本發(fā)明涉及等離子體化學(xué)氣相生長裝置。

背景技術(shù)：

在等離子體化學(xué)氣相生長裝置(以下，也稱作“pcvd裝置”。)中，通過在設(shè)置于反應(yīng)爐內(nèi)的工件的附近將工藝氣體等離子體化而分解，而在該工件上生成膜。在這樣向工件成膜時，因等離子體化而分解后的工藝氣體中的未附著于工件的工藝氣體的一部分會附著于反應(yīng)爐的內(nèi)壁。若基于工藝氣體的附著物這樣堆積于反應(yīng)爐的內(nèi)壁，則會從附著物向內(nèi)壁施加欲使該內(nèi)壁變形的力。但是，由于反應(yīng)爐的內(nèi)壁的剛度高，因此即使從堆積的附著物施加力，該內(nèi)壁也不會變形。因此，積留于附著物的內(nèi)部的力即內(nèi)部應(yīng)力容易變大。并且，若該附著物的內(nèi)部應(yīng)力增大到無法憑借附著物向內(nèi)壁的附著力而繼續(xù)附著的程度，則附著物有時會從內(nèi)壁剝離。在該情況下，從反應(yīng)爐的內(nèi)壁剝離后的附著物會以薄片(flake)的形式在反應(yīng)爐內(nèi)飛散，薄片有時會附著于設(shè)置在反應(yīng)爐內(nèi)的工件。

于是，已知有通過在反應(yīng)爐內(nèi)的工件的設(shè)置位置與該反應(yīng)爐的內(nèi)壁之間配置例如日本特開平4-289159所記載的附著抑制片來抑制附著物向該內(nèi)壁堆積從而抑制反應(yīng)爐內(nèi)的薄片的飛散的方法。

日本特開平4-289159所記載的附著抑制片由鋁的薄板構(gòu)成。如圖10所示，在該附著抑制片100中，通過設(shè)置許多凹凸而提高了其柔軟性。

在該情況下，如圖10所示，在向工件生成膜時，上述的附著物200變成堆積于附著抑制片100，附著物200不再堆積于反應(yīng)爐的內(nèi)壁。并且，附著抑制片100的柔軟性比反應(yīng)爐的內(nèi)壁的柔軟性高。因此，通過從堆積于附著抑制片100的附著物200向附著抑制片100施加的力，附著抑制片100容易變形。具體地說，如圖10中箭頭所示，附著抑制片100以凸部101的頂端部分的曲率變大的形態(tài)變形。因此，即使附著物200向附著抑制片100的堆積量增加，也能通過附著抑制片100的變形而使得附著物200的內(nèi)部應(yīng)力不容易變大。其結(jié)果，能夠抑制附著物200的內(nèi)部應(yīng)力增大到憑借附著物200向附著抑制片100的附著力而無法繼續(xù)附著的程度，從而能夠抑制附著物200從附著抑制片100剝離。因而，能夠抑制反應(yīng)爐內(nèi)的薄片的飛散。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

附著物200向附著抑制片100的堆積量越增加，則從附著物200向附著抑制片100施加的力越大。因此，在附著抑制片100中，隨著附著物200的堆積量增加，其變形量變大。具體地說，在附著抑制片100的凸部101中，若附著物200向凸部101的堆積量變多，則其頂端部分的曲率變大。此時，若凸部101的頂端部分的曲率變得過大，即凸部101的變形量過大，則堆積于凸部101的附著物200有時會因凸部101的變形而破損。在該情況下，附著物200的一部分會從凸部101剝離，剝離后的附著物會以薄片的形式在反應(yīng)爐內(nèi)飛散。

本發(fā)明提供一種能夠抑制反應(yīng)爐內(nèi)的薄片的產(chǎn)生從而抑制薄片向設(shè)置于該反應(yīng)爐內(nèi)的工件附著的等離子體化學(xué)氣相生長裝置。

