本實(shí)用新型涉及蒸發(fā)鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，特別是指一種蒸發(fā)源裝置及蒸發(fā)鍍膜設(shè)備。

背景技術(shù)：

板顯示包括LCD(液晶顯示器)顯示、OLED(有機(jī)電致發(fā)光二極管)顯示、PDP(等離子顯示板)顯示和電子墨水顯示等多種，OLED顯示具有輕薄、低功耗、高對(duì)比度、高色域、可以實(shí)現(xiàn)柔性顯示等優(yōu)點(diǎn)，是下一代顯示器的發(fā)展趨勢。OLED顯示包括PMOLED(Passive matrix Organic Light-Emitting Diode，被動(dòng)矩陣有機(jī)電激發(fā)光二極管)顯示和AMOLED(Active matrix Organic Light-Emitting Diode，主動(dòng)矩陣有機(jī)發(fā)光二極體)顯示。其中AMOLED顯示的實(shí)現(xiàn)方式有低溫多晶硅(LTPS)背板+精細(xì)金屬掩膜(FMM Mask)的方式，和Oxide(氧化物)背板+WOLED(白光有機(jī)電致發(fā)光二極管)+彩膜的方式。前者主要應(yīng)用于小尺寸面板，對(duì)應(yīng)手機(jī)和移動(dòng)應(yīng)用；后者主要應(yīng)用于大尺寸面板，對(duì)應(yīng)顯示屏和電視等應(yīng)用?，F(xiàn)在LTPS背板+FMM Mask的方式已經(jīng)初步成熟，并實(shí)現(xiàn)了量產(chǎn)。

精細(xì)金屬掩膜(FMM Mask)模式，是通過蒸鍍方式將OLED材料按照預(yù)定程序蒸鍍到低溫多晶硅(LTPS)背板上，利用FMM上的圖形，形成紅綠藍(lán)器件。蒸鍍是在真空環(huán)境中，將有機(jī)材料加熱、蒸發(fā)，并鍍到基板上，量產(chǎn)中使用線性蒸發(fā)源和線性坩堝。

器件的發(fā)光層通常使用兩種或兩種以上的材料來提高發(fā)光效率和壽命，為了確保多種材料蒸發(fā)到玻璃基板上的Profile(輪廓)重合，而不出現(xiàn)分層現(xiàn)象，傳統(tǒng)的線性蒸發(fā)源上部采用分離式的角度板來控制蒸發(fā)材料的蒸發(fā)角度，不同的材料從各自的角度板空間中蒸發(fā)出來，并在到達(dá)玻璃基板上的途中進(jìn)行混合，然后到達(dá)玻璃基板。如圖1所示，每個(gè)坩堝噴嘴組102的出口處分別設(shè)置有角度板104(分離式的角度板)，坩堝的外壁設(shè)置有冷卻壁103，不同的材料從各自的角度板104圍成的空間中蒸發(fā)出來，并在到達(dá)玻璃基板101上的途中進(jìn)行混合，然后到達(dá)玻璃基板101。但是，這種蒸發(fā)方式導(dǎo)致多種材料的Profile重合性并不好(通常小于80％)，使得由此制得的器件的性能較差，而且由于無加熱裝置，導(dǎo)致大量材料蒸發(fā)到角度板上，造成材料浪費(fèi)，材料利用率較低(通常為20％左右)，而且材料在角度板上積累過多常常會(huì)導(dǎo)致材料掉落，引起坩堝噴嘴堵塞等現(xiàn)象，因此需要定期更換或清理角度板，導(dǎo)致日常清理維護(hù)比較繁瑣。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

有鑒于此，本實(shí)用新型的目的在于提出一種蒸發(fā)源裝置及蒸發(fā)鍍膜設(shè)備，以解決多種材料的Profile重合性不好和/或蒸發(fā)材料利用率低的技術(shù)問題。

基于上述目的，本實(shí)用新型提供的蒸發(fā)源裝置包括用于蒸發(fā)蒸鍍材料的加熱裝置，所述加熱裝置設(shè)置有噴嘴組和角度板，所述噴嘴組包括多個(gè)噴嘴，所述角度板位于所述噴嘴組兩側(cè)，所述角度板在所述噴嘴組的頂部形成一個(gè)蒸發(fā)出口。

在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，所述噴嘴組的四周分別設(shè)置有角度板，所述噴嘴組四周的角度板在所述噴嘴組的頂部形成一個(gè)蒸發(fā)出口。

在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，所述角度板設(shè)置有用于使所述角度板溫度升高的電熱元件。

在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，所述角度板的內(nèi)部為中空結(jié)構(gòu)，所述電熱元件設(shè)置于所述中空結(jié)構(gòu)中。

