本實(shí)用新型涉及芯片封裝技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及研磨設(shè)備晶圓搬運(yùn)手臂自動(dòng)清洗控制系統(tǒng)。

背景技術(shù)：

研磨設(shè)備在研磨完成后，需要進(jìn)行晶圓搬運(yùn)，但是由于設(shè)備內(nèi)部長(zhǎng)期受水汽影響，內(nèi)部會(huì)產(chǎn)生銹跡，且研磨后設(shè)備內(nèi)部容易有硅粉堆積；如果這些銹跡或硅粉脫落后吸附到搬運(yùn)手臂上，會(huì)導(dǎo)致晶圓碎裂的不良發(fā)生，對(duì)產(chǎn)品品質(zhì)造成嚴(yán)重的影響。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型提供研磨設(shè)備晶圓搬運(yùn)手臂自動(dòng)清洗控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓搬運(yùn)手臂的自動(dòng)清潔以及自動(dòng)排水，能夠?yàn)榱诉_(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案，本專利申請(qǐng)包括有：信息檢測(cè)模塊、清洗模塊驅(qū)動(dòng)電機(jī)、氣缸、電磁閥Ⅰ、繼電器Ⅰ、繼電器Ⅱ、繼電器Ⅲ、水汽清洗電磁閥、真空排水電磁閥，所述信息檢測(cè)模塊與繼電器Ⅰ、繼電器Ⅱ、繼電器Ⅲ連接，所述繼電器Ⅰ與清洗模塊驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接；所述繼電器Ⅱ與水汽清洗電磁閥連接，所述水汽清洗電磁閥通過(guò)管道連接水汽輸入模塊；所述繼電器Ⅲ與真空排水電磁閥連接，所述真空排水電磁閥通過(guò)管道連接真空泵。

優(yōu)選的，信息檢測(cè)模塊包括：限位開(kāi)關(guān)、存在感應(yīng)式設(shè)備，所述位置傳感器、存在感應(yīng)式設(shè)備串聯(lián)，所述信息檢測(cè)模塊與繼電器Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ之間采用PNP型傳感器連接方法。

優(yōu)選的，本專利申請(qǐng)還包括有24v電源，所述水汽清洗電磁閥串聯(lián)繼電器Ⅱ常開(kāi)觸點(diǎn)后連接在電源兩端，所述真空排水電磁閥串聯(lián)繼電器Ⅲ的常開(kāi)觸點(diǎn)后連接在電源兩端。

優(yōu)選的，所述繼電器Ⅰ與清洗模塊驅(qū)動(dòng)電機(jī)串聯(lián)，所述清洗模塊驅(qū)動(dòng)電機(jī)與110v電源連接，所述清洗模塊驅(qū)動(dòng)電機(jī)兩端與電容并聯(lián)。

優(yōu)選的，所述繼電器Ⅰ采用常開(kāi)型繼電器。

本實(shí)用新型的有益效果：本實(shí)用新型采用三個(gè)繼電器與信息檢測(cè)模塊、清洗模塊驅(qū)動(dòng)電機(jī)、水汽清洗電磁閥以及真空排水電磁閥連接，三個(gè)繼電器的吸合動(dòng)作條件是氣缸處于關(guān)閉位置且晶圓手臂上無(wú)晶圓，通過(guò)信息檢測(cè)模塊反饋的該信息給三個(gè)繼電器得電動(dòng)作，繼電器分別順序控制清洗模塊驅(qū)動(dòng)電機(jī)工作、水汽清洗電磁閥補(bǔ)給水汽，以及清洗后利用真空排水電磁閥動(dòng)作，利用好真空泵進(jìn)行排水，實(shí)現(xiàn)清洗、排水一系列的自動(dòng)清潔，及時(shí)去除晶圓手臂上的異物，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)碎片的有效預(yù)防，提升產(chǎn)品品質(zhì)。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的各工作模塊之間的電路連接示意圖；