一形態(tài)的等離子體化學(xué)氣相生長裝置是通過使供給到反應(yīng)爐內(nèi)的工藝氣體等離子體化而分解，而在設(shè)置于該反應(yīng)爐內(nèi)的工件上生成膜的裝置。在該等離子體化學(xué)氣相生長裝置中，在反應(yīng)爐內(nèi)的工件的設(shè)置位置與該反應(yīng)爐的內(nèi)壁之間配置有抑制工藝氣體向該內(nèi)壁的附著的附著抑制片。附著抑制片是由多個第一纖維束和多個第二纖維束構(gòu)成的織物，多個第一纖維束在第一方向上延伸并且分別由多個纖維構(gòu)成，多個第二纖維束在與第一方向不同的第二方向上延伸并且分別由多個纖維構(gòu)成。并且，在將附著抑制片的設(shè)置位置側(cè)的面設(shè)為正面，將反應(yīng)爐的內(nèi)壁側(cè)的面設(shè)為背面的情況下，在多個第一纖維束的各第一纖維束中，位于比第二纖維束靠正面?zhèn)忍幥以谡媛冻龅恼鎮(zhèn)炔糠峙c位于比第二纖維束靠背面?zhèn)忍幥椅丛谡媛冻龅谋趁鎮(zhèn)炔糠衷诘谝环较蛏辖惶媾帕?。另外，在多個第二纖維束的各第二纖維束中，位于比第一纖維束靠正面?zhèn)忍幥以谡媛冻龅恼鎮(zhèn)炔糠峙c位于比第一纖維束靠背面?zhèn)忍幥椅丛谡媛冻龅谋趁鎮(zhèn)炔糠衷诘诙较蛏辖惶媾帕小?/p>

根據(jù)上述結(jié)構(gòu)，當(dāng)在反應(yīng)爐內(nèi)向工件進(jìn)行膜的生成時，在第一纖維束中，在正面?zhèn)炔糠謺逊e基于工藝氣體的附著物，而在背面?zhèn)炔糠植粫逊e該附著物。在第二纖維束中也是同樣，在正面?zhèn)炔糠謺逊e基于工藝氣體的附著物，而在背面?zhèn)炔糠植粫逊e該附著物。因此，在各纖維束中，在它們的長度方向上，附著物堆積的部分與附著物不堆積的部分交替排列。即，在上述結(jié)構(gòu)中，在各纖維束中不是在整體堆積附著物，而是附著物堆積的多個區(qū)域隔開間隔而存在。

若附著物堆積于纖維束的正面?zhèn)炔糠郑瑒t正面?zhèn)炔糠謺驈脑摳街锸┘拥牧Χ韵蛏鲜鲈O(shè)置位置側(cè)突出的方式變形。通過因這樣的正面?zhèn)炔糠值淖冃味a(chǎn)生的應(yīng)力，在該纖維束中除了正面?zhèn)炔糠种?，背面?zhèn)炔糠忠矔冃?。為了這樣使正面?zhèn)炔糠肿冃?，必須通過從附著于正面?zhèn)炔糠值母街锸┘拥牧κ贡趁鎮(zhèn)炔糠忠沧冃?，所以正面?zhèn)炔糠值淖冃瘟坎蝗菀鬃兌?。因此，能夠抑制因正面?zhèn)炔糠值淖冃瘟孔兇蠖鴮?dǎo)致堆積于正面?zhèn)炔糠值母街锲茡p。因而，能夠抑制反應(yīng)爐內(nèi)的薄片的產(chǎn)生，從而能夠抑制薄片向設(shè)置于該反應(yīng)爐內(nèi)的工件附著。

此外，若纖維束的柔軟性低，則即使附著物堆積于纖維束的正面?zhèn)炔糠郑撜鎮(zhèn)炔糠值淖冃瘟恳策^少，附著物的內(nèi)部應(yīng)力可能會變大。因此，為了抑制附著物從纖維束剝離，需要既抑制堆積有附著物的正面?zhèn)炔糠值倪^度變形，又為了抑制附著物的內(nèi)部應(yīng)力的增大而使該正面?zhèn)炔糠忠阅撤N程度變形。

纖維束可以通過將多個纖維平行排列而并絲來構(gòu)成，也可以通過將多個纖維捻合來構(gòu)成。但是，將多個纖維并絲而成的纖維束的柔軟性比將多個纖維捻合而成的纖維束的柔軟性高。于是，在上述形態(tài)中，可以使多個第一纖維束的各第一纖維束和多個第二纖維束的各第二纖維束為多個纖維平行排列而成的纖維束、即將多個纖維并絲而成的纖維束。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，纖維束的柔軟性比較高，所以能夠抑制堆積有附著物的正面?zhèn)炔糠值淖冃瘟窟^少。其結(jié)果，堆積于纖維束的正面?zhèn)炔糠值母街锏膬?nèi)部應(yīng)力不容易變大，所以能夠抑制以附著物的內(nèi)部應(yīng)力的增大為起因的該附著物從正面?zhèn)炔糠值膭冸x。

另外，在第一纖維束中，背面?zhèn)炔糠值牡谝环较虻拈L度越長，則因正面?zhèn)炔糠值淖冃味诶w維束中產(chǎn)生的應(yīng)力越分散于長的背面?zhèn)炔糠?，所以能夠抑制背面?zhèn)炔糠值淖冃?，結(jié)果也能夠抑制正面?zhèn)炔糠值淖冃?。在第二纖維束中也是同樣，背面?zhèn)炔糠值牡诙较虻拈L度越長，則越能夠抑制正面?zhèn)炔糠值淖冃瘟俊?/p>

