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一種循環(huán)周期交替放電制備多功能性納米防護(hù)涂層的方法與流程

文檔序號:11272314閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
一種循環(huán)周期交替放電制備多功能性納米防護(hù)涂層的方法,屬于等離子體技術(shù)領(lǐng)域,該方法中,將反應(yīng)腔室內(nèi)的抽真空度并通入惰性氣體,使基材在反應(yīng)腔室內(nèi)產(chǎn)生運(yùn)動,通入單體蒸汽到反應(yīng)腔室內(nèi),進(jìn)行化學(xué)氣相沉積,沉積過程包括預(yù)處理階段和鍍膜階段,預(yù)處理階段等離子體放電方式為大功率連續(xù)放電,鍍膜階段等離子體放電方式為周期交替放電,循環(huán)重復(fù)預(yù)處理階段和鍍膜階段至少一次,在鍍膜工藝過程中,循環(huán)引入使基材表面引入更多的活性位點(diǎn),增加有效鍍膜,膜結(jié)構(gòu)更致密,獲得了多層復(fù)合結(jié)構(gòu)的納米涂層,為產(chǎn)品本身提供了多層防護(hù),微觀上表現(xiàn)為更為致密的涂層結(jié)構(gòu),從宏觀上表現(xiàn)出優(yōu)異的疏水性、附著力、耐酸堿、機(jī)械性能及耐濕熱性能。

技術(shù)研發(fā)人員:宗堅(jiān)
受保護(hù)的技術(shù)使用者:無錫榮堅(jiān)五金工具有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.05.21
技術(shù)公布日:2017.09.26
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