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一種雙面真空薄膜鍍鋁裝置的制作方法

文檔序號:12920250閱讀:417來源:國知局

本實用新型涉及真空鍍鋁薄膜技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種雙面真空薄膜鍍鋁裝置。



背景技術(shù):

現(xiàn)有技術(shù)中,真空薄膜鍍鋁裝置只能單面鍍膜,但是很多應(yīng)用場合需要雙面鍍膜的片狀基材,這時候現(xiàn)有技術(shù)中的真空薄膜鍍鋁裝置只能分別單面鍍膜,分兩次鍍膜造成加工效率低下,無法滿足生產(chǎn)需要。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

本實用新型的目的在于提供一種雙面真空薄膜鍍鋁裝置,所要解決的技術(shù)問題是如何提高成膜效率,一次完成雙面鍍膜。

本實用新型所述的雙面真空薄膜鍍鋁裝置包括真空室,真空室內(nèi)設(shè)置有開卷機、收卷機、片狀基材、第一冷卻滾筒、第一鋁蒸鍍源、第二鋁蒸鍍源、第二冷卻滾筒、氣體噴嘴和隔板,所述隔板將真空室分隔成上層和下層,第一鋁蒸鍍源和第二鋁蒸鍍源位于下層,開卷機、收卷機和氣體噴嘴位于上層;隔板上設(shè)置有兩個平行的條形孔,第一冷卻滾筒和第二冷卻滾筒分別位于其中一個條形孔內(nèi),開卷機、第一冷卻滾筒、第二冷卻滾筒和收卷機組成傳動系統(tǒng),片狀基材設(shè)置在該傳動系統(tǒng)上;開卷機的旋轉(zhuǎn)方向與第一冷卻滾筒的旋轉(zhuǎn)方向相反;第一冷卻滾筒的旋轉(zhuǎn)方向與第二冷卻滾筒的旋轉(zhuǎn)方向相反;第二冷卻滾筒的旋轉(zhuǎn)方向與收卷機的旋轉(zhuǎn)方向相反;第一鋁蒸鍍源設(shè)置在第一冷卻滾筒的正下方;第二鋁蒸鍍源設(shè)置在第二冷卻滾筒的正下方;第一鋁蒸鍍源與第一冷卻滾筒的下表面上的片狀基材的正面相對;第二鋁蒸鍍源與第二冷卻滾筒的下表面上的片狀基材的反面相對。

所述的氣體噴嘴設(shè)置在收卷機的斜上方,氣體噴嘴與氧化氣體配管連接,所述的氧化氣體配管上設(shè)置有流量閥。

所述的第一冷卻滾筒和第二冷卻滾筒的溫度維持在-10℃至-15℃之間。

所述的第一冷卻滾筒和第二冷卻滾筒的旋轉(zhuǎn)速度維持在300至900厘米/秒之間。

所述真空室內(nèi)的壓力維持在2.66×10-5KPa至2.66×10-6KPa之間。

本實用新型的技術(shù)方案具有如下優(yōu)點:

本實用新型所述的雙面真空薄膜鍍鋁裝置能夠一次完成雙面鍍膜,成膜效率高,而且通過設(shè)置隔板,有效防止了片狀基材上吸附的氣體和水分造成的蒸發(fā)裝置附近的真空度變差。

