優(yōu)點(diǎn)是本實(shí)用新型的亮點(diǎn)之處。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的一個(gè)具體實(shí)施例的主視圖；

圖2是圖1的有機(jī)蒸發(fā)源的剖視圖；

圖中附圖標(biāo)記含義：1、蒸發(fā)源擋板；2、保溫蓋板；3、保溫隔絕爐體；4、上支板；5、下支板；6、支撐柱；7、安裝法蘭；8、穿線斜管；9、玻璃燒結(jié)接頭；10、旋轉(zhuǎn)磁流體；11、擺動(dòng)氣缸；12、支撐芯；13、加熱陶瓷管；14、萬向節(jié)；15、緊固錮螺釘。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施實(shí)例對(duì)本實(shí)用新型做具體的介紹。

如圖1和圖2所示，安裝法蘭7與鍍膜機(jī)腔體連接，用密封圈密封，其余零件全部集中到安裝法蘭7上，集中面的尺寸只有20毫米左右，目前為止，沒有其他有機(jī)蒸發(fā)源能做到這么小的尺寸，從而能實(shí)現(xiàn)多源安裝。

安裝法蘭7的上面用3根支撐柱6支撐保溫隔絕爐體3、上支板4、下支板5等零件。所述上支板4上開有45度的U型槽，實(shí)現(xiàn)雙向45度調(diào)整，下支板5直接固定在3根支撐柱6上，并且可以上下調(diào)整距離，下支板5上開有2個(gè)孔，一個(gè)孔用于固定，一個(gè)孔用于調(diào)整好上支板4的角度后鎖緊。

所述保溫隔絕爐體3直接安裝在上支板4上面，而支撐芯12、加熱陶瓷管13和石英坩堝全部安裝在保溫隔絕爐體3內(nèi)。所述加熱陶瓷管13是內(nèi)部繞有加熱絲的陶瓷體，它用支撐芯12固定在保溫隔絕爐體內(nèi)，支撐芯12是帶有彈性的零件，支撐芯12的上面直接與石英坩堝接觸，支撐芯12可以上下調(diào)節(jié)高度，從而使石英坩堝上下移動(dòng)，調(diào)整到最有利于蒸發(fā)的位置，并且溫度傳感器的熱電偶接觸頭可以穿過支撐芯12的頂面直接與石英坩堝接觸，有利于實(shí)時(shí)測(cè)溫。

所述安裝法蘭7的下面部分為加熱絲和熱電偶線的出口裝置以及蒸發(fā)源擋板1的控制部分。

穿線斜管8的一端與安裝法蘭7焊接，另一端安裝玻璃燒結(jié)接頭9，加熱絲和熱電偶線直接從穿線斜管8穿出，連接到玻璃燒結(jié)接頭9上。

下面介紹蒸發(fā)源擋板1的機(jī)械結(jié)構(gòu)，所述蒸發(fā)源擋板1是蒸發(fā)源口的擋板，當(dāng)基片上被鍍零件蒸鍍到所需厚度后，不可以再繼續(xù)蒸鍍，此時(shí)必須立刻擋住蒸發(fā)源口，防止有機(jī)材料上升到基片上，蒸發(fā)源擋板1就起到了這個(gè)關(guān)鍵作用。蒸發(fā)源擋板1的兩個(gè)關(guān)鍵動(dòng)作一個(gè)是旋轉(zhuǎn)一個(gè)是擺動(dòng)，為實(shí)現(xiàn)與爐體的同時(shí)擺動(dòng)，蒸發(fā)源下面的擋板軸直接穿過保溫隔絕爐體3底面并與底面做成一體，下面用萬向節(jié)14連接。旋轉(zhuǎn)部分用擺動(dòng)氣缸11帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)，電磁閥控制，下面旋轉(zhuǎn)軸用磁流體等裝置密封，實(shí)現(xiàn)高真空下使用。

下面介紹操作方法：依次安裝旋轉(zhuǎn)磁流體10、擺動(dòng)氣缸11，萬向節(jié)14下面連接下支板5。保溫隔絕爐體3與上支板4安裝，安裝加熱陶瓷管13及其支撐芯12、石英坩堝，穿入熱電偶接頭，穿出加熱絲線，然后安裝上支板組件與下支板組件，加熱絲線與熱電偶線從安裝斜管8穿出。調(diào)整坩堝位置，緊固保溫蓋板2。緊固萬向節(jié)14兩端，固定蒸發(fā)源擋板1位置。

將整體安裝到鍍膜機(jī)腔體下法蘭上，調(diào)整好蒸發(fā)源口與基片臺(tái)的位置，擰緊緊固螺釘15。

由此可見，本實(shí)用新型的新型有機(jī)蒸發(fā)源大大改善了傳統(tǒng)有機(jī)蒸發(fā)源的不足，尤其是加熱保溫，角度可調(diào)，高度可調(diào)，溫度可控，結(jié)構(gòu)緊湊，高適應(yīng)性，經(jīng)濟(jì)實(shí)用等眾多優(yōu)點(diǎn)是本實(shí)用新型的亮點(diǎn)之處。

需要說明的是，上述實(shí)施例不以任何形式限制本實(shí)用新型，凡采用等同替換或等效變換的方式所獲得的技術(shù)方案，均落在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。