本實(shí)用新型涉及鍍鋁設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種新型鍍鋁機(jī)。

背景技術(shù)：

鍍鋁機(jī)是在真空條件下，利用電子束加熱蒸材料，使之氣化蒸發(fā)后凝結(jié)在晶片表面上成膜的設(shè)備。其原理為：由電子槍產(chǎn)生的電子束在電場(chǎng)的作用下獲得功能打在晶片上，當(dāng)加速電壓足夠高時(shí)，所產(chǎn)生的熱能使膜材加熱氣化。鍍鋁機(jī)一般由真空系統(tǒng)、蒸發(fā)系統(tǒng)和高壓發(fā)生裝置組成，但是現(xiàn)有技術(shù)中的鍍鋁機(jī)真空效果不是很好，常常會(huì)影響鍍鋁效果，因此，需要對(duì)其進(jìn)行改進(jìn)。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是為了解決上述問(wèn)題，設(shè)計(jì)了一種新型鍍鋁機(jī)。

實(shí)現(xiàn)上述目的本實(shí)用新型的技術(shù)方案為，一種新型鍍鋁機(jī)，包括底座，所述底座上設(shè)有油擴(kuò)散泵，所述底座上還設(shè)有真空罩，所述油擴(kuò)散泵與真空罩之間連接有連接管，所述真空罩內(nèi)設(shè)有行星盤(pán)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，所述行星盤(pán)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置上設(shè)有蒸發(fā)底板，所述蒸發(fā)底板上設(shè)有一組電極，所述一組電極之間連接有蒸發(fā)舟，所述蒸發(fā)舟上設(shè)有被蒸發(fā)材料，所述真空罩上端設(shè)有放置框架，所述放置框架上設(shè)有膜厚檢測(cè)裝置，所述真空罩側(cè)表面且位于放置框架相對(duì)應(yīng)處設(shè)有開(kāi)口，所述開(kāi)口處設(shè)有閥門(mén)，所述真空罩上設(shè)有高壓變壓器及大功率電子管。

所述油擴(kuò)散泵的底部安裝有加熱盤(pán)。

所述放置框架下方設(shè)有烘烤加熱裝置。

所述電極外側(cè)下端設(shè)有電極外圈。

所述電極外圈為陶瓷外圈。

利用本實(shí)用新型的技術(shù)方案制作的新型鍍鋁機(jī)，采用油擴(kuò)散泵和膜厚檢測(cè)裝置，解決了上述背景技術(shù)中所提出的問(wèn)題，油擴(kuò)散泵底部安裝加熱盤(pán)，提高了加熱溫度，真空效果更好，同時(shí)電極外圈減少了減少了電極與蒸發(fā)底板之間的導(dǎo)電現(xiàn)象，大大提高了鍍鋁質(zhì)量，同時(shí)可隨時(shí)監(jiān)測(cè)膜厚，更加智能化。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型所述新型鍍鋁機(jī)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖中，1、底座；2、油擴(kuò)散泵；3、真空罩；4、連接管；5、行星盤(pán)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置；6、蒸發(fā)底板；7、電極；8、蒸發(fā)舟；9、被蒸發(fā)材料；10、放置框架；11、膜厚檢測(cè)裝置；12、開(kāi)口；13、閥門(mén)；14、高壓變壓器；15、大功率電子管；16、加熱盤(pán)；17、烘烤加熱裝置；18、電極外圈。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行具體描述，如圖1所示，一種新型鍍鋁機(jī)，包括底座1，所述底座1上設(shè)有油擴(kuò)散泵2，所述底座1上還設(shè)有真空罩3，所述油擴(kuò)散泵2與真空罩3之間連接有連接管4，所述真空罩3內(nèi)設(shè)有行星盤(pán)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置5，所述行星盤(pán)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置5上設(shè)有蒸發(fā)底板6，所述蒸發(fā)底板6上設(shè)有一組電極7，所述一組電極7之間連接有蒸發(fā)舟8，所述蒸發(fā)舟8上設(shè)有被蒸發(fā)材料9，所述真空罩3上端設(shè)有放置框架10，所述放置框架10上設(shè)有膜厚檢測(cè)裝置11，所述真空罩3側(cè)表面且位于放置框架10相對(duì)應(yīng)處設(shè)有開(kāi)口12，所述開(kāi)口12處設(shè)有閥門(mén)13，所述真空罩3上設(shè)有高壓變壓器14及大功率電子管15；所述油擴(kuò)散泵2的底部安裝有加熱盤(pán)16；所述放置框架10下方設(shè)有烘烤加熱裝置17；所述電極7外側(cè)下端設(shè)有電極外圈18；所述電極外圈18為陶瓷外圈。

本實(shí)施方案的特點(diǎn)為，底座1上設(shè)有油擴(kuò)散泵2，底座1上還設(shè)有真空罩3，油擴(kuò)散泵2與真空罩3之間連接有連接管4，真空罩3內(nèi)設(shè)有行星盤(pán)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置5，行星盤(pán)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置5上設(shè)有蒸發(fā)底板6，蒸發(fā)底板6上設(shè)有一組電極7，一組電極7之間連接有蒸發(fā)舟8，蒸發(fā)舟8上設(shè)有被蒸發(fā)材料9，真空罩3上端設(shè)有放置框架10，放置框架10上設(shè)有膜厚檢測(cè)裝置11，真空罩3側(cè)表面且位于放置框架10相對(duì)應(yīng)處設(shè)有開(kāi)口12，開(kāi)口12處設(shè)有閥門(mén)13，真空罩3上設(shè)有高壓變壓器14及大功率電子管15，采用油擴(kuò)散泵和膜厚檢測(cè)裝置，解決了上述背景技術(shù)中所提出的問(wèn)題，油擴(kuò)散泵底部安裝加熱盤(pán)，提高了加熱溫度，真空效果更好，同時(shí)電極外圈減少了減少了電極與蒸發(fā)底板之間的導(dǎo)電現(xiàn)象，大大提高了鍍鋁質(zhì)量，同時(shí)可隨時(shí)監(jiān)測(cè)膜厚，更加智能化。

在本實(shí)施方案中，首先將需要鍍鋁材料從開(kāi)口12處放置到放置框架10上，然后關(guān)上閥門(mén)13，之后啟動(dòng)油擴(kuò)散泵2，由于油擴(kuò)散泵2底部設(shè)有加熱盤(pán)16，故可以保證加熱溫度保持在240℃以上，使得油擴(kuò)散泵2對(duì)真空罩3的抽真空效果更好，將被蒸發(fā)材料9放置在蒸發(fā)舟8上，然后行星盤(pán)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置5上的蒸發(fā)區(qū)域開(kāi)始工作，此過(guò)程中電極外圈18設(shè)有陶瓷電機(jī)外圈，使得電極7與蒸發(fā)底板6之間的導(dǎo)電現(xiàn)象減少，提高了鍍鋁效果，然后高壓變壓器14、大功率電子管15及烘烤加熱裝置17工作，對(duì)鍍鋁薄膜表面進(jìn)行烘干處理，同時(shí)設(shè)有膜厚檢測(cè)裝置11，可以隨時(shí)監(jiān)測(cè)鍍鋁的膜厚程度。

上述技術(shù)方案僅體現(xiàn)了本實(shí)用新型技術(shù)方案的優(yōu)選技術(shù)方案，本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員對(duì)其中某些部分所可能做出的一些變動(dòng)均體現(xiàn)了本實(shí)用新型的原理，屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。