本發(fā)明涉及顯示器制備技術領域,尤其涉及一種蒸發(fā)源和蒸鍍設備。
背景技術:
真空蒸鍍是指在高真空環(huán)境下對鍍膜材料進行加熱,使其升華并在基板上成膜。主要用于有機半導體器件如有機發(fā)光二極管中的有機功能層的制作?,F(xiàn)在蒸鍍設備主要分為內嵌式和環(huán)繞式。內嵌式設備又稱為線性設備,基板在蒸鍍腔中進行傳送,蒸發(fā)源沿基板傳送方向排列。如圖1和圖2所示,線性蒸發(fā)源01多為長方體結構,內部放置坩堝02,加熱絲置于蒸發(fā)源兩側腔壁內,對內部坩堝進行加熱。蒸發(fā)源在兩端為坩堝的進出口,用于放置取出坩堝,蒸發(fā)源加熱時開口處用隔熱層和盲板封住。為了防止熱量泄漏,蒸發(fā)源除了坩堝進出口,其他位置均為密封設計,無法拆卸。
但是,在有機材料蒸發(fā)過程中,會有一部分有機材料從坩堝內泄漏,所以蒸發(fā)源在使用一段時間后,內部就會存在雜質,需要對蒸發(fā)源內部進行清理甚至是全面清洗。封閉式線性蒸發(fā)由于不可拆卸,且長度比較長,清理非常不方便。
技術實現(xiàn)要素:
本發(fā)明提供了一種蒸發(fā)源和蒸鍍設備,用以提高蒸發(fā)效率和顯示裝置的顯示效果。
為達到上述目的,本發(fā)明提供以下技術方案:
本發(fā)明提供了一種蒸發(fā)源,包括:
第一殼體,所述第一殼體內設有用于容納坩堝的中空部,所述第一殼體包括至少兩個第一本體,相鄰兩個所述第一本體之間可拆卸連接,且所述第一殼體上設有多個噴嘴。
本發(fā)明提供的蒸發(fā)源,通過將用于容納坩堝的第一殼體設置為可拆卸的,能夠便于對第一殼體的內部進行清洗,可以提高蒸發(fā)源的使用壽命,提高蒸發(fā)源的蒸發(fā)效率,以提高顯示裝置的顯示效果。
在一些可選的實施方式中,上述蒸發(fā)源,還包括:包裹于所述第一殼體外的第二殼體,所述第二殼體包括至少兩個第二本體,相鄰兩個所述第二本體之間可拆卸連接,且所述第二殼體上設有與所述噴嘴一一對應且允許對應的所述噴嘴伸出的噴口。第二殼體的設置,有利于減少熱量的散失,起到對第一殼體保溫的作用。
在一些可選的實施方式中,任意相鄰兩個所述第二本體的連接處在所述第一殼體上的投影與任意相鄰兩個所述第一本體的連接處不重合。這樣的結構設置,可以減少熱量從連接處散失現(xiàn)象的發(fā)生。
在一些可選的實施方式中,所述第一本體的個數(shù)為四個;和/或,
所述第二本體的個數(shù)為四個。
在一些可選的實施方式中,所述第一殼體為圓柱形;和/或,所述第二殼體為圓柱形。圓柱形的蒸發(fā)源便于坩堝均勻受熱。
在一些可選的實施方式中,每個所述第一本體內均設有加熱單元和用于冷卻所述第一本體的冷卻單元。
在一些可選的實施方式中,上述蒸發(fā)源,還包括:
與所述第一本體一一對應設置的開關,所述開關用于控制對應的第一本體內的加熱單元開啟和關閉。便于控制每個第一本體的溫度。
在一些可選的實施方式中,任意相鄰兩個所述第一本體之間通過卡口和卡扣相互連接;和/或,
任意相鄰兩個所述第二本體之間通過卡口和卡扣相互連接、且所述相互連接處還設有緊固螺釘,所述緊固螺釘僅將相連兩個所述第二本體相互鎖緊或所述緊固螺釘將相連的所述第二本體以及相連的所述第一本體均鎖緊。
在一些可選的實施方式中,任意相鄰兩個所述第一本體的連接處設有隔熱墊片;和/或,
任意相鄰兩個所述第二本體的連接處設有隔熱墊片。隔熱墊片的設置一方面可以減少熱量流失,另一方面可以提高連接處的使用壽命。
本發(fā)明還提供了一種蒸鍍設備,包括:上述任一項所述的蒸發(fā)源。由于上述蒸發(fā)源可以提高蒸發(fā)效率和顯示裝置的顯示效果,故本發(fā)明提供的蒸鍍設備,具有較好的蒸鍍效果。
附圖說明
圖1為現(xiàn)有技術中的蒸發(fā)源結構示意圖;
圖2為現(xiàn)有技術中的蒸發(fā)源和坩堝組合在一起的結構示意圖;
圖3為本發(fā)明實施例提供的蒸發(fā)源的第一種結構分解示意圖;
圖4為本發(fā)明實施例提供的蒸發(fā)源的第二種結構分解示意圖;
圖5為本發(fā)明實施例提供的蒸發(fā)源的第二種結構示意圖;
圖6為本發(fā)明實施例提供的蒸發(fā)源的端面結構示意圖。
附圖標記:
01-線性蒸發(fā)源 02-坩堝
1-第一殼體 11-第一本體
111-噴嘴 2-第二殼體
21-第二本體 3-緊固螺釘
具體實施方式
