技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種ELID砂輪氧化膜摩擦系數(shù)在線測量、ELID磨削、拋光一體機(jī)，屬于ELID磨削、摩擦系數(shù)測量、超精密拋光技術(shù)領(lǐng)域。本設(shè)備集成了氧化膜在線測量功能、ELID磨削功能和拋光機(jī)的功能，本機(jī)能夠在測得的參數(shù)基礎(chǔ)上實(shí)時(shí)進(jìn)行ELID磨削實(shí)驗(yàn)，同時(shí)對被加工件進(jìn)行拋光處理，避免了多次裝夾引入誤差等問題。主要包括摩擦系數(shù)試驗(yàn)機(jī)部分、ELID磨削部分和拋光機(jī)部分。該發(fā)明將氧化膜實(shí)時(shí)測量，ELID磨削、拋光集成在一起，使得氧化膜測量與ELID磨削、拋光在一臺設(shè)備上實(shí)現(xiàn)，便于測得的氧化膜參數(shù)的實(shí)時(shí)驗(yàn)證，由于省去了多工位、多次裝夾帶來的誤差，粗精加工集成在一臺設(shè)備，又能夠提高超精密加工精度。

技術(shù)研發(fā)人員：鄶吉才;江澄冉;王江威;李新;鄧小玲
受保護(hù)的技術(shù)使用者：河南理工大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日：2017.05.12
技術(shù)公布日：2017.11.17