本實(shí)用新型涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種對(duì)位裝置及蒸鍍?cè)O(shè)備。

背景技術(shù)：

近來(lái)，OLED(Organic Light-Emitting Diode，有機(jī)發(fā)光二極管)顯示器因具有自發(fā)光、響應(yīng)時(shí)間短、寬視角、對(duì)比度高、可柔性化等特點(diǎn)而引起廣泛關(guān)注。

現(xiàn)有OLED顯示器在生產(chǎn)過(guò)程中，需要通過(guò)對(duì)位裝置對(duì)玻璃基板進(jìn)行對(duì)位后才能進(jìn)行蒸鍍?，F(xiàn)有對(duì)位裝置如圖1結(jié)構(gòu)所示，在對(duì)玻璃基板110進(jìn)行對(duì)位的過(guò)程中，玻璃基板110通過(guò)固定結(jié)構(gòu)的定位塊120進(jìn)行定位，玻璃基板110的一側(cè)容易放置到定位塊120上，當(dāng)冷卻板(Cooling Plate)130與定位塊120進(jìn)行貼合時(shí)會(huì)造成玻璃基板110破裂，一旦玻璃基板110發(fā)生破裂必須打開真空腔室進(jìn)行處理，然后蒸鍍?cè)O(shè)備恢復(fù)正常生產(chǎn)至少需要12小時(shí)，導(dǎo)致嚴(yán)重影響蒸鍍?cè)O(shè)備生產(chǎn)效率的問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型提供了一種對(duì)位裝置及蒸鍍?cè)O(shè)備，該對(duì)位裝置能夠通過(guò)活動(dòng)設(shè)置的滑塊減小玻璃基板碎裂的幾率，進(jìn)而提高蒸鍍?cè)O(shè)備的生產(chǎn)效率。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供以下技術(shù)方案：

一種對(duì)位裝置，用于玻璃基板的對(duì)位，所述對(duì)位裝置包括沿所述玻璃基板周向分布的至少四個(gè)對(duì)位機(jī)構(gòu)、以及設(shè)置于所述至少四個(gè)對(duì)位機(jī)構(gòu)頂部的冷卻板機(jī)構(gòu)，其中：

每個(gè)對(duì)位機(jī)構(gòu)包括底座、能夠沿所述底座的延伸方向滑動(dòng)地安裝于所述底座的滑塊；所述底座朝向玻璃基板的一端設(shè)置有用于支撐所述玻璃基板的支撐面；所述滑塊背離所述玻璃基板的一側(cè)表面與水平面形成的開口朝向所述玻璃基板的夾角為銳角；

所述冷卻板機(jī)構(gòu)包括冷卻板以及設(shè)置于所述冷卻板、且與所述滑塊一一對(duì)應(yīng)抵接的驅(qū)動(dòng)組件，所述驅(qū)動(dòng)組件用于驅(qū)動(dòng)所述滑塊朝向所述玻璃基板滑動(dòng)。

上述對(duì)位裝置通過(guò)設(shè)置于玻璃基板周向的對(duì)位機(jī)構(gòu)形成放置玻璃基板的容置空間，同時(shí)，由于對(duì)位機(jī)構(gòu)的滑塊能夠沿底座的延伸方向滑動(dòng)，并且冷卻板機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)組件能夠驅(qū)動(dòng)滑塊朝向玻璃基板滑動(dòng)，因此，上述對(duì)位裝置在實(shí)際使用過(guò)程中，在冷卻板機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)組件的驅(qū)動(dòng)下對(duì)位機(jī)構(gòu)的滑塊能夠沿底座的延伸方向滑動(dòng)，以調(diào)節(jié)放置玻璃基板的容置空間，并通過(guò)玻璃基板周向的滑塊對(duì)玻璃基板進(jìn)行對(duì)位；當(dāng)玻璃基板的一端放置在滑塊頂部時(shí)，滑塊能夠在玻璃基板重力的推動(dòng)下沿底座的延伸方向朝向背離玻璃基板的方向滑動(dòng)，使玻璃基板落入對(duì)位機(jī)構(gòu)形成的容置空間中；當(dāng)需要對(duì)玻璃基板進(jìn)行對(duì)位時(shí)，冷卻板機(jī)構(gòu)向下運(yùn)動(dòng)，通過(guò)一一對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與滑塊的斜面的抵接，驅(qū)動(dòng)滑塊朝向玻璃基板的方向滑動(dòng)，最終使玻璃基板進(jìn)行對(duì)位；通過(guò)滑塊的滑動(dòng)設(shè)置，能夠減小玻璃基板被冷卻板擠壓破裂的概率，減小因蒸鍍?cè)O(shè)備中斷而恢復(fù)生產(chǎn)的時(shí)間，進(jìn)而提高生產(chǎn)效率。