在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，所述電熱元件選自電熱絲、電熱合金、微波加熱器件、電熱板、云母發(fā)熱器件中的至少一種；和/或

所述角度板朝向所述噴嘴組的一側(cè)為陶瓷板和/或金屬板。

在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，所述角度板在背離所述噴嘴組的另一側(cè)設(shè)置有冷卻板。

在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，所述冷卻板的內(nèi)部與循環(huán)冷卻水連通；和/或

所述冷卻板的內(nèi)部填充有冷卻劑。

在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，所述角度板的開合角度可調(diào)。

在本實(shí)用新型的一些實(shí)施例中，所述角度板的端部與加熱裝置的外壁鉸接，所述角度板的端部能夠繞著鉸接處轉(zhuǎn)動(dòng)。

本實(shí)用新型還提供一種蒸發(fā)鍍膜設(shè)備，包括上述任意一個(gè)實(shí)施例中的蒸發(fā)源裝置。

從上面所述可以看出，本實(shí)用新型提供的蒸發(fā)源裝置和蒸發(fā)鍍膜設(shè)備將分離式的角度板變?yōu)橹恍纬梢粋€(gè)蒸發(fā)出口的角度板，確保多種材料從同一個(gè)蒸發(fā)出口蒸鍍到玻璃基板上，保證多種材料混合度更加均一，從而保證蒸鍍到玻璃基板上的膜層不會(huì)因材料蒸發(fā)的角度問題出現(xiàn)分層現(xiàn)象，可提高Profile重合性(＞80％)，繼而保證了器件具有更高的效率。由于角度板的溫度可控，可以通過使角度板溫度升高，避免大量蒸鍍材料在角度板上冷凝，減少材料因粘附到角度板上而造成的浪費(fèi)，使盡可能多的材料可以通過蒸發(fā)出口噴發(fā)出去，到達(dá)玻璃基板表面，從而提高材料的利用率，也可以避免由于長時(shí)間的吸附粘黏材料角度控制會(huì)有所變化的問題和由于材料積累過多導(dǎo)致掉落引起坩堝噴嘴堵塞的問題。

附圖說明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中的蒸發(fā)源裝置蒸鍍時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例蒸發(fā)源裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例蒸發(fā)源裝置蒸鍍時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例角度板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本實(shí)用新型另一個(gè)實(shí)施例蒸發(fā)源裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為本實(shí)用新型實(shí)施例角度板和冷卻板的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖7為本實(shí)用新型另一個(gè)實(shí)施例蒸發(fā)源裝置蒸鍍時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖8為本實(shí)用新型實(shí)施例蒸發(fā)源裝置的角度板敞開時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

為使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合具體實(shí)施例，并參照附圖，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步詳細(xì)說明。

參考圖2，其為本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例蒸發(fā)源裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。作為本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述蒸發(fā)源裝置包括用于蒸發(fā)蒸鍍材料的加熱裝置，所述加熱裝置設(shè)置有噴嘴組202和角度板204，所述噴嘴組202包括多個(gè)噴嘴，所述角度板204位于所述噴嘴組202兩側(cè)，所述角度板204在所述噴嘴組202的頂部形成一個(gè)蒸發(fā)出口206。參考圖3，其為本實(shí)用新型一個(gè)實(shí)施例蒸發(fā)源裝置蒸鍍時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖。蒸鍍時(shí)，不同的材料從噴嘴組202中蒸發(fā)出來，在角度板204之間進(jìn)行均勻混合，并使蒸發(fā)材料最終從同一個(gè)蒸發(fā)出口206噴發(fā)出來，然后到達(dá)玻璃基板201。

可見，本實(shí)用新型提供的蒸發(fā)源裝置可以有效地使材料在蒸發(fā)源內(nèi)部(角度板之間)進(jìn)行均勻混合，并使蒸發(fā)材料最終從同一個(gè)蒸發(fā)出口噴發(fā)出來，避免因多種材料的Profile重合不好，導(dǎo)致蒸鍍到玻璃基板表面的膜層出現(xiàn)分層現(xiàn)象，從而解決多種材料的Profile重合性不好的問題。

可選地，所述噴嘴組202為線性噴嘴組，多個(gè)噴嘴沿著線源方向設(shè)置，有機(jī)材料從所述線性噴嘴組中蒸發(fā)出來，并通過同一個(gè)蒸發(fā)出口鍍到玻璃基板上。

