本發(fā)明涉及薄膜制備領(lǐng)域，具體公開(kāi)了一種鍍膜雙修正葉的設(shè)計(jì)方法。

背景技術(shù)：

在蒸發(fā)鍍膜的過(guò)程中，修正葉通過(guò)遮擋蒸發(fā)源的一部分蒸發(fā)角來(lái)調(diào)整腔體內(nèi)模料分布，從而選擇性地改變蒸鍍到基片上的模料數(shù)量，已達(dá)到鍍膜具有均勻的膜厚，修正葉的修正過(guò)程即是確定修正葉對(duì)蒸發(fā)源的遮擋角的過(guò)程。

現(xiàn)有技術(shù)中，鍍膜過(guò)程往往涉及兩種以上的模料，因而鍍膜機(jī)腔內(nèi)設(shè)有多個(gè)蒸發(fā)源，每個(gè)蒸發(fā)源都對(duì)應(yīng)有一個(gè)修正葉，不同蒸發(fā)源在蒸鍍的時(shí)候，修正葉都會(huì)進(jìn)行對(duì)應(yīng)的升降切換，確保鍍膜厚度的均勻性，但修正葉在升降的過(guò)程中，修正葉頻繁運(yùn)動(dòng)會(huì)提高修正葉氣缸的使用，降低修正葉氣缸的壽命，同時(shí)增加了加工成本。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

基于此，有必要針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)問(wèn)題，提供一種鍍膜雙修正葉的設(shè)計(jì)方法，能夠降低修正葉氣缸的活動(dòng)頻率，延長(zhǎng)修正葉氣缸的壽命，降低加工成本。

為解決現(xiàn)有技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明公開(kāi)一種鍍膜雙修正葉的設(shè)計(jì)方法，包括以下步驟：設(shè)置鍍膜機(jī)中包括第一蒸發(fā)源、第二蒸發(fā)源，第一蒸發(fā)源正上方設(shè)有第一修正葉，第二蒸發(fā)源正上方設(shè)有第二修正葉，第一修正葉與第二修正葉的上方設(shè)有基片；設(shè)第一蒸發(fā)源位于左側(cè)、第二蒸發(fā)源位于右側(cè)，第一蒸發(fā)源到基片右端的蒸發(fā)路徑與基片法線成α角，以第一蒸發(fā)源為頂點(diǎn)、α角為頂角與基片形成第一直角三角形，第二蒸發(fā)源到基片右端的蒸發(fā)路徑與基片法線成β角，以第二蒸發(fā)源為頂點(diǎn)、β角為頂角與基片形成第二直角三角形；第一修正葉位于第二直角三角形的斜邊外側(cè)，第二修正葉位于第一直角三角形的斜邊外側(cè)，鍍膜時(shí)，第一修正葉和第二修正葉始終處于開(kāi)啟狀態(tài)且位置都不會(huì)改變。

進(jìn)一步的，第一修正葉與第二修正葉的高度位置相等。

進(jìn)一步的，第一修正葉沿第二直角三角形的斜邊設(shè)置。

進(jìn)一步的，第二修正葉沿第一直角三角形的斜邊設(shè)置。

本發(fā)明的有益效果為：本發(fā)明公開(kāi)一種鍍膜雙修正葉的設(shè)計(jì)方法，在鍍膜時(shí)，固定設(shè)置兩修正葉的位置，能夠降低修正葉氣缸的活動(dòng)頻率、提高修正葉氣缸的壽命、減少漏氣異常，同時(shí)設(shè)置兩修正葉的位置合理，能提高鍍膜的均勻性。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明的效果示意圖。

附圖標(biāo)記為：第一蒸發(fā)源11、第二蒸發(fā)源12、第一修正葉21、第二修正葉22、基片30、第一直角三角形41、第二直角三角形42。

具體實(shí)施方式

為能進(jìn)一步了解本發(fā)明的特征、技術(shù)手段以及所達(dá)到的具體目的、功能，下面結(jié)合附圖與具體實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)描述。

參考圖1。

本發(fā)明公開(kāi)一種鍍膜雙修正葉的設(shè)計(jì)方法，包括以下步驟：設(shè)置鍍膜機(jī)中包括第一蒸發(fā)源11、第二蒸發(fā)源12，第一蒸發(fā)源11正上方設(shè)有第一修正葉21，第二蒸發(fā)源12正上方設(shè)有第二修正葉22，第一修正葉21與第二修正葉22的上方設(shè)有基片30；設(shè)第一蒸發(fā)源11位于左側(cè)、第二蒸發(fā)源12位于右側(cè)，第一蒸發(fā)源11到基片30右端的蒸發(fā)路徑與基片30法線成α角，以第一蒸發(fā)源11為頂點(diǎn)、α角為頂角與基片30形成第一直角三角形41，第二蒸發(fā)源12到基片30右端的蒸發(fā)路徑與基片30法線成β角，以第二蒸發(fā)源12為頂點(diǎn)、β角為頂角與基片30形成第二直角三角形42；第一修正葉21位于第二直角三角形42的斜邊外側(cè)，第二修正葉22位于第一直角三角形41的斜邊外側(cè)，優(yōu)選地，第一修正葉21沿第二直角三角形42的斜邊設(shè)置，第二修正葉22沿第一直角三角形41的斜邊設(shè)置，一般設(shè)置第一修正葉21與第二修正葉22的高度位置相等，鍍膜時(shí)，第一修正葉21和第二修正葉22始終處于開(kāi)啟狀態(tài)且位置都不會(huì)改變。

第一修正葉21設(shè)置于第二直角三角形42的斜邊外側(cè)，第一蒸發(fā)源11蒸發(fā)時(shí)，只有第一修正葉21對(duì)第一蒸發(fā)源11往基片30上蒸發(fā)鍍膜進(jìn)行修正，第二修正葉22不會(huì)對(duì)第一蒸發(fā)源11產(chǎn)生影響，第二蒸發(fā)源12蒸發(fā)時(shí)，只有第二修正葉22對(duì)第二蒸發(fā)源12往基片30上蒸發(fā)鍍膜進(jìn)行修正，第一修正葉21不會(huì)對(duì)第二蒸發(fā)源12產(chǎn)生影響，使得整體的鍍膜均勻度好，第一修正葉21和第二修正葉22始終處于開(kāi)啟的狀態(tài)，在鍍膜過(guò)程中不會(huì)有升降動(dòng)作，能夠有效延長(zhǎng)修正葉氣缸的壽命。

例如，設(shè)置37層鍍膜時(shí)，傳統(tǒng)的修正工藝中修正葉需要升降18次，而本發(fā)明的方法只需要升降1次，能夠有效降低修正葉氣缸的活動(dòng)頻率，延長(zhǎng)修正葉氣缸的壽命。

以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本發(fā)明的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)本發(fā)明專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本發(fā)明構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍。因此，本發(fā)明專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。