本發(fā)明涉及鍍膜機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種帶角度可調(diào)行星盤的鍍膜機(jī)膜片轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)：

真空鍍膜機(jī)主要由以下幾部分組成：真空腔體，抽氣系統(tǒng)，充氣布?xì)庀到y(tǒng)，加熱系統(tǒng)，薄膜沉積控制系統(tǒng)，高壓控制系統(tǒng)，低壓控制系統(tǒng)，蒸發(fā)源系統(tǒng)，工件旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)。其功能描述如下：

真空腔體：鍍膜加工的一個(gè)空間

抽氣系統(tǒng)：使鍍膜達(dá)到所需的真空度

充氣布?xì)庀到y(tǒng)：使氣動(dòng)元件獲得足夠的氣壓完成動(dòng)作

加熱系統(tǒng)：使基片達(dá)到鍍膜所需的溫度

薄膜沉積控制系統(tǒng)：使基片上鍍的膜厚達(dá)到所需的要求

高壓控制系統(tǒng):使蒸發(fā)源獲得足夠的電壓

低壓控制系統(tǒng)：控制鍍膜機(jī)的元件完成規(guī)定的動(dòng)作

蒸發(fā)源系統(tǒng)：讓膜料蒸發(fā)

工件旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)：裝載基片并使其轉(zhuǎn)動(dòng)

目前行業(yè)內(nèi)的鍍膜機(jī)工轉(zhuǎn)主要是單軸承，易發(fā)生卡死、抖動(dòng)等問題，公轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)普遍是鏈輪和鏈條結(jié)構(gòu)，但是這種結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)的時(shí)候不穩(wěn)定，噪音大，而且鏈條鏈輪結(jié)構(gòu)在長(zhǎng)時(shí)間使用后會(huì)變松，從而影響膜層的均勻性。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是解決上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種不易卡死，穩(wěn)定的可實(shí)現(xiàn)基片公轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)的鍍膜機(jī)膜片轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)。

為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：一種帶角度可調(diào)行星盤的鍍膜機(jī)膜片轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，包括轉(zhuǎn)筒傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、定軸、繞定軸轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)筒、罩體以及可固定在鍍膜機(jī)頂部的環(huán)形底盤，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)主要包括一個(gè)驅(qū)動(dòng)齒輪，所述罩體固定在底盤上，所述轉(zhuǎn)筒和定軸穿過環(huán)形底盤伸入鍍膜機(jī)的真空鍍膜腔，所述定軸的上端部固定在罩體的頂部，所述轉(zhuǎn)筒的外周面上固定設(shè)置一個(gè)減速齒輪，所述驅(qū)動(dòng)齒輪由外部電機(jī)帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)，驅(qū)動(dòng)齒輪與減速齒輪嚙合從而驅(qū)動(dòng)減速齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)一步帶動(dòng)轉(zhuǎn)筒轉(zhuǎn)動(dòng)，所述環(huán)形底盤上方設(shè)置一個(gè)軸向支撐轉(zhuǎn)筒的推力球軸承，所述罩體的內(nèi)壁與轉(zhuǎn)筒外周面之間還設(shè)置防止轉(zhuǎn)筒徑向偏移的球軸承，轉(zhuǎn)筒下端固定設(shè)置一個(gè)傳動(dòng)齒輪和一個(gè)旋轉(zhuǎn)板，旋轉(zhuǎn)板設(shè)置多個(gè)膜片行星盤機(jī)構(gòu)，所述行星盤機(jī)構(gòu)包括自轉(zhuǎn)軸以及對(duì)自轉(zhuǎn)軸進(jìn)行徑向和軸向支撐的支撐部件，支撐部件安裝在旋轉(zhuǎn)板上，所述自轉(zhuǎn)軸上端固定設(shè)有與自轉(zhuǎn)軸同軸心的從動(dòng)齒輪，從動(dòng)齒輪可與傳動(dòng)齒輪嚙合帶動(dòng)自轉(zhuǎn)軸的自轉(zhuǎn)，自轉(zhuǎn)軸的下端設(shè)置錐形主動(dòng)齒輪，旋轉(zhuǎn)板下端與支撐部件對(duì)應(yīng)位置固定設(shè)置一個(gè)連接上座，連接上座上固定設(shè)置一個(gè)與自轉(zhuǎn)軸垂直的橫軸，橫軸上同軸心設(shè)置有與錐形主動(dòng)齒輪嚙合的錐形傳動(dòng)齒輪，連接上座連接一個(gè)連接下座，連接下座可繞橫軸相對(duì)連接上座轉(zhuǎn)動(dòng)，連接下座上設(shè)置與橫軸垂直的從動(dòng)軸以及支撐從動(dòng)軸的支撐部件，從動(dòng)軸的上端設(shè)置與錘形傳動(dòng)齒輪相配合的錘形從動(dòng)齒輪，錘形從動(dòng)齒輪帶動(dòng)從動(dòng)軸的轉(zhuǎn)動(dòng)，從動(dòng)軸的下端用于安裝工件架裝載基片。