于是，在上述形態(tài)中，可以是，在第一纖維束和第二纖維束的至少一方中，在將與延伸方向正交的方向中的第一纖維束和第二纖維束的至少一方的多個纖維的排列方向設(shè)為寬度方向，將與延伸方向和寬度方向的雙方正交的方向設(shè)為厚度方向的情況下，寬度尺寸比厚度尺寸大。

例如，通過在多個第一纖維束中使寬度尺寸比厚度尺寸大，能夠在某種程度上確保第二纖維束的背面?zhèn)炔糠值牡诙较虻拈L度。因此，能夠與第二纖維束的正面?zhèn)炔糠值倪^度變形的抑制相應(yīng)地，提高因該正面?zhèn)炔糠值淖冃味鴮?dǎo)致堆積于該正面?zhèn)炔糠值母街锲茡p的抑制效果。

另外，通過在多個第二纖維束中使寬度尺寸比厚度尺寸大，能夠抑制第一纖維束的正面?zhèn)炔糠值倪^度變形，能夠提高堆積于該正面?zhèn)炔糠值母街锲茡p的抑制效果。

在上述形態(tài)中，可以是，在多個第一纖維束的各第一纖維束中，寬度為厚度的5倍以上，在多個第二纖維束的各第二纖維束中，寬度為厚度的5倍以上。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能夠在第一纖維束和第二纖維束的雙方中使背面?zhèn)炔糠肿儗?。因此，能夠在第一纖維束和第二纖維束的雙方中抑制堆積附著物的正面?zhèn)炔糠值倪^度變形。

另外，在對設(shè)置于上述設(shè)置位置的工件生成膜的情況下，通過等離子體化而分解后的工藝氣體中的未附著于工件的工藝氣體的一部分會在反應(yīng)爐內(nèi)飛散。于是，在上述形態(tài)的上述等離子體化學(xué)氣相生長裝置中，可以使附著抑制片為筒狀，并將附著抑制片配置成包圍上述設(shè)置位置。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，能夠通過附著抑制片圍住在反應(yīng)爐內(nèi)產(chǎn)生的等離子體。因此，能夠使得未附著于工件的工藝氣體容易附著于附著抑制片的內(nèi)側(cè)面、即各纖維束的正面?zhèn)炔糠帧Ｒ蚨?，能夠適當(dāng)?shù)匾种乒に嚉怏w向反應(yīng)爐的內(nèi)壁附著。

在上述形態(tài)的上述等離子體化學(xué)氣相生長裝置中，可以是，在工件上生成的膜是類金剛石碳膜，所述第一纖維束的所述纖維和所述第二纖維束的所述纖維是碳纖維。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，堆積于纖維束的正面?zhèn)炔糠值母街锖屠w維束都是碳系的物質(zhì)，所以附著物向纖維束的附著力變大。因此，即使附著物的內(nèi)部應(yīng)力變大，也不容易發(fā)生附著物從纖維束的剝離。

在上述形態(tài)中，可以是，在將類金剛石碳膜所含的碳中的具有金剛石構(gòu)造的碳的比率設(shè)為基準(zhǔn)比率的情況下，在上述附著抑制片中，上述碳纖維所含的碳中的具有金剛石構(gòu)造的碳的比率與基準(zhǔn)比率相等。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，附著物會堆積于具有與附著物的構(gòu)造相近的構(gòu)造的纖維束，所以能夠進(jìn)一步使附著物向纖維束的附著力變大。

在上述形態(tài)的上述等離子體化學(xué)氣相生長裝置中，可以在反應(yīng)爐的內(nèi)壁與附著抑制片之間配置固定于該內(nèi)壁的固定部件，并將附著抑制片的多個部位通過束縛部件而束縛于固定部件。根據(jù)該結(jié)構(gòu)，由于不是附著抑制片的整體固定于固定部件，所以在附著抑制片中的由束縛部件束縛的部位以外的部位，以附著物向正面?zhèn)炔糠值亩逊e為起因的變形不容易受到阻礙。另外，由于固定部件固定于反應(yīng)爐的內(nèi)壁，所以即使附著抑制片因以附著物的堆積為起因的變形而變形，固定部件也不會變形。由于附著抑制片由束縛部件束縛于固定部件，所以即使附著物堆積而附著抑制片變形，該附著抑制片也不容易向上述設(shè)置位置側(cè)接近。因而，能夠既抑制以附著物的堆積為起因的纖維束的變形受到阻礙，又抑制附著抑制片與等離子體的干涉。

