本發(fā)明涉及金剛石涂層制備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種具有金剛石涂層的硬質(zhì)合金件及其制備方法。

背景技術(shù)：

硬質(zhì)合金因具有超高硬度特性被制作成為刀具材料，廣泛的應(yīng)用于機(jī)械器件等加工行業(yè)中。為了延長(zhǎng)硬質(zhì)合金刀具的使用壽命，通常在其表面覆蓋一層金剛石涂層，以延長(zhǎng)刀具的使用壽命，提高加工效率和加工精度。

然而，金剛石涂層與硬質(zhì)合金基體之間的附著力并不高，很難在硬質(zhì)合金基體上沉積出附著性很好的金剛石薄膜，從而極大阻礙了該刀具的應(yīng)用。而導(dǎo)致金剛石薄膜在切削刀具上的粘附性不足的主要原因有：(1)硬質(zhì)合金基體中的粘結(jié)金屬鈷催化金剛石向石墨轉(zhuǎn)變；(2)金剛石膜與硬質(zhì)合金基體之間的物理特性(如熱膨脹系數(shù)、彈性模量等)差異較大，并且兩者之間存在較強(qiáng)的殘余熱應(yīng)力，造成金剛石薄膜與基體的結(jié)合力變差，產(chǎn)生分層。

目前，提高金剛石涂層與硬質(zhì)合金基體附著力主要有兩條途徑：一是采用表面脫鈷法來粗化硬質(zhì)合金表面；二是在金剛石涂層與硬質(zhì)合金之間沉積合適的中間層(如crn/cr、nbn、ti，cu等)，以阻止基體中的鈷向表面擴(kuò)散。

表面脫鈷法雖然在一定程度上能改善金剛石涂層與基體附著性，但基體中鈷的缺失會(huì)降低基體韌性，而且基體內(nèi)部未被刻蝕掉的鈷仍會(huì)向表層擴(kuò)散促進(jìn)非金剛石相的形成。此外，化學(xué)侵蝕的脫鈷法會(huì)使基體表面產(chǎn)生大量的深坑，在后續(xù)沉積生長(zhǎng)金剛石薄膜的過程中，這些深坑無法被填平，將會(huì)導(dǎo)致在后續(xù)刀具使用過程中產(chǎn)生微裂紋，影響薄膜與基體間的結(jié)合力。而設(shè)置中間層，仍未達(dá)到工業(yè)應(yīng)用所要求的金剛石薄膜與這些中間層之間的粘附性，且較難兼顧基體、金剛石涂層、過渡層三者之間的物理特性匹配程度及涂層熱應(yīng)力消除情況，中間層控制不當(dāng)仍不能阻止鈷對(duì)金剛石的石墨化作用。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

鑒于此，本發(fā)明第一方面提供了一種具有金剛石涂層的硬質(zhì)合金件的制備方法，可以在使金剛石涂層與硬質(zhì)合金基體具有較高附著力的同時(shí)，有效阻止金屬鈷對(duì)金剛石的石墨化作用。

具體地，第一方面，本發(fā)明提供了一種具有金剛石涂層的硬質(zhì)合金件的制備方法，包括以下步驟:

取硬質(zhì)合金基體，對(duì)其進(jìn)行清洗預(yù)處理，之后置于金剛石粉懸浮液中進(jìn)行植入金剛石晶種處理；

在植入金剛石晶種后的基體表面進(jìn)行沉積一初始鎢層，使所述植入的金剛石晶種部分裸露于所述初始鎢層上；

對(duì)帶有所述初始鎢層的基體在還原氣氛下進(jìn)行退火處理；

在所述退火后的鎢層之上沉積金剛石涂層，得到具有金剛石涂層的硬質(zhì)合金件。

本發(fā)明中，硬質(zhì)合金基體可以是硬質(zhì)合金刀具或其他工具(如模具)、部件等。即所述具有金剛石涂層的硬質(zhì)合金件可以是刀具、模具、機(jī)械零部件等。

優(yōu)選地，所述硬質(zhì)合金基體為鎢鈷類硬質(zhì)合金(wc-co)或鎢鈦鈷類硬質(zhì)合金(成份為碳化鎢、碳化鈦及鈷)。鈷在硬質(zhì)合金中的質(zhì)量含量一般為6wt.％-10wt.％。