下面將結合本發(fā)明實施例中的附圖,對本發(fā)明實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例,而不是全部的實施例?;诒景l(fā)明中的實施例,本領域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發(fā)明專利保護的范圍。
如圖3所示,本發(fā)明實施例提供了一種蒸發(fā)源,包括:第一殼體1,第一殼體1內設有用于容納坩堝的中空部,第一殼體1包括至少兩個第一本體11,相鄰兩個第一本體11之間可拆卸連接,且第一殼體1上設有多個噴嘴(圖中未示出)。
本發(fā)明提供的蒸發(fā)源,通過將用于容納坩堝的第一殼體1設置為可拆卸的,能夠便于對第一殼體1的內部進行清洗,可以提高蒸發(fā)源的使用壽命,提高蒸發(fā)源的蒸發(fā)效率,以提高顯示裝置的顯示效果。
進一步的,如圖4和圖5所示,上述蒸發(fā)源,還包括:包裹于第一殼體1外的第二殼體2,第二殼體2包括至少兩個第二本體21,相鄰兩個第二本體21之間可拆卸連接,且第二殼體2上設有與噴嘴111一一對應且允許對應的噴嘴111伸出的噴口。第二殼體2的設置,有利于減少熱量的散失,起到對第一殼體1保溫的作用,上述噴口的設置位置可以位于任意第二本體21上,也可以位于兩個第二本體21的連接處。
為了進一步防止熱量的散失,優(yōu)選的,如圖4所示,任意相鄰兩個第二本體21的連接處在第一殼體1上的投影與任意相鄰兩個第一本體11的連接處不重合。這樣第二本體21可以將內部的兩個第一本體11之間的連接處形成的縫隙遮蓋住,防止熱量從兩個第一本體11之間的連接處的縫隙流出蒸發(fā)源。
本發(fā)明實施例提供的蒸發(fā)源中的第一殼體1中包含的第一本體11的個數(shù)以及第二殼體2中包含的第二本體21的個數(shù)可以有多種,可選的,第一本體11的個數(shù)為四個;和/或,
第二本體21的個數(shù)為四個。也就是說,第一本體11的個數(shù)為四個,第二本體21的個數(shù)可以不為四個,例如兩個、三個、六個等,這里就不再一一列舉;也或者第二本體21的個數(shù)為四個,而第一本體11的個數(shù)可以不為四個,例如兩個、三個、六個等,這里就不再一一列舉。
上述第一殼體1和第二殼體2的具體形狀可以有多種,可選的,第一殼體1為圓柱形;和/或,第二殼體2為圓柱形。也就是說:第一殼體1為圓柱形,第二殼體2殼體為方形、三角形等,或者第一殼體1為方形或三角形等,而第二殼體2為圓柱形,與其它形狀的蒸發(fā)源相比,圓柱形的蒸發(fā)源便于坩堝均勻受熱。
為了便于控制第一殼體1的溫度,每個第一本體11內均設有加熱單元和用于冷卻第一本體11的冷卻單元。
上述加熱單元可以為加熱絲等,冷卻單元可以為設置于第一本體11內的冷卻液循環(huán)管路。
為了更便于控制每個第一本體11的溫度,上述蒸發(fā)源,還包括:
與第一本體11一一對應設置的開關,開關用于控制對應的第一本體11內的加熱單元開啟和關閉。將加熱單元設置為單獨控制,可以單獨更換加熱單元,成本較低且操作方便。
相鄰的兩個第一本體11和相鄰的兩個第二本體21之間可以通過多種方式實現(xiàn)拆卸連接,如圖6所示,本發(fā)明提供了一種可選的實施方式中,任意相鄰兩個第一本體11之間通過卡口和卡扣相互連接;和/或,
任意相鄰兩個第二本體21之間通過卡口和卡扣相互連接、且相互連接處還設有緊固螺釘3,緊固螺釘3僅將相連兩個第二本體21相互鎖緊或緊固螺釘3將相連的第二本體21以及相連的第一本體11均鎖緊。
上述緊固螺釘3可以僅僅穿過第二本體21抵在第一本體11上,即僅僅將兩個第二本體21相互鎖緊,也可以第一本體11和第二本體21均穿過,將兩個第一本體11、兩個第二本體21均鎖緊。
一種可選的實施方式中,任意相鄰兩個第一本體11的連接處設有隔熱墊片;和/或,
任意相鄰兩個第二本體21的連接處設有隔熱墊片。隔熱墊片的設置一方面可以減少熱量流失,另一方面可以提高連接處的使用壽命。
本發(fā)明還提供了一種蒸鍍設備,包括:上述任一項所述的蒸發(fā)源。由于上述蒸發(fā)源可以提高蒸發(fā)效率和顯示裝置的顯示效果,故本發(fā)明提供的蒸鍍設備,具有較好的蒸鍍效果。
顯然,本領域的技術人員可以對本發(fā)明進行各種改動和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣,倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權利要求及其等同技術的范圍之內,則本發(fā)明也意圖包含這些改動和變型在內。