因此，該對(duì)位裝置通過(guò)滑動(dòng)設(shè)置的滑塊能夠減小玻璃基板碎裂的幾率，進(jìn)而提高生產(chǎn)效率。

優(yōu)選地，沿所述底座的延伸方向，所述底座設(shè)置有滑軌，所述滑塊安裝于所述滑軌。

優(yōu)選地，沿所述底座的延伸方向，所述底座的頂面設(shè)置有滑槽；所述滑塊底面設(shè)置有與所述滑槽配合的凸起。

優(yōu)選地，沿所述底座的延伸方向，所述底座的頂面設(shè)置有至少一個(gè)滑桿，所述滑塊設(shè)置有與每個(gè)滑桿一一對(duì)應(yīng)的導(dǎo)向孔。

優(yōu)選地，每個(gè)所述對(duì)位機(jī)構(gòu)還包括設(shè)置于所述底座和所述滑塊之間的彈性件，所述彈性件用于使所述滑塊朝向背離所述玻璃基板的方向移動(dòng)。

優(yōu)選地，所述彈性件為彈簧。

優(yōu)選地，所述驅(qū)動(dòng)組件包括一端設(shè)置于所述冷卻板的驅(qū)動(dòng)件、以及與相互對(duì)應(yīng)的斜面滾動(dòng)配合的滾輪，所述滾輪能夠繞其軸心線旋轉(zhuǎn)地安裝于所述驅(qū)動(dòng)件的另一端。

優(yōu)選地，所述驅(qū)動(dòng)件能夠調(diào)節(jié)位置地設(shè)置于所述冷卻板朝向所述玻璃基板的一側(cè)表面。

優(yōu)選地，所述對(duì)位裝置包括沿所述玻璃基板周向均勻分布的八個(gè)對(duì)位機(jī)構(gòu)。

另外，本實(shí)用新型還提供了一種蒸鍍?cè)O(shè)備，該蒸鍍?cè)O(shè)備包括蒸鍍腔體，還包括如上述技術(shù)方案提供的任意一種對(duì)位裝置，所述對(duì)位裝置設(shè)置于所述蒸鍍腔體內(nèi)。

附圖說(shuō)明

圖1為現(xiàn)有技術(shù)中一種對(duì)位裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種對(duì)位裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為圖2中對(duì)位裝置在玻璃基板對(duì)位后的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為圖2中對(duì)位裝置的A向的一種結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為圖2中對(duì)位裝置中一種對(duì)位機(jī)構(gòu)在對(duì)位前的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為圖5中對(duì)位機(jī)構(gòu)在對(duì)位后的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖7為圖2中對(duì)位裝置中另一種對(duì)位機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖8為圖2中對(duì)位裝置的A向的另一種結(jié)構(gòu)示意圖；

圖9為圖2中對(duì)位裝置的A向的另一種結(jié)構(gòu)示意圖；

圖10為圖9中對(duì)位裝置的支座的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。

本實(shí)用新型實(shí)施例提供了一種對(duì)位裝置及蒸鍍?cè)O(shè)備，該蒸鍍?cè)O(shè)備包括設(shè)置于蒸鍍腔體內(nèi)的對(duì)位裝置，該對(duì)位裝置能夠通過(guò)活動(dòng)設(shè)置的滑塊減小玻璃基板碎裂的幾率，進(jìn)而提高蒸鍍?cè)O(shè)備的生產(chǎn)效率。

其中，請(qǐng)參考圖2、圖3、圖4以及圖5，本實(shí)用新型一種實(shí)施例提供的一種對(duì)位裝置1，用于玻璃基板4的對(duì)位，對(duì)位裝置1包括沿玻璃基板4周向分布的至少四個(gè)對(duì)位機(jī)構(gòu)3、以及設(shè)置于至少四個(gè)對(duì)位機(jī)構(gòu)3頂部的冷卻板機(jī)構(gòu)2，其中：

每個(gè)對(duì)位機(jī)構(gòu)3包括一個(gè)底座31、能夠沿底座31的延伸方向滑動(dòng)地安裝于底座31的滑塊32；底座31朝向玻璃基板4的一端設(shè)置有用于支撐玻璃基板4的支撐面；滑塊32背離玻璃基板4的一側(cè)表面322與水平面形成的開口朝向玻璃基板4的夾角a為銳角；