具體地，所述清洗預(yù)處理包括依次在丙酮、乙醇中進(jìn)行超聲清洗，并進(jìn)行干燥。清洗預(yù)處理可以除去基體表面的污漬。

本發(fā)明中，在進(jìn)行所述清洗預(yù)處理之前，還可以進(jìn)行噴砂預(yù)處理。

本發(fā)明中，所述超聲清洗的功率為80-120w。進(jìn)一步地，在丙酮中進(jìn)行超聲清洗的時(shí)間為10-30min，在乙醇中進(jìn)行超聲清洗的時(shí)間為1-5min。

進(jìn)行植入金剛石晶種時(shí)所用的金剛石粉的尺寸大小應(yīng)合適，其顆粒太大不易粘附在基體表層；其顆粒太小，初始鎢層容易將其完全覆蓋。本發(fā)明中，所述金剛石粉懸浮液中，金剛石粉的尺寸為100-500nm。進(jìn)一步優(yōu)選為100-250nm。

本發(fā)明中，所述金剛石粉懸浮液為金剛石微粉的丙酮/乙醇懸浮液。

本發(fā)明中，所述植入晶種是在超聲條件下進(jìn)行，所述超聲的時(shí)間為30-60min，超聲的功率為80-120w。將基體置于金剛石粉懸浮液中進(jìn)行植入金剛石晶種處理，是為了在基體上增強(qiáng)金剛石形核，也可以后續(xù)連接基體與鎢層。

本申請(qǐng)中，所述退火溫度為800-1200℃，退火時(shí)間為1-3h。優(yōu)選地，所述退火溫度為850-1000℃或900-1100℃。退火處理主要是促使金屬鎢層中的w、基體中的co和金剛石晶種之間發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，在退火后的鎢層之下形成含碳化鎢、碳化鈷、鎢鈷合金的co-w-c過渡層。

本發(fā)明中，所述初始鎢層的厚度為100-300nm。所述初始鎢層不完全覆蓋上述植入的金剛石晶種，仍有部分金剛石顆粒暴露在初始鎢層上。其中，一方面，鎢層與硬質(zhì)合金基體之間分布的金剛石晶種顆粒，連接金屬鎢層和硬質(zhì)合金基體，為后續(xù)退火中co-w-c體系的過渡層的生成提供碳源；另一方面，裸露的金剛石顆?？梢宰鳛楹罄m(xù)金剛石薄膜層的沉積生長(zhǎng)點(diǎn)，大大提高了金剛石形核的密度。

本發(fā)明一實(shí)施方式中，所述初始鎢層的沉積方式為磁控濺射法，具體包括：采用純鎢靶作為靶材，控制靶間距為5～10mm，濺射氣氛為氬氣環(huán)境，濺射時(shí)的腔體壓強(qiáng)為0.5～10pa，濺射時(shí)間為10～20min；其中，沉積過程中在基體上加載負(fù)偏壓，所述負(fù)偏壓為-30v～-100v，沉積溫度為350～600℃。本發(fā)明中并不限于濺射的沉積方式來制備鎢層。

金屬鎢層的存在，可以在退火過程中與基體中的鈷反應(yīng)形成鎢鈷合金，消除鈷向金剛石薄膜層擴(kuò)散時(shí)對(duì)金剛石的石墨化作用；此外，在退火時(shí)預(yù)植入的金剛石晶種還可通過擴(kuò)散與鎢、鈷反應(yīng)，形成碳化鎢、碳化鈷等，最終形成帶co-w-c過渡層的鎢層(過渡層在退火后的鎢層之下)。該過渡層使退火后鎢層與硬質(zhì)合金基體的結(jié)合方式由原來的物理結(jié)合變化為化學(xué)鍵合，使退火后的鎢層的附著力大大提高；其次，鎢作為一種與碳有較強(qiáng)結(jié)合能力的元素，在金剛石涂層沉積過程中，金剛石晶種的活性碳原子可通過擴(kuò)散與鎢反應(yīng)，形成高硬度的碳化鎢化合物，使金剛石更容易在與鎢層界面處的碳化鎢上形核，有效地增強(qiáng)沉積過程中金剛石的形核密度，這也增加了鎢層與金剛石涂層的化學(xué)結(jié)合力，最終提高了金剛石涂層與基體之間的結(jié)合力；再則；退火后的鎢層與過渡層、金剛石涂層之間的硬度和熱膨脹系數(shù)匹配較好，可以有效減緩應(yīng)力梯度的分散，實(shí)現(xiàn)了應(yīng)力在金剛石涂層與硬質(zhì)合金基體之間的有效過渡，可將涂層的殘余應(yīng)力降至趨于零。