附圖說明

以下，參照附圖對本發(fā)明的典型的實施例的特征、優(yōu)點及在技術(shù)和工業(yè)上的重要性進(jìn)行描述。在這些附圖中，同樣的標(biāo)號表示同樣的元素。

圖1是示意性地示出等離子體化學(xué)氣相生長裝置的一實施方式的一部分的剖視圖。

圖2是示意性地示出在等離子體化學(xué)氣相生長裝置中束縛了附著抑制片的樣態(tài)的剖視圖。

圖3是示意性地示出在等離子體化學(xué)氣相生長裝置的附著抑制片中使纖維束的一部分破裂了的狀態(tài)的俯視圖。

圖4是示意性地示出構(gòu)成附著抑制片的第一纖維束、第二纖維束的截面形狀的圖。

圖5是示意性地示出正面?zhèn)炔糠峙c背面?zhèn)炔糠纸惶媾帕杏诘谝焕w維束的樣態(tài)的剖視圖。

圖6是示意性地示出附著物堆積于第一纖維束的正面?zhèn)炔糠值臉討B(tài)的剖視圖。

圖7是示意性地示出另一實施方式的等離子體化學(xué)氣相生長裝置的附著抑制片的俯視圖。

圖8是示意性地示出另一實施方式的等離子體化學(xué)氣相生長裝置的附著抑制片的俯視圖。

圖9是示意性地示出另一實施方式的等離子體化學(xué)氣相生長裝置的附著抑制片的俯視圖。

圖10是示意性地示出關(guān)聯(lián)技術(shù)中的附著物堆積于附著抑制片的樣態(tài)的剖視圖。

具體實施方式

以下，按照圖1～圖6對等離子體化學(xué)氣相生長裝置的一實施方式進(jìn)行說明。如圖1所示，本實施方式的等離子體化學(xué)氣相生長裝置11具備設(shè)置由金屬等導(dǎo)電材料構(gòu)成的工件w的反應(yīng)爐12。向該反應(yīng)爐12內(nèi)的工件w的設(shè)置位置pa的附近供給作為工藝氣體的一例的烴氣體和氬等非活性的稀有氣體。此外，在本說明書中，將等離子體化學(xué)氣相生長裝置11也稱作“pcvd裝置11”。

另外，在pcvd裝置11設(shè)置有長條狀的第一導(dǎo)體20和位于比第一導(dǎo)體20靠外側(cè)處且與第一導(dǎo)體20同軸配置的筒狀的第二導(dǎo)體30。在第二導(dǎo)體30的內(nèi)側(cè)面30a和與該內(nèi)側(cè)面30a對向的第一導(dǎo)體20的側(cè)面20a之間形成有空間。并且，在第二導(dǎo)體30與第一導(dǎo)體20之間配置有用于限制外部氣體向反應(yīng)爐12內(nèi)流入的密封部件41。該密封部件41的內(nèi)周面與第一導(dǎo)體20的側(cè)面20a緊貼，密封部件41的外周面與第二導(dǎo)體30的內(nèi)側(cè)面30a緊貼。此外，密封部件41由能夠使微波通過的絕緣材料構(gòu)成。

第一導(dǎo)體20的頂端位于反應(yīng)爐12內(nèi)，用來設(shè)置工件w。即，位于反應(yīng)爐12內(nèi)的第一導(dǎo)體20的頂端成為直接支撐工件w的支撐部21。

第二導(dǎo)體30接地，第二導(dǎo)體30的電位為“0v”。這樣的第二導(dǎo)體30的頂端穿過形成于反應(yīng)爐12的側(cè)壁的開口部121而進(jìn)入該反應(yīng)爐12內(nèi)。

另外，pcvd裝置11具備輸出微波的高頻輸出裝置45和輸出直流電壓的直流電源46。在高頻輸出裝置45設(shè)置有輸出微波的輸出部451，該輸出部451在設(shè)置于第二導(dǎo)體30的貫通孔31內(nèi)穿過，即不與第二導(dǎo)體30接觸地連接于第一導(dǎo)體20。并且，從高頻輸出裝置45輸出的微波在第一導(dǎo)體20的側(cè)面20a上流動。此時，通過第二導(dǎo)體30來抑制在第一導(dǎo)體20的側(cè)面20a上流動的微波漏出到裝置外。

另外，直流電源46連接于第一導(dǎo)體20，從直流電源46向第一導(dǎo)體20供給直流電壓。并且，在第一導(dǎo)體20中流動的直流電流也向支撐于第一導(dǎo)體20的工件w流動。由此，工件w帶上負(fù)的電荷。

