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一種用于TFT?LCD顯示屏的酸性蝕刻液添加劑的制作方法

文檔序號:11380928閱讀:687來源:國知局

本發(fā)明涉及tft-lcd顯示屏技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及一種用于tft-lcd顯示屏的酸性蝕刻液添加劑。



背景技術(shù):

在tft-lcd顯示屏生產(chǎn)過程中,酸性蝕刻是一個重要的步驟。隨著蝕刻的進(jìn)行,蝕刻液中銅離子濃度越來越高,蝕刻速度越來越慢,如果不更換會嚴(yán)重影響蝕刻進(jìn)度及質(zhì)量。酸性蝕刻廢液不僅含有大量銅離子,還含有其他有價值的化學(xué)物質(zhì)。隨著顯示技術(shù)的發(fā)展,尤其是顯示技術(shù)向著大型化及高分辨率化的發(fā)展中,傳統(tǒng)的金屬導(dǎo)線會隨著配線的變長,電阻的增加,從而放大信號延遲等問題,造成顯示效果的退化。所以,開始了向是用電阻更低的金屬配線的研發(fā),即銅制成的研發(fā)。由于金屬特性的不同,相應(yīng)的,也開發(fā)出新型的金屬蝕刻液。銅蝕刻液目前多為雙氧水體系配以一定的添加劑,已在實際生產(chǎn)中得到應(yīng)用,是一種較為成熟的技術(shù)。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本發(fā)明旨在提供了一種用于tft-lcd顯示屏的酸性蝕刻液添加劑。

本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:

一種用于tft-lcd顯示屏的酸性蝕刻液添加劑,其是由如下重量份數(shù)的組分組成:氯化銅5-10份、草酸9-16份、無水硫酸銅7-10份、硝酸銅6-8份、氯化鈉3-8份、氯化銨7-10份、羥基磺酸鹽11-15份、促進(jìn)劑6-9份、穩(wěn)定劑4-9份、去離子水45-52份。

一種用于tft-lcd顯示屏的酸性蝕刻液添加劑的制備方法,包括如下步驟:

(1)將去離子水和氯化銅加入攪拌池內(nèi)進(jìn)行攪拌,待氯化銅完全溶解;

(2)向(1)中溶液中加入草酸,然后攪拌,使液體均勻;

(3)向(2)中溶液中加入無水硫酸銅、硝酸銅、氯化鈉、氯化銨,然后攪拌,使液體均勻;

(4)最后加入羥基磺酸鹽、促進(jìn)劑攪拌均勻即可。

所述促進(jìn)劑為次氯酸鈉。

所述穩(wěn)定劑為尿素或硫脲。

與現(xiàn)有技術(shù)相比,本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明的銅蝕刻液添加劑以去離子水為溶劑,呈電中性,銅蝕刻液添加劑在進(jìn)行濕法蝕刻之前添加到蝕刻液中,能夠改善蝕刻液的蝕刻品質(zhì),使蝕刻速率、均一性得到提高;同時配合促進(jìn)劑可以提升蝕刻速度,有效降低鹽酸的使用量,在工藝上有利于生產(chǎn)效率,且經(jīng)濟(jì)實用,配制方法簡單,蝕刻過程中不產(chǎn)生有害氣體。

具體實施方式

下面將結(jié)合本發(fā)明實施例,對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例,而不是全部的實施例?;诒景l(fā)明中的實施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。

實施例1一種用于tft-lcd顯示屏的酸性蝕刻液添加劑,其是由如下重量份數(shù)的組分組成:氯化銅5份、草酸9份、無水硫酸銅7份、硝酸銅6份、氯化鈉3份、氯化銨7份、羥基磺酸鹽11份、促進(jìn)劑6份、穩(wěn)定劑4份、去離子水45份。

一種用于tft-lcd顯示屏的酸性蝕刻液添加劑的制備方法,包括如下步驟:

(1)將去離子水和氯化銅加入攪拌池內(nèi)進(jìn)行攪拌,待氯化銅完全溶解;

(2)向(1)中溶液中加入草酸,然后攪拌,使液體均勻;

(3)向(2)中溶液中加入無水硫酸銅、硝酸銅、氯化鈉、氯化銨,然后攪拌,使液體均勻;

