技術特征：

技術總結
本發(fā)明提供了一種用于控制非球面元件全頻段誤差的加工方法涉及非球面元件加工技術領域。一種用于控制非球面元件全頻段誤差的加工方法，其包括磨削成型、保形拋光、修正拋光、勻滑拋光四個步驟。磨削成型：采用超精密磨削方法進行非球面元件的直接成型，同時將亞表面缺陷控制在較低水平；保形拋光：采用高穩(wěn)定性、高去除效率的子口徑拋光技術，實現(xiàn)非球面元件的快速保形拋亮，以去除亞表面缺陷；修正拋光：采用高穩(wěn)定性的子口徑拋光技術快速修正非球面元件低頻誤差；勻滑拋光：采用勻滑拋光技術，在低頻誤差不被惡化的情況下，控制非球面元件中高頻誤差。本發(fā)明加工方法的特點在于通過多種技術耦合實現(xiàn)非球面元件全頻段誤差控制。

技術研發(fā)人員：鐘波;陳賢華;王健;許喬;周煉;謝瑞清;鄧文輝;侯晶;趙世杰;袁志剛;徐曦;金會良
受保護的技術使用者：中國工程物理研究院激光聚變研究中心
技術研發(fā)日：2017.07.24
技術公布日：2017.09.15