技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本申請?zhí)峁┝艘环N類金剛石薄膜及其制備方法。本發(fā)明提供的制備方法包括：將石墨靶材在混合氣體環(huán)境中進(jìn)行磁控濺射，在襯底上沉積得到類金剛石薄膜；所述混合氣體為氬氣、氫氣和氮?dú)?。按照本發(fā)明的制備方法制得的類金剛石薄膜不僅具有良好的光學(xué)特性，同時還具有良好的硬度和耐磨性，能夠適用于對光學(xué)和機(jī)械性能均有要求的器件。

技術(shù)研發(fā)人員：朱得菊;吳德生;陳立
受保護(hù)的技術(shù)使用者：信利光電股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.04.24
技術(shù)公布日：2017.07.14