冷卻板機(jī)構(gòu)2包括冷卻板21以及設(shè)置于冷卻板21、且與滑塊32一一對(duì)應(yīng)抵接的驅(qū)動(dòng)組件22，驅(qū)動(dòng)組件22用于驅(qū)動(dòng)滑塊32朝向玻璃基板4滑動(dòng)。

上述對(duì)位裝置1在對(duì)玻璃基板4進(jìn)行對(duì)位前的結(jié)構(gòu)可參考圖2，在對(duì)玻璃基板4對(duì)位后和進(jìn)行蒸鍍進(jìn)行過(guò)程中的可參考圖3，對(duì)位裝置1包括分布于玻璃基板4周向的對(duì)位機(jī)構(gòu)3和位于對(duì)位機(jī)構(gòu)3頂部的冷卻板機(jī)構(gòu)2；如圖4結(jié)構(gòu)所示的對(duì)位裝置1包括設(shè)置于玻璃基板4周向、且沿周向均勻分布的四個(gè)對(duì)位機(jī)構(gòu)3，圖8結(jié)構(gòu)所示的對(duì)位裝置1包括設(shè)置于玻璃基板4周向的八個(gè)對(duì)位機(jī)構(gòu)3，而圖9結(jié)構(gòu)所示的對(duì)位裝置1包括設(shè)置于玻璃基板4周向的四個(gè)對(duì)位機(jī)構(gòu)3、以及設(shè)置于玻璃基板4周向的八個(gè)支座5，支座5僅用于從玻璃基板4的底面支撐玻璃基板4，使玻璃基板4底面能夠被多個(gè)支撐點(diǎn)支撐，有利于提高玻璃基板4的穩(wěn)定性，同時(shí)增大玻璃基板4與支座5和對(duì)位機(jī)構(gòu)3之間的接觸面積，減小玻璃基板4損壞的概率。

如圖5和圖6結(jié)構(gòu)所示，每個(gè)對(duì)位機(jī)構(gòu)3包括一個(gè)底座31、沿底座31的延伸方向設(shè)置的兩個(gè)滑桿34、能夠沿底座31的延伸方向滑動(dòng)地安裝于滑桿34的滑塊32、以及設(shè)置于底座31和滑塊32之間且套設(shè)于滑桿的彈簧；底座31朝向玻璃基板4的一端設(shè)置有支撐塊33，支撐塊33的頂面形成用于支撐玻璃基板4的支撐面331；滑塊32朝向玻璃基板4的一側(cè)表面322為沿豎直方向的平面、且背離玻璃基板4的一側(cè)表面321與水平面形成的開口朝向玻璃基板4的夾角a為銳角，使滑塊32背離玻璃基板4的一側(cè)表面321形成斜面；

如圖2和圖3結(jié)構(gòu)所示，冷卻板機(jī)構(gòu)2包括冷卻板21以及設(shè)置于冷卻板21、且與滑塊32一一對(duì)應(yīng)抵接的驅(qū)動(dòng)組件22，驅(qū)動(dòng)組件22包括設(shè)置于冷卻板21的驅(qū)動(dòng)桿、以及設(shè)置于所述驅(qū)動(dòng)桿一端且能夠繞其自身的軸心線旋轉(zhuǎn)的滾輪222；當(dāng)需要對(duì)玻璃基板4進(jìn)行對(duì)位時(shí)，冷卻板機(jī)構(gòu)2向下運(yùn)動(dòng)，并通過(guò)一一對(duì)應(yīng)的滾輪222與滑塊32的斜面之間的滾動(dòng)摩擦，推動(dòng)每個(gè)滑塊32朝向玻璃基板4滑動(dòng)，直至滑塊32的一側(cè)表面322與玻璃基板4接觸并壓緊，進(jìn)而使驅(qū)動(dòng)組件22驅(qū)動(dòng)滑塊32朝向玻璃基板4滑動(dòng)實(shí)現(xiàn)玻璃基板4的對(duì)位。