并且，在工件w的成膜時，在直流電流這樣流向工件w的狀況下，從高頻輸出裝置45輸出微波。由此，微波傳播至帶有負(fù)的電荷的工件w的表面，在反應(yīng)爐12內(nèi)的工件w的附近，烴氣體等離子體化而分解。其結(jié)果，在工件w的表面上生成作為基于烴氣體的膜的類金剛石碳膜(以下，也稱作“dlc膜”。)。

接著，對用于抑制烴氣體附著于反應(yīng)爐12的內(nèi)壁的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。如圖1所示，在反應(yīng)爐12內(nèi)的比工件w的設(shè)置位置pa靠上方處，設(shè)置有固定于該反應(yīng)爐12的內(nèi)壁的環(huán)狀的支撐部件13。該支撐部件13支撐著作為固定部件的一例的網(wǎng)部件50。網(wǎng)部件50由金屬制的線材構(gòu)成。該網(wǎng)部件50具有包圍工件w的設(shè)置位置pa的圓筒形狀的筒狀部51和連接于筒狀部51的一端的環(huán)狀的凸緣52。并且，凸緣52通過螺栓55而緊固于支撐部件13。即，網(wǎng)部件50經(jīng)由支撐部件13固定于反應(yīng)爐12的內(nèi)壁。

另外，在網(wǎng)部件50的筒狀部51與工件w的設(shè)置位置pa之間配置有呈筒狀的附著抑制片60。即，附著抑制片60被配置成包圍設(shè)置位置pa。

如圖2所示，附著抑制片60的多個部位通過由碳纖維構(gòu)成的多個束縛用絲材56(束縛部件的一例)而拴在網(wǎng)部件50的筒狀部51上。

接著，參照圖3～圖5對附著抑制片60的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說明。如圖3所示，附著抑制片60是由在第一方向x1(即，圖中上下方向)上延伸的多個第一纖維束61和在作為與第一方向x1正交的方向的第二方向x2(即，圖中左右方向)上延伸的多個第二纖維束62構(gòu)成的織物。在本實施方式中，附著抑制片60是將第一纖維束61和第二纖維束62平織而成的織物。

如圖4所示，第一纖維束61和第二纖維束62是多個碳纖維65平行排列而成的纖維束、即將多個碳纖維65并絲(日文：引き揃える)而成的纖維束。即，在各纖維束61、62中，多個碳纖維65在與多個纖維束61、62在附著抑制片60中排列的方向(即，在第一纖維束61中是圖3中的左右方向，在第二纖維束62中是圖3中的上下方向)相同的方向上排列。在各纖維束61、62中，將與延伸方向正交的方向中的構(gòu)成各纖維束61、62的多個碳纖維65排列的方向(即，圖4中的左右方向)設(shè)為寬度方向，將與延伸方向和該寬度方向的雙方正交的方向設(shè)為厚度方向(即，圖4中的上下方向)。在該情況下，各纖維束61、62的寬度為各纖維束61、62的厚度的5倍以上，第一纖維束61的寬度與第二纖維束62的寬度彼此相等。

此外，在工件w上生成的dlc膜是具有金剛石構(gòu)造(也稱作“sp3構(gòu)造”。)的碳和具有碳構(gòu)造(也稱作“sp2構(gòu)造”。)的碳混合存在的膜。dlc膜的硬度在該膜所含的碳中的具有金剛石構(gòu)造的碳的比率越高時越高。另外，在向工件w生成dlc膜時堆積于附著抑制片60的附著物的組成可視為與dlc膜的組成相同。于是，將在工件w上生成的dlc膜所含的碳中的具有金剛石構(gòu)造的碳的比率設(shè)為基準(zhǔn)比率。并且，為了使纖維束61、62的構(gòu)造接近堆積于該纖維束61、62的附著物的構(gòu)造，作為構(gòu)成各纖維束61、62的碳纖維65而采用了該碳纖維65所含的碳中的具有金剛石構(gòu)造的碳的比率與該基準(zhǔn)比率相等的碳纖維。此外，具有金剛石構(gòu)造的碳的比率“相等的碳纖維”除了包括該值相同的碳纖維之外，還包括從硬度等觀點來看能夠視為等同的碳纖維。

如圖3及圖5所示，在將附著抑制片60的設(shè)置位置pa側(cè)的面設(shè)為正面，將反應(yīng)爐12的內(nèi)壁側(cè)的面設(shè)為背面的情況下，在第一纖維束61中，位于比第二纖維束62靠正面?zhèn)忍幥以谡媛冻龅恼鎮(zhèn)炔糠?11與位于比第二纖維束62靠背面?zhèn)忍幥椅丛谡媛冻龅谋趁鎮(zhèn)炔糠?12在第一方向x1上交替排列。同樣，如圖3所示，在第二纖維束62中，位于比第一纖維束61靠正面?zhèn)忍幥以谡媛冻龅恼鎮(zhèn)炔糠?21與位于比第一纖維束61靠背面?zhèn)忍幥椅丛谡媛冻龅谋趁鎮(zhèn)炔糠?22在第二方向x2上交替排列。