進(jìn)一步的，所述推力球軸承包括座圈、軸圈和鋼球保持架組成，軸圈與減速齒輪或者轉(zhuǎn)筒固定，座圈固定在環(huán)形底盤上。

進(jìn)一步的，所述罩體靠近環(huán)形底盤的端部與推力球軸承對(duì)應(yīng)位置設(shè)置環(huán)形空腔用于注入冷卻水，罩體在環(huán)形空腔處設(shè)置注水孔和出水孔用于水循環(huán)。

進(jìn)一步的，所述球軸承設(shè)置在罩體頂部，罩體頂部設(shè)置冷卻水循環(huán)網(wǎng)路用于給球軸承降溫。

進(jìn)一步的，還包括一個(gè)磁流體密封裝置，磁流體密封裝置一端連接驅(qū)動(dòng)電機(jī)，另一端伸入鍍膜機(jī)真空腔連接驅(qū)動(dòng)齒輪。

進(jìn)一步的，所述定軸為中部結(jié)構(gòu)，設(shè)置貫穿定軸的用于測(cè)量基片鍍膜厚度的晶控探頭。

進(jìn)一步的，所述球軸承和推力球軸承上涂抹有耐高溫的潤滑脂。

進(jìn)一步的，所述上連接座上設(shè)置弧形槽，連接下座設(shè)置處于同一條弧線上且與弧形槽相配的螺孔，弧形槽的圓心位置橫軸上，弧形槽中設(shè)置鎖緊螺釘將上連接座和下連接座固定。

從上述技術(shù)方案可以看出本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)：雙軸承設(shè)置有利與轉(zhuǎn)筒的穩(wěn)定轉(zhuǎn)動(dòng)，減少軸承的卡死，通過冷卻水的循環(huán)來帶走熱量，這樣就大大降低了工轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)內(nèi)部的溫度，從而減少了熱漲變形造成的卡死，設(shè)置行星盤實(shí)現(xiàn)基片在腔體內(nèi)部的公轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)，從而提高膜層的均勻性，且可以多基片的角度進(jìn)行調(diào)整；磁流體密封來替代原有的O型圈，J型密封圈組合，它既具有液體的流動(dòng)性又具有固體磁性材料的磁性，進(jìn)而保證基片鍍膜的品質(zhì)，密封效果好，而且也很耐用，是傳統(tǒng)橡膠密封的幾倍，可以保持鍍膜腔的真空度。

附圖說明

圖1為本發(fā)明中膜片公轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的剖視圖；

圖2為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本發(fā)明中行星盤的機(jī)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明的具體實(shí)施方式做詳細(xì)說明。

本發(fā)明的帶角度可調(diào)行星盤的鍍膜機(jī)膜片轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)構(gòu)的公轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)如圖1所示，包括傳動(dòng)機(jī)構(gòu)、定軸10、繞定軸轉(zhuǎn)動(dòng)的轉(zhuǎn)筒9、罩體2以及可固定在鍍膜機(jī)頂部的環(huán)形底盤1，所述傳動(dòng)機(jī)構(gòu)主要包括驅(qū)動(dòng)齒輪7和磁流體密封裝置6，磁流體密封裝置6連接外部的驅(qū)動(dòng)電機(jī)，另一端伸入鍍膜機(jī)的鍍膜真空腔連接驅(qū)動(dòng)齒輪7，磁流體密封來替代原有的O型圈，J型密封圈組合。它既具有液體的流動(dòng)性又具有固體磁性材料的磁性。密封效果好，而且也很耐用，是傳統(tǒng)橡膠密封的幾倍，可以保持鍍膜腔的真空度。