優(yōu)選地，所述退火處理時(shí)的升溫速率(由室溫加熱至退火溫度)為5-10℃/min。

其中，所述還原氣氛為氫氣。h2氣氛與后續(xù)沉積生長(zhǎng)金剛石薄膜層的氣氛相接近，還可將鎢層表面被部分氧化時(shí)形成的wo3進(jìn)一步還原為w。

本發(fā)明中，在所述沉積金剛石涂層之前，還包括：采用金剛石研磨膏對(duì)退火后的鎢層表面進(jìn)行打磨，以實(shí)現(xiàn)二次植入金剛石晶種。采用金剛石研磨膏進(jìn)行打磨處理，可以實(shí)現(xiàn)二次植入金剛石晶種，以免在經(jīng)退火處理后殘留較少的金剛石晶種，進(jìn)一步提高了在沉積金剛石涂層時(shí)金剛石形核的密度。

優(yōu)選地，所述打磨的時(shí)長(zhǎng)為10-30min。

本發(fā)明中，所述沉積金剛石涂層時(shí)的沉積溫度為600～800℃。在沉積金剛石涂層時(shí)，在退火后鎢層與金剛石涂層的界面處，所述金剛石涂層中的碳與所述退火后鎢層中的鎢實(shí)現(xiàn)化學(xué)鍵合，增進(jìn)兩者之間的結(jié)合力。優(yōu)選地，所述退火溫度高于沉積金剛石涂層時(shí)的沉積溫度。

其中，退火后鎢層的厚度可以與初始鎢層的厚度相同(其中鎢的原子密度低于初始鎢層中的)，也可以是退火后鎢層的厚度與co-w-c過渡層的厚度之和等于初始鎢層的厚度。例如，退火后鎢層的厚度可以為100-300nm或70-270nm。

優(yōu)選地，所述co-w-c過渡層的厚度為所述初始鎢層的厚度的10％-30％。

優(yōu)選地，所述金剛石涂層的厚度為1～5μm。

本發(fā)明一實(shí)施方式中，所述沉積金剛石涂層的方法為熱絲化學(xué)氣相沉積法(hfcvd)，具體包括：

采用熱絲化學(xué)氣相沉積設(shè)備，以氫氣和甲烷為反應(yīng)氣體，控制甲烷占總氣體體積的1％～4％，上述沉積過程中，真空室的氣壓為0.5～10kpa，燈絲溫度為1500～2800℃，基體溫度(即沉積溫度)為600～800℃。

本發(fā)明第一方面提供的具有金剛石涂層的硬質(zhì)合金件的制備方法中，在植入有金剛石晶種的基體表面沉積一金屬鎢層，再對(duì)帶鎢層的基體進(jìn)行退火處理，最后對(duì)退火處理后的基體表面再沉積金剛石涂層。該方法中，鎢層的存在可有效消除基體中的鈷對(duì)金剛石的石墨化作用；退火使鎢層中的w、基體中的co和金剛石晶種之間發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，得到形成在退火后鎢層之下的co-c-w過渡層，其可有效實(shí)現(xiàn)退火后鎢層與硬質(zhì)合金基體的緊密結(jié)合，退火后后鎢層還有助于金剛石涂層的形核生長(zhǎng)，增強(qiáng)鎢層與金剛石涂層間的結(jié)合，從而提高金剛石涂層與硬質(zhì)合金基體的附著力，此外，在co-c-w過渡層與退火后鎢層的共同作用下，實(shí)現(xiàn)了應(yīng)力在基體與金剛石涂層間的有效過渡，具有優(yōu)異的膜基結(jié)合強(qiáng)度。