接著，參照圖5及圖6對向設(shè)置在反應(yīng)爐12內(nèi)的工件w形成dlc膜時的作用進(jìn)行說明。在向工件w成膜時，如圖5所示，通過等離子體化而分解后的烴氣體中的未附著于工件w的烴氣體的一部分附著于第一纖維束61的各正面?zhèn)炔糠?11及第二纖維束62的各正面?zhèn)炔糠?21。因此，在第一纖維束61的各正面?zhèn)炔糠?11及第二纖維束62的各正面?zhèn)炔糠?21分別堆積基于分解后的烴氣體的附著物d。

另一方面，氣體向第一纖維束61的各背面?zhèn)炔糠?12的附著由第二纖維束62抑制，并且氣體向第二纖維束62的各背面?zhèn)炔糠?22的附著由第一纖維束61抑制。因此，在第一纖維束61的各背面?zhèn)炔糠?12及第二纖維束62的各背面?zhèn)炔糠?22都不堆積附著物d。即，在本實施方式中，在第一纖維束61及第二纖維束62中，不是在整體堆積附著物d，而是附著物d堆積的多個區(qū)域隔開間隔而存在。

若附著物d堆積于正面?zhèn)炔糠?11、621，則會從附著物d向正面?zhèn)炔糠?11、621施加力。附著物d向正面?zhèn)炔糠?11、621的堆積量越增加，則這樣的來自附著物d的力越大。即，如圖5及圖6中箭頭所示，附著物d的堆積量越增加，則從附著物d向第一纖維束61的正面?zhèn)炔糠?11施加的力和從附著物d向第二纖維束62的正面?zhèn)炔糠?21施加的力越大。因此，如圖6所示，若附著物d向正面?zhèn)炔糠?11、621的堆積量變多，則正面?zhèn)炔糠?11、621通過從附著物d施加的力而以向工件w的設(shè)置位置pa側(cè)突出的方式變形。此時，通過這樣的正面?zhèn)炔糠?11、621的變形而在第一纖維束61及第二纖維束62中分別產(chǎn)生應(yīng)力。并且，通過這樣的應(yīng)力，在第一纖維束61及第二纖維束62中除了正面?zhèn)炔糠?11、621之外，背面?zhèn)炔糠?12、622也變形。

以上，根據(jù)上述結(jié)構(gòu)及作用，能夠得到以下所示的效果。(1)在各纖維束61、62中，為了通過來自堆積于正面?zhèn)炔糠?11、621的附著物d的力使正面?zhèn)炔糠?11、621變形，必須通過該力使背面?zhèn)炔糠?12、622也變形，所以正面?zhèn)炔糠?11、621的變形量不容易變多。由此，能夠抑制因正面?zhèn)炔糠?11、621的變形量變大而導(dǎo)致堆積于正面?zhèn)炔糠?11、621的附著物d破損的情況。因而，能夠抑制反應(yīng)爐12內(nèi)的薄片的產(chǎn)生，從而抑制薄片向設(shè)置于反應(yīng)爐12內(nèi)的工件w附著。

(2)在本實施方式中，各纖維束61、62是將多個碳纖維65并絲而成的纖維束，所以與將多個碳纖維捻合而使各纖維束成為絲的情況相比，纖維束的柔軟性高。因此，能夠抑制堆積有附著物d的正面?zhèn)炔糠?11、621的變形量變得過少，堆積于正面?zhèn)炔糠?11、621的附著物d的內(nèi)部應(yīng)力不容易變大。因而，能夠抑制以附著物d的內(nèi)部應(yīng)力的增大為起因的附著物d從正面?zhèn)炔糠?11、621的剝離。

(3)另外，由于使第一纖維束61及第二纖維束62各自的寬度為厚度的5倍以上，所以能夠充分確保第二纖維束62的背面?zhèn)炔糠?22的第二方向x2的長度，并且能夠充分確保第一纖維束61的背面?zhèn)炔糠?12的第一方向x1的長度。因此，因正面?zhèn)炔糠?11、621的變形而在纖維束61、62中產(chǎn)生的應(yīng)力會向長的背面?zhèn)炔糠?12、622分散。其結(jié)果，能夠抑制背面?zhèn)炔糠?12、622的變形，結(jié)果也能夠抑制正面?zhèn)炔糠?11、621的變形。因而，能夠與纖維束61、62的正面?zhèn)炔糠?11、621的過度變形的抑制相應(yīng)地，進(jìn)一步提高因這些正面?zhèn)炔糠?11、621的變形而導(dǎo)致堆積于正面?zhèn)炔糠?11、621的附著物d破損的抑制效果。

