技術總結
本實用新型公開了一種結構簡單、產能高和成膜后銀片批次良品率高的濺射成膜夾具，旨在提供一種結構簡單、產能高和成膜后銀片批次良品率高的濺射成膜夾具。本實用新型包括鍍膜夾具外框板，所述鍍膜夾具外框板上陣列有若干個矩形狀鍍膜夾具，所述鍍膜夾具陣列有若干組鍍膜電極孔組，所述鍍膜夾具上設置有若干個磁鐵孔，所述磁鐵孔均勻排布于所述鍍膜電極孔組的四周。本實用新型應用于晶體生產工裝夾具的技術領域。

技術研發(fā)人員：趙建鋒
受保護的技術使用者：珠海東精大電子科技有限公司
文檔號碼：201621259374
技術研發(fā)日：2016.11.23
技術公布日：2017.07.11