本發(fā)明第二方面提供了采用本發(fā)明第一方面所述的方法制備的具有金剛石涂層的硬質(zhì)合金件，包括硬質(zhì)合金基體，以及依次設(shè)置于所述基體上的co-w-c過渡層、鎢層和金剛石涂層。

其中，在所述鎢層與金剛石涂層的界面處，所述金剛石涂層中的碳與所述鎢層中的鎢實(shí)現(xiàn)化學(xué)鍵合。

具體地，所述co-w-c過渡層，在靠近基體時(shí)，以碳鈷化合物cocx為主；在靠近鎢層時(shí)，以碳化鎢化合物為主，中間部分以co-w合金為主。

本發(fā)明中，co-w-c過渡層和金剛石涂層的厚度可根據(jù)實(shí)際需要設(shè)定，例如根據(jù)硬質(zhì)合金件的尺寸、用途等設(shè)定。

本發(fā)明中，所述co-w-c過渡層的厚度為10-300nm。

本發(fā)明中，所述鎢層的厚度為70-270nm。適合的co-w-c過渡層厚度、鎢層厚度，有利于使它們的彈性模量和熱膨脹系數(shù)在基體與金剛石涂層的彈性模量和熱膨脹系數(shù)之間均勻地梯度變化，從而降低金剛石涂層的切應(yīng)力峰值，提高金剛石涂層與基體的粘附性。

本發(fā)明中，所述金剛石涂層的厚度為1～5μm；所述金剛石涂層的金剛石晶粒為納米或微米級(jí)別。

本發(fā)明第二方面提供的具有金剛石涂層的硬質(zhì)合金件，沿硬質(zhì)合金基體的厚度方向，依次分布在金剛石涂層和硬質(zhì)合金基體之間的co-w-c過渡層、殘余鎢層，可以在使金剛石涂層與硬質(zhì)合金基體具有較高附著力的同時(shí)，有效阻止金屬鈷對(duì)金剛石的石墨化作用。

本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)將會(huì)在下面的說明書中部分闡明，一部分根據(jù)說明書是顯而易見的，或者可以通過本發(fā)明實(shí)施例的實(shí)施而獲知。

附圖說明

圖1為本發(fā)明實(shí)施例中具有金剛石涂層的硬質(zhì)合金件的制備方法示意圖；

圖2為本發(fā)明實(shí)施例1制得的具有金剛石涂層的硬質(zhì)合金件的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

以下所述是本發(fā)明實(shí)施例的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明實(shí)施例原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也視為本發(fā)明實(shí)施例的保護(hù)范圍。

實(shí)施例1

參見圖1，一種具有金剛石涂層的硬質(zhì)合金件的制備方法，包括以下步驟：

(1)以國(guó)內(nèi)市場(chǎng)上出售的yg6x(wc-6wt.％co)硬質(zhì)合金轉(zhuǎn)位刀片作為基體，將其進(jìn)行清洗預(yù)處理，以除去基體表面污漬：先將基體置于丙酮中進(jìn)行超聲清洗30min，超聲波功率為100w，之后再將丙酮清洗過的基體放入乙醇溶液中，在100w下超聲清洗2min，并干燥；

(2)將清洗干凈的基體放入含有金剛石粉(粒徑為300nm)的丙酮懸濁液中，于100w的功率下進(jìn)行超聲60min，以在基體表面植入金剛石晶種，取出后用酒精清洗，最后用氮?dú)獯蹈?，得到接種處理后的基體；

(3)采用濺射法在植入金剛石晶種后的基體表面沉積一厚度為100nm的金屬鎢層，使所述鎢層部分覆蓋上述植入的金剛石晶種，在鎢層上裸露有金剛石顆粒；其中，濺射法的具體工藝為：采用純鎢靶作為靶材，控制靶間距為5mm,，濺射氣氛為氬氣環(huán)境，濺射時(shí)的腔體壓強(qiáng)為3pa，濺射時(shí)間為10min；

(4)對(duì)上述帶有鎢層的基體在氫氣氣氛下進(jìn)行退火處理，在退火后的鎢層與基體之間形成厚度為70nm的co-w-c過渡層，其中，退火溫度為800℃，退火時(shí)間為1h，退火處理時(shí)的升溫速率(加熱至退火溫度)為5℃/min，自然冷卻至室溫；

