技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種內(nèi)置旋轉(zhuǎn)陰極結(jié)構(gòu)，包括陰極門，所述陰極門的一側(cè)下端設(shè)置有電機座，電機座的上端設(shè)置有靶電機，靶電機固定安裝在電機座上，電機座的下端設(shè)置有同步輪；所述陰極門的另一側(cè)設(shè)置有下端座和上端座；所述下端座的上端設(shè)置與下端蓋、靶管和上端蓋，同步輪與下端蓋固定連接；所述下端蓋的下端設(shè)置有磁流體。本內(nèi)置旋轉(zhuǎn)陰極結(jié)構(gòu)的靶管采用旋轉(zhuǎn)設(shè)計，使得靶面具有自清潔的作用，靶材的利用率高，磁極靴細長，提高了沉積膜厚的均勻性；采用磁流體的密封設(shè)計，適用于批量化生產(chǎn)的生產(chǎn)工藝，有利于大面積生產(chǎn)線真空腔體的模塊化設(shè)計；整體磁極靴的長度可以根據(jù)工藝增加，陰極門結(jié)構(gòu)通用性好，靶材利用率高和工藝穩(wěn)定性強。

技術(shù)研發(fā)人員：朱選敏;郭愛云;李爍
受保護的技術(shù)使用者：武漢科瑞達真空科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.06.28
技術(shù)公布日：2017.08.18