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拋光工具及非球面元件表面波紋去除方法與流程

文檔序號:12367300閱讀:來源:國知局
技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種拋光工具及非球面元件表面波紋去除方法,拋光工具包括轉(zhuǎn)接部件、工具底座、粘彈性柔性介質(zhì)、柔性介質(zhì)厚度調(diào)節(jié)螺釘、橡膠囊和設(shè)置于所述橡膠囊表面的拋光模層。拋光工具通過轉(zhuǎn)接部件連接于數(shù)控機(jī)床,工具底座為圓環(huán)狀。柔性介質(zhì)厚度調(diào)節(jié)螺釘可活動地內(nèi)嵌于所述工具底座,橡膠囊蓋合于所述工具底座,使工具底座、柔性介質(zhì)調(diào)節(jié)螺釘與橡膠囊之間形成密封腔,密封腔內(nèi)填充滿粘彈性柔性介質(zhì)。非球面元件表面波紋去除方法通過改變拋光工具中的粘彈性柔性介質(zhì)的種類和厚度,既能夠使拋光工具與待加工非球面元件的表面相吻合,又能夠?qū)Ψ乔蛎姹砻娌y進(jìn)行去除。

技術(shù)研發(fā)人員:鐘波;陳賢華;文中江;王健;許喬;鄧文輝;袁志剛;周煉
受保護(hù)的技術(shù)使用者:中國工程物理研究院激光聚變研究中心
文檔號碼:201710198817
技術(shù)研發(fā)日:2017.03.29
技術(shù)公布日:2017.05.31

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