(5)采用金剛石研磨膏(三靈新材料公司，貨號(hào)為w2.5)對(duì)退火后的基體表面的殘余鎢層進(jìn)行打磨10min，以實(shí)現(xiàn)二次植入金剛石晶種，提高后續(xù)生長(zhǎng)金剛石時(shí)的成核密度；

(6)采用熱絲化學(xué)氣相沉積法(hfcvd)在殘余鎢層表面生長(zhǎng)一厚度為2μm的金剛石涂層，具體包括：在熱絲化學(xué)氣相沉積設(shè)備中，以氫氣和甲烷為反應(yīng)氣體，控制甲烷占總氣體體積的1％，沉積過程中基體溫度為800℃，燈絲溫度為2500℃，真空室氣壓為4kpa，沉積時(shí)間為1h，得到金剛石涂層，金剛石涂層中，金剛石晶粒尺寸為500nm。

圖1的流程圖中，100為硬質(zhì)合金基體，400為植入的金剛石晶種，200為初始鎢層，201為退火后的鎢層，202為co-w-c過渡層，300為金剛石涂層。其中，初始鎢層200在經(jīng)過退火處理后，形成帶co-w-c過渡層202的殘余鎢層201，co-w-c過渡層202與基體接觸，201與202的組成均是金屬鎢。退火后的鎢層201的厚度可以與初始鎢層200的厚度相同(其中鎢的原子密度低于初始鎢層200中的)，也可以是退火后的層201的厚度與co-w-c過渡層202的厚度之和等于初始鎢層200的厚度。

圖2為本發(fā)明實(shí)施例1制得的具有金剛石涂層的硬質(zhì)合金件的結(jié)構(gòu)示意圖，其中，包括硬質(zhì)合金基體100，以及依次設(shè)置于所述基體100上的co-w-c過渡層202、鎢層201和金剛石涂層300。具體地，所述co-w-c過渡層200，在靠近基體100時(shí)，以碳鈷化合物cocx為主；在靠近殘余鎢層201時(shí)，以wc化合物為主，中間部分以co-w合金為主。本實(shí)施例中，退火后的鎢層201的厚度為30nm，co-w-c過渡層200的厚度為70nm，金剛石涂層300的厚度為2μm。

實(shí)施例2

一種具有金剛石涂層的硬質(zhì)合金件的制備方法，包括以下步驟：

(1)以國(guó)內(nèi)市場(chǎng)上出售的yg8(wc-8％co)硬質(zhì)合金立銑刀作為基體，將其進(jìn)行清洗預(yù)處理，以除去基體表面污漬：先將基體置于丙酮中進(jìn)行超聲清洗40min，超聲波功率為110w，之后再將丙酮清洗過的基體放入乙醇溶液中，在120w下超聲清洗1min，并干燥；

(2)將清洗干凈的基體放入含有金剛石粉(粒徑為300nm)的丙酮懸濁液中，于80w的功率下進(jìn)行超聲45min，以在基體表面植入金剛石晶種，取出后用酒精清洗，最后用氮?dú)獯蹈?，得到接種處理后的基體；

(3)采用濺射法在植入金剛石晶種后的基體表面沉積一厚度為150nm的金屬鎢層，使所述鎢層部分覆蓋上述植入的金剛石晶種，在鎢層上裸露有金剛石顆粒；其中，濺射法的具體工藝為：采用純鎢靶作為靶材，控制靶間距為10mm，濺射氣氛為氬氣環(huán)境，濺射時(shí)的腔體壓強(qiáng)為5pa，濺射時(shí)間為15min；

(4)對(duì)上述帶有鎢層的基體在氫氣氣氛下進(jìn)行退火處理，形成厚度為100nm的co-w-c過渡層，其中，退火溫度為1000℃，退火時(shí)間為1.5h，退火處理時(shí)的升溫速率為7℃/min；

(5)采用金剛石研磨膏對(duì)退火處理后的基體表面的殘余鎢層進(jìn)行打磨15min，以實(shí)現(xiàn)二次植入金剛石晶種，提高后續(xù)生長(zhǎng)金剛石時(shí)的成核密度；

