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基于電火花放電的涂層制備裝置的制作方法

文檔序號:11614742閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種基于電火花放電的涂層制備裝置,其特征在于:該裝置包括:高速氣流發(fā)生裝置、設置在高速氣流發(fā)生裝置氣流出口處的基體材料、對稱設置在高速氣流發(fā)生裝置氣流出口與基體材料之間的正極靶材和負極靶材,正極靶材、負極靶材分別與脈沖電源和伺服控制系統(tǒng)連接。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種基于電火花放電的涂層制備裝置,其特征在于:所述高速氣流發(fā)生裝置包括:儲氣罐、與儲氣罐依次連接的增壓裝置和高壓氣體噴頭。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種基于電火花放電的涂層制備裝置,其特征在于:所述靶材為柱體形狀,正極靶材和負極靶材分別以陣列形式對稱設置在高速氣流發(fā)生裝置氣流出口下側的外周圍,正極靶材與負極靶材間隙為0.1-10mm。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種基于電火花放電的涂層制備裝置,其特征在于:所述靶材為塊體形狀,正極靶材和負極靶材對稱設置在高速氣流發(fā)生裝置氣流出口與基體材料之間,正極靶材與負極靶材間隙為0.1-10mm。

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