(4)最后加入羥基磺酸鹽、促進(jìn)劑攪拌均勻即可。

所述促進(jìn)劑為次氯酸鈉。

所述穩(wěn)定劑為尿素或硫脲。

實施例2一種用于tft-lcd顯示屏的酸性蝕刻液添加劑,其是由如下重量份數(shù)的組分組成:氯化銅10份、草酸16份、無水硫酸銅10份、硝酸銅8份、氯化鈉8份、氯化銨10份、羥基磺酸鹽15份、促進(jìn)劑9份、穩(wěn)定劑9份、去離子水52份。

一種用于tft-lcd顯示屏的酸性蝕刻液添加劑的制備方法,包括如下步驟:

(1)將去離子水和氯化銅加入攪拌池內(nèi)進(jìn)行攪拌,待氯化銅完全溶解;

(2)向(1)中溶液中加入草酸,然后攪拌,使液體均勻;

(3)向(2)中溶液中加入無水硫酸銅、硝酸銅、氯化鈉、氯化銨,然后攪拌,使液體均勻;

(4)最后加入羥基磺酸鹽、促進(jìn)劑攪拌均勻即可。

所述促進(jìn)劑為次氯酸鈉。

所述穩(wěn)定劑為尿素或硫脲。

實施例3一種用于tft-lcd顯示屏的酸性蝕刻液添加劑,其是由如下重量份數(shù)的組分組成:氯化銅8份、草酸12份、無水硫酸銅9份、硝酸銅7份、氯化鈉5份、氯化銨9份、羥基磺酸鹽13份、促進(jìn)劑8份、穩(wěn)定劑6份、去離子水49份。

一種用于tft-lcd顯示屏的酸性蝕刻液添加劑的制備方法,包括如下步驟:

(1)將去離子水和氯化銅加入攪拌池內(nèi)進(jìn)行攪拌,待氯化銅完全溶解;

(2)向(1)中溶液中加入草酸,然后攪拌,使液體均勻;

(3)向(2)中溶液中加入無水硫酸銅、硝酸銅、氯化鈉、氯化銨,然后攪拌,使液體均勻;

(4)最后加入羥基磺酸鹽、促進(jìn)劑攪拌均勻即可。

所述促進(jìn)劑為次氯酸鈉。

所述穩(wěn)定劑為尿素或硫脲。

對于本領(lǐng)域技術(shù)人員而言,顯然本發(fā)明不限于所述示范性實施例的細(xì)節(jié),而且在不背離本發(fā)明的精神或基本特征的情況下,能夠以其他的具體形式實現(xiàn)本發(fā)明。因此,無論從哪一點來看,均應(yīng)將實施例看作是示范性的,而且是非限制性的,本發(fā)明的范圍由所附權(quán)利要求而不是所述說明限定,因此旨在將落在權(quán)利要求的等同要件的含義和范圍內(nèi)的所有變化囊括在本發(fā)明內(nèi)。此外,應(yīng)當(dāng)理解,雖然本說明書按照實施方式加以描述,但并非每個實施方式僅包含一個獨(dú)立的技術(shù)方案,說明書的這種敘述方式僅僅是為清楚起見,本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)將說明書作為一個整體,各實施例中的技術(shù)方案也可以經(jīng)適當(dāng)組合,形成本領(lǐng)域技術(shù)人員可以理解的其他實施方式。



技術(shù)特征:

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種用于TFT?LCD顯示屏的酸性蝕刻液添加劑,其是由如下重量份數(shù)的組分組成:氯化銅5?10份、草酸9?16份、無水硫酸銅7?10份、硝酸銅6?8份、氯化鈉3?8份、氯化銨7?10份、羥基磺酸鹽11?15份、促進(jìn)劑6?9份、穩(wěn)定劑4?9份、去離子水45?52份。本發(fā)明的銅蝕刻液添加劑以去離子水為溶劑,呈電中性,銅蝕刻液添加劑在進(jìn)行濕法蝕刻之前添加到蝕刻液中,能夠改善蝕刻液的蝕刻品質(zhì),使蝕刻速率、均一性得到提高;同時配合促進(jìn)劑可以提升蝕刻速度,有效降低鹽酸的使用量,在工藝上有利于生產(chǎn)效率,且經(jīng)濟(jì)實用,配制方法簡單,蝕刻過程中不產(chǎn)生有害氣體。

技術(shù)研發(fā)人員:白航空
受保護(hù)的技術(shù)使用者:合肥市惠科精密模具有限公司
技術(shù)研發(fā)日:2017.06.02
技術(shù)公布日:2017.09.05
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