上述對(duì)位裝置1在具體使用過(guò)程中，各對(duì)位機(jī)構(gòu)3可固定設(shè)置在蒸鍍?cè)O(shè)備的蒸鍍腔室內(nèi)，通過(guò)設(shè)置于玻璃基板4周向的對(duì)位機(jī)構(gòu)3形成放置玻璃基板4的容置空間，同時(shí)，由于對(duì)位機(jī)構(gòu)3的滑塊32能夠沿底座31的延伸方向滑動(dòng)，并且冷卻板機(jī)構(gòu)2的驅(qū)動(dòng)組件22能夠驅(qū)動(dòng)滑塊32朝向玻璃基板4滑動(dòng)，因此，上述對(duì)位裝置1在實(shí)際使用過(guò)程中，在冷卻板機(jī)構(gòu)2的驅(qū)動(dòng)組件22的驅(qū)動(dòng)下對(duì)位機(jī)構(gòu)3的滑塊32能夠沿底座31的延伸方向滑動(dòng)，以調(diào)節(jié)放置玻璃基板4的容置空間，并通過(guò)玻璃基板4周向的滑塊32對(duì)玻璃基板4進(jìn)行對(duì)位；當(dāng)玻璃基板4的一端放置在滑塊32頂部時(shí)，滑塊32能夠在玻璃基板4重力的推動(dòng)下沿底座31的延伸方向朝向背離玻璃基板4的方向滑動(dòng)，使玻璃基板4落入對(duì)位機(jī)構(gòu)3形成的容置空間中；當(dāng)需要對(duì)玻璃基板4進(jìn)行對(duì)位時(shí)，冷卻板機(jī)構(gòu)2向下運(yùn)動(dòng)，通過(guò)一一對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)與滑塊32的斜面的抵接，驅(qū)動(dòng)滑塊32朝向玻璃基板4的方向滑動(dòng)，最終使玻璃基板4進(jìn)行對(duì)位；通過(guò)滑塊32的滑動(dòng)設(shè)置，能夠減小玻璃基板4被冷卻板21擠壓破裂的概率，減小因蒸鍍?cè)O(shè)備中斷而恢復(fù)生產(chǎn)的時(shí)間，進(jìn)而提高生產(chǎn)效率。

因此，該對(duì)位裝置1通過(guò)滑動(dòng)設(shè)置的滑塊32能夠減小玻璃基板4碎裂的幾率，進(jìn)而提高生產(chǎn)效率。

根據(jù)對(duì)位機(jī)構(gòu)3中滑塊32與底座31的滑動(dòng)方式的不同，對(duì)位機(jī)構(gòu)3可以包括以下實(shí)施方式：

方式一，沿底座31的延伸方向，底座31設(shè)置有滑軌，滑塊32安裝于滑軌。

在上述對(duì)位機(jī)構(gòu)3中，底座31設(shè)置有滑軌，滑軌可以設(shè)置于底座31的頂面或側(cè)面，滑軌還可以為突出或凹陷于底座31設(shè)置，還可以由底座31的頂面形成；當(dāng)滑軌由底座31的頂面形成時(shí)，滑塊的底面可以形成將滑塊32限位與滑軌的擋板，使滑塊32的底面與滑軌或底座31的頂面保持滑動(dòng)配合，使滑塊32能夠沿底座31的延伸方向滑動(dòng)即可。

方式二，如圖7結(jié)構(gòu)所示，沿底座31的延伸方向，底座31的頂面設(shè)置有滑槽311；滑塊32底面設(shè)置有與滑槽311配合的凸起。

如圖7結(jié)構(gòu)所示，底座31的頂面設(shè)置有滑槽311，滑槽311的橫截面的形狀可以為圖7中結(jié)構(gòu)所示的矩形，也可以為方形、梯形、燕尾槽形、半圓形、T形等形狀，同時(shí)，滑塊32底面設(shè)置有與滑槽311配合的凸起，凸起的橫截面形狀與滑槽311的橫截面形狀相匹配，使滑塊32的凸起始終滑動(dòng)配合在底座31頂面的滑槽311內(nèi)，從而使滑塊32沿底座31的延伸方向滑動(dòng)。

方式三，沿底座31的延伸方向，底座31的頂面設(shè)置有至少一個(gè)滑桿34，滑塊32設(shè)置有與每個(gè)滑桿34一一對(duì)應(yīng)的導(dǎo)向孔311。

如圖5和圖6結(jié)構(gòu)所示，沿底座31的延伸方向，底座31的頂面設(shè)置有兩個(gè)平行設(shè)置的滑桿34，滑塊32設(shè)置有兩個(gè)導(dǎo)向孔311，兩個(gè)導(dǎo)向孔311與每個(gè)滑桿34一一對(duì)應(yīng)，并在底座31和滑塊32之間的每個(gè)滑桿34上套設(shè)有彈簧，以使滑塊32在對(duì)位后能夠自動(dòng)復(fù)位。在能夠滿足滑塊32沿底座31的延伸方向滑動(dòng)的要求時(shí)，滑桿34還可以設(shè)置一個(gè)或多個(gè)，同時(shí)，滑塊32設(shè)置有與滑桿34一一對(duì)應(yīng)的導(dǎo)向孔311。滑桿34的橫截面形狀可以為圓形、矩形、方形、半圓形、梯形、三角形等各種形狀，滑塊32的導(dǎo)向孔311的形狀為與滑桿34的橫截面形狀相匹配的形狀。