(6)采用熱絲化學(xué)氣相沉積法(hfcvd)在退火后的鎢層與基體之間生長(zhǎng)一厚度為3μm的金剛石涂層，具體包括：在熱絲化學(xué)氣相沉積設(shè)備中，以氫氣和甲烷為反應(yīng)氣體，控制甲烷占總氣體體積的1％，沉積過程中基體溫度為750℃，燈絲溫度為2000℃，真空室氣壓為3kpa，沉積時(shí)間為3h，得到金剛石涂層，金剛石涂層中，金剛石晶粒尺寸為800nm。

本實(shí)施例中，具有金剛石涂層的硬質(zhì)合金件，包括硬質(zhì)合金基體，以及依次設(shè)置于所述基體上的co-w-c過渡層、殘余鎢層和金剛石涂層。其中，殘余鎢層的厚度為50nm，co-w-c過渡層的厚度為100nm，金剛石涂層的厚度為3μm。

實(shí)施例3

一種具有金剛石涂層的硬質(zhì)合金件的制備方法，包括以下步驟：

(1)以國(guó)內(nèi)市場(chǎng)上出售的yt15(wc-15％tic，co)硬質(zhì)合金刀片作為基體將其進(jìn)行清洗預(yù)處理，以除去基體表面污漬：先將基體置于丙酮中進(jìn)行超聲清洗60min，超聲波功率為90w，之后再將丙酮清洗過的基體放入乙醇溶液中，在100w下超聲清洗5min，并干燥；

(2)將清洗干凈的基體放入含有金剛石粉(粒徑為500nm)的丙酮懸濁液中，于110w的功率下進(jìn)行超聲30min，以在基體表面植入金剛石晶種，取出后用酒精清洗，最后用氮?dú)獯蹈桑玫浇臃N處理后的基體；

(3)采用濺射法在植入金剛石晶種后的基體表面沉積一厚度為200nm的金屬鎢層，使所述鎢層部分覆蓋上述植入的金剛石晶種，在鎢層上裸露有金剛石顆粒；其中，濺射法的具體工藝為：采用純鎢靶作為靶材，控制靶間距為8mm，濺射氣氛為氬氣環(huán)境，濺射時(shí)的腔體壓強(qiáng)為8pa，濺射時(shí)間為20min；

(4)對(duì)上述帶有鎢層的基體在氫氣氣氛下進(jìn)行退火處理，在退火后的鎢層與基體之間形成厚度為160nm的co-w-c過渡層，其中，退火溫度為1100℃，退火時(shí)間為2h，退火處理時(shí)的升溫速率為5℃/min；

(5)采用金剛石研磨膏對(duì)退火處理后的基體表面進(jìn)行打磨30min，以實(shí)現(xiàn)二次植入金剛石晶種，提高后續(xù)生長(zhǎng)金剛石時(shí)的成核密度；

(6)采用熱絲化學(xué)氣相沉積法(hfcvd)在退火后的鎢層與基體之間生長(zhǎng)一厚度為5μm的金剛石涂層，具體包括：在熱絲化學(xué)氣相沉積設(shè)備中，以氫氣和甲烷為反應(yīng)氣體，控制甲烷占總氣體體積的3％，沉積過程中基體溫度為700℃，燈絲溫度為2300℃，真空室氣壓為5kpa，沉積時(shí)間為5h，得到金剛石涂層，金剛石涂層中，金剛石晶粒尺寸為300nm。

本實(shí)施例中，具有金剛石涂層的硬質(zhì)合金件，包括硬質(zhì)合金基體，以及依次設(shè)置于所述基體上的co-w-c過渡層、殘余鎢層和金剛石涂層。其中，殘余鎢層的厚度為40nm，co-w-c過渡層的厚度為160nm，金剛石涂層的厚度為5μm。

需要說明的是，根據(jù)上述說明書的揭示和和闡述，本發(fā)明所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員還可以對(duì)上述實(shí)施方式進(jìn)行變更和修改。因此，本發(fā)明并不局限于上面揭示和描述的具體實(shí)施方式，對(duì)本發(fā)明的一些等同修改和變更也應(yīng)當(dāng)在本發(fā)明的權(quán)利要求的保護(hù)范圍之內(nèi)。此外，盡管本說明書中使用了一些特定的術(shù)語，但這些術(shù)語只是為了方便說明，并不對(duì)本發(fā)明構(gòu)成任何限制。