(4)在第一纖維束61及第二纖維束62中的任一方的纖維束的寬度比另一方的纖維束的寬度窄的情況下，另一方的纖維束的背面?zhèn)炔糠值难由旆较虻拈L度短，在該背面?zhèn)炔糠痔?，因正面?zhèn)炔糠值淖冃味诹硪环降睦w維束中產(chǎn)生的應(yīng)力不容易分散。另一方面，在該情況下，由于一方的纖維束的背面?zhèn)炔糠值难由旆较虻拈L度長，所以在該背面?zhèn)炔糠痔?，因正面?zhèn)炔糠值淖冃味谝环降睦w維束中產(chǎn)生的應(yīng)力容易分散。因此，有時盡管一方的纖維束的正面?zhèn)炔糠譀]有怎么變形，另一方的纖維束的正面?zhèn)炔糠值淖冃瘟繀s會變得過大。在該情況下，由于另一方的纖維束的正面?zhèn)炔糠值淖冃瘟窟^大，所以盡管附著物d從一方的纖維束的剝離還未發(fā)生，卻需要進(jìn)行附著抑制片60的更換。關(guān)于這一點，在本實施方式中，由于第一纖維束61的寬度與第二纖維束62的寬度彼此相等，所以能夠抑制因一方的纖維束的寬度窄而導(dǎo)致附著抑制片60的更換頻度變高。

(5)由于筒狀的附著抑制片60被配置成包圍工件w的設(shè)置位置pa，所以能夠通過附著抑制片60圍住在反應(yīng)爐12內(nèi)產(chǎn)生的等離子體。因此，能夠使得未附著于工件w的工藝氣體容易附著于附著抑制片60的內(nèi)側(cè)面即各纖維束61、62的正面?zhèn)炔糠?11、621。因而，能夠適當(dāng)?shù)匾种乒に嚉怏w向反應(yīng)爐12的內(nèi)壁的附著。

(6)由于堆積于纖維束61、62的正面?zhèn)炔糠?11、621的附著物d和纖維束61、62都是碳系的物質(zhì)，所以附著物d向纖維束61、62的附著力變大。因此，即使附著物d的內(nèi)部應(yīng)力變大，也不容易發(fā)生附著物d從纖維束61、62的剝離。

(7)通過使構(gòu)成纖維束61、62的碳纖維65所含的碳中的具有金剛石構(gòu)造的碳的比率與上述基準(zhǔn)比率相等，附著物d會堆積于具有與附著物d的構(gòu)造相近的構(gòu)造的纖維束61、62。因此，能夠進(jìn)一步增大附著物d向纖維束61、62的附著力。另外，由于附著物d的構(gòu)造與附著抑制片60的構(gòu)造相近，所以附著物d的熱膨脹率與附著抑制片60的熱膨脹率幾乎相等。因此，在熱施加于附著抑制片60而附著抑制片60及附著物d發(fā)生了熱膨脹時，附著物d的熱膨脹量成為與附著抑制片60的熱膨脹量相同的程度。因而，即使附著抑制片60發(fā)生了熱膨脹，也能夠抑制附著物d從該附著抑制片60的剝離。

(8)通過束縛用絲材56將附著抑制片60的多個部位束縛于固定于反應(yīng)爐12的內(nèi)壁的網(wǎng)部件50。因此，在附著抑制片60中的由束縛用絲材56束縛的部位以外的部位，以附著物d向正面?zhèn)炔糠?11、621的堆積為起因的纖維束61、62的變形不容易受到阻礙。而且，即使纖維束61、62因附著物d的堆積而變形，固定于反應(yīng)爐12的內(nèi)壁的網(wǎng)部件50也不會變形，所以附著抑制片60不容易接近設(shè)置位置pa。因而，能夠既抑制以附著物d的堆積為起因的纖維束61、62的變形受到阻礙，又抑制附著抑制片60與等離子體的干涉。

(9)另外，由于附著抑制片60通過多個束縛用絲材56而安裝于網(wǎng)部件50，所以通過拆卸螺栓55而解除網(wǎng)部件50向反應(yīng)爐12的內(nèi)壁的固定，能夠容易地使附著抑制片60與網(wǎng)部件50一起從反應(yīng)爐12內(nèi)脫離。因此，與附著抑制片60通過多個束縛用絲材56直接安裝于反應(yīng)爐12的內(nèi)壁的情況相比，能夠容易地更換附著抑制片60。

