本實用新型涉及立式真空濺射鍍膜機膜厚調(diào)節(jié)裝置。

背景技術(shù)：

傳統(tǒng)的立式真空濺射鍍膜設(shè)備爐內(nèi)上下膜厚均勻度很難保證其一致，基本是通過減少裝爐量和只取中間位置來操作，解決這一難題將會使成本降低，產(chǎn)能提高。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺陷，提供一種立式真空濺射鍍膜機膜厚調(diào)節(jié)裝置，其上下膜厚均勻。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型的技術(shù)方案是設(shè)計一種立式真空濺射鍍膜機膜厚調(diào)節(jié)裝置，包括立式爐體、若干設(shè)置于所述立式爐體內(nèi)的靶材、垂直設(shè)置于所述立式爐體內(nèi)的中空充氣架，所述中空充氣架的中心線與所述立式爐體的中心線相重合，所述中空充氣架的側(cè)壁上開設(shè)有若干正對所述靶材的出氣孔，所述中空充氣架的兩端閉合，所述中空充氣架通過送氣管道與氣體控制柜上的氣體調(diào)節(jié)閥相連通。

進一步改進的是：所述送氣管道上設(shè)置有用于監(jiān)測氣體充入多少的流量控制閥。

進一步改進的是：所述中空充氣架的橫截面呈矩形。

本實用新型的優(yōu)點和有益效果在于：提供一種立式真空濺射鍍膜機膜厚調(diào)節(jié)裝置，其上下分布均勻，充氣穩(wěn)定、效率高、操作方便。

附圖說明

圖1是本實用新型的示意圖。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和實施例，對本實用新型的具體實施方式作進一步描述。以下實施例僅用于更加清楚地說明本實用新型的技術(shù)方案，而不能以此來限制本實用新型的保護范圍。

本實用新型具體實施的技術(shù)方案是：

如圖1所示，一種立式真空濺射鍍膜機膜厚調(diào)節(jié)裝置，包括立式爐體1、若干設(shè)置于所述立式爐體1內(nèi)的靶材6、垂直設(shè)置于所述立式爐體1內(nèi)的中空充氣架2，所述中空充氣架2的中心線與所述立式爐體1的中心線相重合，所述中空充氣架2的側(cè)壁上開設(shè)有若干正對所述靶材6的出氣孔3，所述中空充氣架2的兩端閉合，所述中空充氣架2通過送氣管道與氣體控制柜上的氣體調(diào)節(jié)閥5相連通，所述送氣管道上設(shè)置有用于監(jiān)測氣體充入多少的流量控制閥4。

本實施例中進一步優(yōu)化的實施方式為，所述中空充氣架2的橫截面呈矩形。

通過多方位出氣孔3進入的氬離子轟擊靶材6，得到均勻的膜厚，解決了傳統(tǒng)膜厚上下不均的問題。

以上所述僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實用新型技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護范圍。