圖中，1、清洗模塊驅(qū)動(dòng)電機(jī)；2、限位開(kāi)關(guān)Ⅰ；3、水汽清洗電磁閥；

4、真空排水電磁閥；5、繼電器Ⅰ；6、繼電器Ⅱ；7、繼電器Ⅲ；8、真空泵;

9、限位開(kāi)關(guān)Ⅱ；10、限位開(kāi)關(guān)Ⅲ；11、存在式感應(yīng)設(shè)備；12、水汽輸入。

具體實(shí)施方式

由圖1所示可知，本實(shí)用新型本專利申請(qǐng)包括有：信息檢測(cè)模塊、清洗模塊驅(qū)動(dòng)電機(jī)、氣缸、電磁閥Ⅰ、繼電器Ⅰ、繼電器Ⅱ、繼電器Ⅲ、水汽清洗電磁閥、真空排水電磁閥，所述信息檢測(cè)模塊與繼電器Ⅰ、繼電器Ⅱ、繼電器Ⅲ連接并接入24V電源端子，形成三路并聯(lián)電路，所述繼電器Ⅰ與清洗模塊驅(qū)動(dòng)電機(jī)連接；所述繼電器Ⅱ與水汽清洗電磁閥連接，所述水汽清洗電磁閥通過(guò)管道連接水汽輸入模塊；所述繼電器Ⅲ與真空排水電磁閥連接，所述真空排水電磁閥通過(guò)管道連接真空泵。

優(yōu)選的，信息檢測(cè)模塊包括：限位開(kāi)關(guān)、存在感應(yīng)式設(shè)備，所述位置傳感器、存在感應(yīng)式設(shè)備串聯(lián)，所述信息檢測(cè)模塊與繼電器Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ之間采用PNP型傳感器連接方法。

優(yōu)選的，所述限位開(kāi)關(guān)設(shè)置有限位開(kāi)關(guān)Ⅰ、限位開(kāi)關(guān)Ⅱ和限位開(kāi)關(guān)Ⅲ至少三個(gè)，分別位于氣缸的close位置、搬運(yùn)手臂T軸、Z軸的home位置，用于判斷氣缸是否處于close位置，及搬運(yùn)手臂的T、Z軸是否處于home位置。

優(yōu)選的，所述存在式感應(yīng)設(shè)備用于檢測(cè)搬運(yùn)手臂上是否有晶圓，只有在氣缸處于close位置，且搬運(yùn)手臂的T、Z軸處于home位置，且搬運(yùn)手臂上不存在晶圓時(shí)，繼電器Ⅰ才得電動(dòng)作，所述繼電器Ⅰ采用常開(kāi)型繼電器，繼電器Ⅰ得電吸合，由于繼電器Ⅰ串接清洗模塊驅(qū)動(dòng)電機(jī)，清洗模塊驅(qū)動(dòng)電機(jī)與110v電源連接，繼電器Ⅰ吸合時(shí)清洗模塊驅(qū)動(dòng)電機(jī)工作，所述清洗模塊驅(qū)動(dòng)電機(jī)兩端并接電容，所述電容起到對(duì)清洗模塊驅(qū)動(dòng)電機(jī)的穩(wěn)壓保護(hù)作用。

優(yōu)選的，本專利申請(qǐng)還包括有24v電源，所述水汽清洗電磁閥串聯(lián)繼電器Ⅱ常開(kāi)觸點(diǎn)后連接在電源兩端，所述真空排水電磁閥串聯(lián)繼電器Ⅲ的常開(kāi)觸點(diǎn)后連接在電源兩端。

上述實(shí)施例僅例示性說(shuō)明本專利申請(qǐng)的原理及其功效，而非用于限制本專利申請(qǐng)。任何熟悉此技術(shù)的人士皆可在不違背本專利申請(qǐng)的精神及范疇下，對(duì)上述實(shí)施例進(jìn)行修飾或改變。因此，舉凡所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者在未脫離本專利申請(qǐng)所揭示的精神與技術(shù)思想下所完成的一切等效修飾或改變，仍應(yīng)由本專利請(qǐng)的權(quán)利要求所涵蓋。