(10)另外，由于即使附著物d這樣堆積也能夠抑制附著抑制片60向設(shè)置位置pa的接近，所以無需為了抑制附著抑制片60與等離子體的干涉而將附著抑制片60從設(shè)置位置pa大幅離開地配置，能夠采用小型的反應(yīng)爐作為反應(yīng)爐12。即，能夠謀求pcvd裝置11的小型化。

此外，上述實施方式也可以變更為以下那樣的另外的實施方式。通過束縛用絲材56而束縛有附著抑制片60的固定部件只要具有即使從附著抑制片60施加基于以附著物d的堆積為起因的纖維束61、62的變形的力也不會變形的程度的剛度即可，也可以是網(wǎng)部件50以外的部件。例如，也可以采用由鋁等的金屬板構(gòu)成的筒體作為固定部件。

也可以不經(jīng)由固定部件地將附著抑制片60直接安裝于反應(yīng)爐12的內(nèi)壁。也可以用具有金剛石構(gòu)造的碳的比率與上述基準(zhǔn)比率不同的碳纖維構(gòu)成纖維束61、62。即使在該情況下，也能夠得到與(1)～(6)及(8)～(10)同等的效果。此外，在抑制附著物d的剝離的觀點上，優(yōu)選使纖維束61、62中的具有金剛石構(gòu)造的碳的比率盡可能接近上述基準(zhǔn)比率。

纖維束61、62只要是因來自堆積的附著物d的力而變形的纖維束即可，也可以由碳纖維以外的纖維構(gòu)成。即使在該情況下，也能夠得到與上述(1)～(5)及(8)～(10)同等的效果。

附著抑制片可以不呈筒狀。即使在該情況下，通過將多張附著抑制片配置成圍住上述設(shè)置位置pa，也能夠抑制附著物d向反應(yīng)爐12的內(nèi)壁的堆積。

各纖維束只要是因來自堆積的附著物d的力而變形的纖維束即可，也可以是多個纖維平行排列而成的纖維束以外的纖維束。例如，作為這樣的纖維束，可舉出將多個纖維捻合而成的絲。

在上述實施方式中，附著抑制片60通過將寬度相同的第一纖維束61與第二纖維束62平織而構(gòu)成。但是，例如如圖7所示，附著抑制片60a可以是將第二纖維束62與寬度比第二纖維束62的寬度寬的第一纖維束61a平織而成的織物。通過將這樣的附著抑制片60a設(shè)于反應(yīng)爐12內(nèi)，能夠得到與上述(1)～(3)及(5)～(10)同樣的效果。

另外，與圖7所示的情況相反，附著抑制片也可以是將第一纖維束61與寬度比第一纖維束61的寬度寬的第二纖維束平織而成的織物。附著抑制片只要是由多個第一纖維束和多個第二纖維束構(gòu)成的織物且正面?zhèn)炔糠峙c背面?zhèn)炔糠盅刂w維束的延伸方向而交替排列即可，也可以是以平織以外的織法構(gòu)成的織物。例如，如圖8所示，附著抑制片60b可以是將第一纖維束61與第二纖維束62斜織而成的織物。通過將這樣的附著抑制片60b設(shè)于反應(yīng)爐12內(nèi)，能夠得到與上述實施方式同樣的效果。

另外，如圖9所示，附著抑制片也可以是將寬度不同的纖維束斜織而成而織物。例如，附著抑制片60c可以是將第一纖維束61與寬度比第一纖維束61的寬度窄的第二纖維束62a斜織而成的織物。通過將這樣的附著抑制片60c設(shè)于反應(yīng)爐12內(nèi)，能夠得到與上述(1)～(3)及(5)～(10)同樣的效果。

只要附著物d不會因以來自堆積于正面?zhèn)炔糠?11、621的附著物d的力為起因的正面?zhèn)炔糠?11、621的變形而從正面?zhèn)炔糠?11、621剝離即可，纖維束61、62的寬度也可以小于纖維束61、62的厚度的5倍。

在上述實施方式中，通過在彼此正交的方向上延伸的第一纖維束61和第二纖維束62構(gòu)成了附著抑制片60。但是，只要在第一纖維束61中正面?zhèn)炔糠?11與背面?zhèn)炔糠?12交替排列并且在第二纖維束62中正面?zhèn)炔糠?21與背面?zhèn)炔糠?22交替排列即可，也可以將以第一纖維束61與第二纖維束62所成的角不為直角的織法構(gòu)成的附著抑制片設(shè)置于反應(yīng)爐12內(nèi)。

也可以將在反應(yīng)爐12內(nèi)設(shè)置上述附著抑制片60的pcvd裝置11具體化為用于在工件w上生成dlc膜以外的膜的裝置。