作為本實(shí)用新型的又一個(gè)實(shí)施例，所述噴嘴組202的四周分別設(shè)置有角度板204，所述噴嘴組202四周的角度板204在所述噴嘴組202的頂部形成一個(gè)蒸發(fā)出口206。在本實(shí)施例中，這些設(shè)置在噴嘴組202四周的角度板在噴嘴組202的頂部形成一個(gè)蒸發(fā)出口206，不同的材料從噴嘴組202中蒸發(fā)出來，在角度板204之間進(jìn)行均勻混合，并使蒸鍍材料最終從同一個(gè)蒸發(fā)出口206噴發(fā)出來，然后到達(dá)玻璃基板201。因此，本實(shí)用新型提供的蒸發(fā)源裝置可以有效地使材料在蒸發(fā)源內(nèi)部(角度板之間)進(jìn)行均勻混合，并使蒸鍍材料最終從同一個(gè)蒸發(fā)出口噴發(fā)出來，避免因多種材料的Profile重合不好，導(dǎo)致蒸鍍到玻璃基板表面的膜層出現(xiàn)分層現(xiàn)象，從而解決多種材料的Profile重合性不好的問題。

在本實(shí)用新型的又一個(gè)實(shí)施例中，所述角度板204設(shè)置有用于使所述角度板204溫度升高的電熱元件。在角度板上設(shè)置電熱元件，電熱元件能夠使角度板溫度升高，因此可以通過控制角度板的溫度至適宜溫度，避免大量蒸鍍材料在角度板上冷凝，減少材料因粘附到角度板上而造成的浪費(fèi)，使盡可能多的材料可以通過蒸發(fā)出口噴發(fā)出去，到達(dá)玻璃基板表面，從而解決蒸鍍材料利用率低的問題。需要說明的是，最好控制角度板的溫度高于材料的蒸發(fā)溫度，以保證材料不會(huì)粘附在角度板上造成材料浪費(fèi)，同時(shí)低于材料的分解溫度，保證材料不會(huì)因高溫而分解。所述電熱元件可以設(shè)置在角度板的表面，也可以設(shè)置在角度板的內(nèi)部，能夠使所述角度板溫度升高即可。

參考圖4，其為本實(shí)用新型實(shí)施例角度板的結(jié)構(gòu)示意圖。作為本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述角度板204的內(nèi)部為中空結(jié)構(gòu)，所述電熱元件2042設(shè)置于所述中空結(jié)構(gòu)中。由于角度板的內(nèi)部為中空結(jié)構(gòu)，電熱元件設(shè)置在該中空結(jié)構(gòu)中，可以保證整個(gè)角度板與蒸鍍材料的接觸溫度均一，不會(huì)因局部過熱導(dǎo)致材料分解或者局部過冷導(dǎo)致材料在角度板上粘附、堆積。因此，本實(shí)用新型提供的蒸發(fā)源裝置不但可以提高蒸鍍材料的利用率，還能減少更換或清理角度板的次數(shù)。

可選地，所述電熱元件2042選自電熱絲、電熱合金、微波加熱器件、電熱板、云母發(fā)熱器件中的至少一種。這些電熱元件可以對(duì)所述角度板進(jìn)行加熱，使其溫度升高。較佳地，所述電熱元件的數(shù)量為多個(gè)，所述電熱元件的設(shè)置方式不限制，可以均勻分布在角度板內(nèi)，也可以不均勻分布在角度板內(nèi)，多個(gè)電熱元件的設(shè)置可以使整個(gè)角度板與蒸鍍材料的接觸溫度均一，不會(huì)因局部過熱導(dǎo)致材料分解或者局部過冷導(dǎo)致材料在角度板上粘附、堆積。

作為本實(shí)用新型的再一個(gè)實(shí)施例，結(jié)合圖2-4，所述角度板204朝向所述噴嘴組202的一側(cè)2041為陶瓷板和/或金屬板。在角度板的選材上，采用陶瓷和/或金屬材質(zhì)，可以避免選擇與蒸發(fā)材料發(fā)生化學(xué)或物理反應(yīng)，還可以保證整個(gè)角度板與材料的接觸溫度均一。需要說明的是，如圖4所示，在本實(shí)施例中，所述角度板204背離所述噴嘴組202的一側(cè)標(biāo)記為2043。所述電熱元件2042至少用于加熱所述角度板204朝向所述噴嘴組202的一側(cè)2041。

參考圖5，其為本實(shí)用新型另一個(gè)實(shí)施例蒸發(fā)源裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。在所述角度板204在背離所述噴嘴組202的另一側(cè)設(shè)置有冷卻板205。由于在背離所述噴嘴組的另一側(cè)設(shè)置冷卻板，冷卻板具有冷卻功能，可以避免對(duì)玻璃基板或者掩膜板造成熱輻射，從而防止溫度過高造成的成膜不良的問題。

