技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種控制拋光墊活化器施壓方向的自動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)，用于拋光墊的修整，其包括砂輪盤安裝座，導(dǎo)向軸，萬(wàn)向底盤及底盤壓蓋；砂輪盤安裝座與萬(wàn)向底盤通過(guò)球面副連接，底盤壓蓋設(shè)置在萬(wàn)向底盤的上部；砂輪盤安裝座及萬(wàn)向底盤上均布有軸孔，導(dǎo)向軸穿過(guò)軸孔，導(dǎo)向軸所在形成的平面構(gòu)成導(dǎo)向支撐面；工作時(shí)，動(dòng)力裝置與轉(zhuǎn)動(dòng)軸連接，轉(zhuǎn)動(dòng)軸連接在萬(wàn)向底盤上，砂輪盤固定在砂輪盤安裝座上；砂輪盤在拋光墊淀積的高點(diǎn)處與拋光墊形成一個(gè)微小的夾角，以消除拋光墊上的凸起。本發(fā)明提供的自動(dòng)調(diào)整機(jī)構(gòu)，其調(diào)整精度高、可靠性強(qiáng)，修整拋光墊表面淀積凸起的效果良好，有利于提高拋光墊的質(zhì)量，提高晶圓的成片率，降低化學(xué)機(jī)械拋光的成本。

技術(shù)研發(fā)人員：姜家宏;費(fèi)玖海;李偉;張為強(qiáng)
受保護(hù)的技術(shù)使用者：北京半導(dǎo)體專用設(shè)備研究所（中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十五研究所）
技術(shù)研發(fā)日：2017.06.26
技術(shù)公布日：2017.10.13