附圖說明

圖1是本實用新型所述的雙面真空薄膜鍍鋁裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實施方式

以下實施例用于說明本實用新型,但不用來限制本實用新型的范圍。

如圖1所示,本實用新型所述的雙面真空薄膜鍍鋁裝置包括真空室1,真空室1內(nèi)設(shè)置有開卷機2、收卷機3、片狀基材4、第一冷卻滾筒5、第一鋁蒸鍍源6、第二鋁蒸鍍源7、第二冷卻滾筒8、氣體噴嘴9和隔板16,所述隔板16將真空室1分隔成上層和下層,第一鋁蒸鍍源6和第二鋁蒸鍍源7位于下層,開卷機2、收卷機3和氣體噴嘴9位于上層;隔板16上設(shè)置有兩個平行的條形孔,第一冷卻滾筒5和第二冷卻滾筒8分別位于其中一個條形孔內(nèi),開卷機2、第一冷卻滾筒5、第二冷卻滾筒8和收卷機3組成傳動系統(tǒng),片狀基材4設(shè)置在該傳動系統(tǒng)上;開卷機2的旋轉(zhuǎn)方向與第一冷卻滾筒5的旋轉(zhuǎn)方向相反;第一冷卻滾筒5的旋轉(zhuǎn)方向與第二冷卻滾筒8的旋轉(zhuǎn)方向相反;第二冷卻滾筒8的旋轉(zhuǎn)方向與收卷機3的旋轉(zhuǎn)方向相反;第一鋁蒸鍍源6設(shè)置在第一冷卻滾筒5的正下方;第二鋁蒸鍍源7設(shè)置在第二冷卻滾筒8的正下方;第一鋁蒸鍍源6與第一冷卻滾筒5的下表面上的片狀基材4的正面相對;第二鋁蒸鍍源7與第二冷卻滾筒8的下表面上的片狀基材4的反面相對。

所述的氣體噴嘴9設(shè)置在收卷機3的斜上方,氣體噴嘴9與氧化氣體配管14連接,所述的氧化氣體配管14上設(shè)置有流量閥15。

所述的第一冷卻滾筒5和第二冷卻滾筒8的溫度維持在-10℃至-15℃之間。

所述的第一冷卻滾筒5和第二冷卻滾筒8的旋轉(zhuǎn)速度維持在300至900厘米/秒之間。

所述真空室1內(nèi)的壓力維持在2.66×10-5KPa至2.66×10-6KPa之間。

本實用新型所述的雙面真空薄膜鍍鋁裝置在運行時,開卷機2旋轉(zhuǎn)帶動片狀基材4沿著第一冷卻滾筒5、第二冷卻滾筒8和收卷機3組成的傳動系統(tǒng)運動,由于開卷機2的旋轉(zhuǎn)方向與第一冷卻滾筒5的旋轉(zhuǎn)方向相反;第一冷卻滾筒5的旋轉(zhuǎn)方向與第二冷卻滾筒8的旋轉(zhuǎn)方向相反;第二冷卻滾筒8的旋轉(zhuǎn)方向與收卷機3的旋轉(zhuǎn)方向相反;因此如圖1所示,第一鋁蒸鍍源6與第一冷卻滾筒5的下表面上的片狀基材4的正面相對;第二鋁蒸鍍源7與第二冷卻滾筒8的下表面上的片狀基材4的反面相對,也就是說,第一鋁蒸鍍源6對片狀基材4的正面進行蒸鍍,第二鋁蒸鍍源7對片狀基材4的反面進行蒸鍍,從而實現(xiàn)一次完成雙面鍍膜。

第一鋁蒸鍍源6和第二鋁蒸鍍源7蒸發(fā)出的鋁蒸汽沉積在片狀基材4的正面和反面上。第一冷卻滾筒5和第二冷卻滾筒8持續(xù)在旋轉(zhuǎn),同時第一冷卻滾筒5和第二冷卻滾筒8冷卻到-10℃至-15℃,促進鋁蒸汽在片狀基材上的冷凝沉積。沉積了鋁膜的片狀基材由收卷機3收卷,纏繞成筒狀的復合基材。在收卷機3收卷之前,通過氣體噴嘴9將氧化性氣體(例如氧氣)噴射到片狀基材上的鋁膜中,能夠提高鋁膜與片狀基材之間的粘著力,避免鋁膜脫落。雖然,上文中已經(jīng)用一般性說明及具體實施例對本實用新型作了詳盡的描述,但在本實用新型基礎(chǔ)上,可以對之作一些修改或改進,這對本領(lǐng)域技術(shù)人員而言是顯而易見的。因此,在不偏離本實用新型精神的基礎(chǔ)上所做的這些修改或改進,均屬于本實用新型要求保護的范圍。

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