參考圖6，其為本實(shí)用新型實(shí)施例角度板和冷卻板的結(jié)構(gòu)示意圖。在該實(shí)施例中，所述角度板204的內(nèi)部為中空結(jié)構(gòu)，所述電熱元件2042設(shè)置于所述中空結(jié)構(gòu)中。所述角度板204的一側(cè)2041朝向所述噴嘴組202，所述角度板204的另一側(cè)2043背離所述噴嘴組202，所述冷卻板205設(shè)置于背離所述噴嘴組202的一側(cè)2043，所述電熱元件2042至少用于加熱所述角度板204朝向所述噴嘴組202的一側(cè)2041。

可選地，所述冷卻板205沿著角度板204的表面設(shè)置在背離所述噴嘴組202的一側(cè)2043，在所述噴嘴組202的頂部形成一個(gè)蒸發(fā)出口206。所述角度板204與冷卻板205可以互相貼合，也可以保持一定距離。所述冷卻板205的表面積可以與角度板的表面積相同，也可以不同。也就是說，所述冷卻板205的設(shè)置方式不限，但是不能遮擋蒸發(fā)出口206。如圖7所示，在角度板204上設(shè)置冷卻板205后，不同的材料從噴嘴組202中蒸發(fā)出來，在角度板204之間進(jìn)行均勻混合，并使蒸發(fā)材料最終從同一個(gè)蒸發(fā)出口206噴發(fā)出來，然后到達(dá)玻璃基板201。

可選地，所述冷卻板205的內(nèi)部與循環(huán)冷卻水連通，通過循環(huán)冷卻水對(duì)所述冷卻板205進(jìn)行降溫，從而使冷卻板205具有冷卻功能，可以避免對(duì)玻璃基板或者掩膜板造成熱輻射，從而防止溫度過高造成的成膜不良的問題?？蛇x地，所述冷卻板205的內(nèi)部填充有冷卻劑，冷卻劑對(duì)所述冷卻板205進(jìn)行降溫，從而使冷卻板205具有冷卻功能。

在本實(shí)用新型的另一個(gè)實(shí)施例中，所述角度板204的開合角度可調(diào)。圖8為本實(shí)用新型實(shí)施例蒸發(fā)源裝置的角度板敞開時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖，由于角度板的開合角度可調(diào)，一方面可以改變蒸發(fā)出口的大小和角度，從而改變蒸鍍區(qū)域，另一方面可以將噴嘴組露出，以便于清理角度板和噴嘴組。需要說明的是，為了配合角度板的開合角度可調(diào)，所述冷卻板的開合角度也可調(diào)。

作為本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例，所述角度板204的端部與加熱裝置的外壁203鉸接，所述角度板204的端部能夠繞著鉸接處轉(zhuǎn)動(dòng)，因此可以根據(jù)需要調(diào)整角度板的開合角度，既便于改變蒸發(fā)出口的大小和角度，也便于清理角度板和噴嘴組。

本實(shí)用新型還提供了一種蒸發(fā)鍍膜設(shè)備，所述蒸發(fā)鍍膜設(shè)備包括所述任意一個(gè)實(shí)施例中的蒸發(fā)源裝置。

由此可見，本實(shí)用新型提供的蒸發(fā)源裝置和蒸發(fā)鍍膜設(shè)備將分離式的角度板變?yōu)橹恍纬梢粋€(gè)蒸發(fā)出口的角度板，確保多種材料從同一個(gè)蒸發(fā)出口蒸鍍到玻璃基板上，保證多種材料混合度更加均一，從而保證蒸鍍到玻璃基板上的膜層不會(huì)因材料蒸發(fā)的角度問題出現(xiàn)分層現(xiàn)象，可提高Profile重合性(＞80％)，繼而保證了器件具有更高的效率。由于角度板的溫度可控，可以通過使角度板溫度升高，避免大量蒸鍍材料在角度板上冷凝，減少材料因粘附到角度板上而造成的浪費(fèi)，使盡可能多的材料可以通過蒸發(fā)出口噴發(fā)出去，到達(dá)玻璃基板表面，從而提高材料的利用率，也可以避免由于長時(shí)間的吸附粘黏材料角度控制會(huì)有所變化的問題和由于材料積累過多導(dǎo)致掉落引起坩堝噴嘴堵塞的問題。

所屬領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解：以上任何實(shí)施例的討論僅為示例性的，并非旨在暗示本公開的范圍(包括權(quán)利要求)被限于這些例子；在本實(shí)用新型的思路下，以上實(shí)施例或者不同實(shí)施例中的技術(shù)特征之間也可以進(jìn)行組合，并存在如上所述的本實(shí)用新型的不同方面的許多其它變化，為了簡明它們沒有在細(xì)節(jié)中提供。因此，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所做的任何省略、修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。