罩體2固定在底盤1上從而固定在鍍膜機(jī)上，轉(zhuǎn)筒9和定軸10穿過環(huán)形底盤1伸入鍍膜機(jī)的真空鍍膜腔，定軸10的上端部固定在罩體2的頂部，轉(zhuǎn)筒9和定軸10同軸心設(shè)置，轉(zhuǎn)筒9的外周面上固定設(shè)置一個(gè)減速齒輪8，減速齒輪8與轉(zhuǎn)筒9同軸心設(shè)置，驅(qū)動(dòng)齒輪7與減速齒輪8嚙合從而驅(qū)動(dòng)減速齒輪8轉(zhuǎn)動(dòng)，進(jìn)一步帶動(dòng)轉(zhuǎn)筒9繞定軸10轉(zhuǎn)動(dòng)，在環(huán)形底盤1上方設(shè)置一個(gè)軸向支撐轉(zhuǎn)筒9的推力球軸承，推力球軸承包括座圈14、軸圈3和鋼球保持架13組成，軸圈3與減速齒輪或者轉(zhuǎn)筒固定，座圈14固定在環(huán)形底盤1上，罩體2的內(nèi)壁與轉(zhuǎn)筒9外周面之間還設(shè)置防止轉(zhuǎn)筒9徑向偏移的球軸承4。雙軸承設(shè)置有利與轉(zhuǎn)筒的穩(wěn)定轉(zhuǎn)動(dòng)，減少軸承的卡死，進(jìn)而保證基片鍍膜的品質(zhì)。

對(duì)工轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)的外圍增加了水冷，通過冷卻水的循環(huán)來帶走熱量，這樣就大大降低了工轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)內(nèi)部的溫度，從而減少了熱漲變形造成的卡死。水冷結(jié)構(gòu)如下，將球軸承設(shè)置在罩體頂部，罩體頂部設(shè)置冷卻水循環(huán)網(wǎng)路12用于給球軸承降溫；罩體2靠近環(huán)形底盤1的端部與推力球軸承對(duì)應(yīng)位置設(shè)置環(huán)形空腔11用于注入冷卻水，罩體在環(huán)形空腔處設(shè)置注水孔和出水孔用于水循環(huán)

定軸10為中部結(jié)構(gòu)，設(shè)置貫穿定軸的用于測(cè)量基片鍍膜厚度的晶控探頭5。

且鍍膜過程中不能有揮油的存在，因?yàn)樵诒∧こ练e過程中，油的存在會(huì)影響薄膜沉積的牢固度。因此，在球軸承和推力球軸承上涂抹有耐高溫的潤滑脂。抖動(dòng)的根本原因是軸承的磨損，因此選用了一種高真空不揮發(fā)的，耐高溫的潤滑脂。

如圖2和圖3所示，轉(zhuǎn)筒9下端固定設(shè)置一個(gè)傳動(dòng)齒輪15和一個(gè)旋轉(zhuǎn)板17，旋轉(zhuǎn)板設(shè)置多個(gè)膜片行星盤機(jī)構(gòu)，行星盤機(jī)構(gòu)包括自轉(zhuǎn)軸25以及對(duì)自轉(zhuǎn)軸進(jìn)行徑向和軸向支撐的支撐部件19，支撐部件19安裝在旋轉(zhuǎn)板17上，自轉(zhuǎn)軸25上端固定設(shè)有與自轉(zhuǎn)軸同軸心的從動(dòng)齒輪16，從動(dòng)齒輪16可與傳動(dòng)齒輪嚙合帶動(dòng)自轉(zhuǎn)軸25的自轉(zhuǎn)，自轉(zhuǎn)軸25的下端設(shè)置錐形主動(dòng)齒輪20，旋轉(zhuǎn)板17下端與支撐部件19對(duì)應(yīng)位置固定設(shè)置一個(gè)連接上座29，連接上座29上固定設(shè)置一個(gè)與自轉(zhuǎn)軸垂直的橫軸21，橫軸21上同軸心設(shè)置有與錐形主動(dòng)齒輪嚙合的錐形傳動(dòng)齒輪24，連接上座連接一個(gè)連接下座30，連接下座30可繞橫軸21相對(duì)連接上座轉(zhuǎn)動(dòng)，連接下座30上設(shè)置與橫軸21垂直的從動(dòng)軸23以及支撐從動(dòng)軸的支撐部件，從動(dòng)軸23的上端設(shè)置與錘形傳動(dòng)齒輪相配合的錘形從動(dòng)齒輪27，錘形從動(dòng)齒輪27帶動(dòng)從動(dòng)軸23的轉(zhuǎn)動(dòng)，從動(dòng)軸23的下端用于安裝工件架22裝載基片。錘形齒輪的齒牙相對(duì)其軸心的傾斜角度在45°度左右，因此垂直的兩個(gè)齒輪之間可以較好的嚙合。

所述上連接座29上設(shè)置弧形槽18，連接下座30上設(shè)置處于同一條弧線上且與弧形槽相配的螺孔26，弧形槽的圓心位置橫軸上，弧形槽18中設(shè)置鎖緊螺釘28將上連接座和下連接座固定。當(dāng)需要調(diào)節(jié)基片的角度是，松開鎖緊螺釘，將下連接座繞著橫軸旋轉(zhuǎn)所需的角度即可，隨后在鎖緊鎖定螺釘，這樣就可以把角度調(diào)好了。