同理，在上述對(duì)位機(jī)構(gòu)3的三種實(shí)施方式的基礎(chǔ)上，對(duì)位機(jī)構(gòu)3不限于上述三種底座31與滑塊32之間的滑動(dòng)配合形式，還可以為其它的滿足滑塊32沿底座31的延伸方向能夠滑動(dòng)的任何其他形式。

在上述各種實(shí)施例的基礎(chǔ)上，如圖5、圖6以及圖7結(jié)構(gòu)所示，每個(gè)對(duì)位機(jī)構(gòu)3還包括設(shè)置于底座31和滑塊32之間的彈性件35，彈性件35用于使滑塊32朝向背離玻璃基板4的方向移動(dòng)。彈性件35可以為彈簧，還可以為具有彈性的其它部件，只要能夠使滑塊32朝向背離玻璃基板4的方向滑動(dòng)即可；彈簧還可以為壓縮彈簧或拉伸彈簧。

如圖5結(jié)構(gòu)所示，對(duì)位機(jī)構(gòu)3在底座31和滑塊32之間設(shè)置有彈性件35，并且彈性件35套設(shè)在滑桿34上；在對(duì)玻璃基板4進(jìn)行對(duì)位時(shí)，滑塊32被驅(qū)動(dòng)組件22驅(qū)動(dòng)朝向玻璃基板4一側(cè)滑動(dòng)，此時(shí)，彈性件35被壓縮，如圖6結(jié)構(gòu)所示；當(dāng)玻璃基板4對(duì)位完成后，驅(qū)動(dòng)組件22在冷卻板機(jī)構(gòu)2上移時(shí)，滑塊32在被壓縮的彈性件的作用下，滑塊32朝向背離玻璃基板4的方向滑動(dòng)，使滑塊32回復(fù)到對(duì)位前的初始位置。

由于在底座31和滑塊32之間設(shè)置有彈性件35，能夠使滑塊32在完成對(duì)位后自動(dòng)復(fù)位，有利于提高對(duì)位裝置1的生產(chǎn)效率。

具體地，驅(qū)動(dòng)組件22包括一端設(shè)置于冷卻板21的驅(qū)動(dòng)件221、以及與相互對(duì)應(yīng)的滑塊32滾動(dòng)配合的滾輪222，滾輪222能夠繞其軸心線旋轉(zhuǎn)地安裝于驅(qū)動(dòng)件221的另一端。

如圖2和圖3結(jié)構(gòu)所示，驅(qū)動(dòng)組件22包括驅(qū)動(dòng)件221和滾輪222，驅(qū)動(dòng)件221用于在冷卻板21下降或上升時(shí)帶動(dòng)滾輪222同步下降或上升動(dòng)作，使滑塊32對(duì)應(yīng)進(jìn)行對(duì)位或復(fù)位動(dòng)作；滾輪222位于驅(qū)動(dòng)件221的一端、并能夠繞其自身的軸心線旋轉(zhuǎn)，同時(shí)與對(duì)應(yīng)的滑塊32的斜面滾動(dòng)配合。通過(guò)設(shè)置于冷卻板21的驅(qū)動(dòng)組件22來(lái)驅(qū)動(dòng)滑塊32相應(yīng)滑動(dòng)，能夠保持玻璃基板4周邊對(duì)位的一致性，同時(shí)能夠從周向調(diào)節(jié)玻璃基板4能夠?qū)⒆饔昧Ψ稚⒃诓ＡЩ?的周向進(jìn)行，使作用力均勻施加在玻璃基板4上，能夠減小玻璃基板4破裂的概率，進(jìn)而提高蒸鍍?cè)O(shè)備的生產(chǎn)效率。

上述驅(qū)動(dòng)件221可以為連桿、支架等部件；滾輪222可以為軸承，軸承可以采用聚醚醚酮(Polyetheretherketone，簡(jiǎn)稱PEEK)材料制成，在減輕滾輪222質(zhì)量的同時(shí)還能提高滾輪222的耐磨性和使用壽命。

更進(jìn)一步地，如圖2和圖3結(jié)構(gòu)所示，驅(qū)動(dòng)件221能夠調(diào)節(jié)位置地設(shè)置于冷卻板21朝向玻璃基板4的一側(cè)表面。

由于驅(qū)動(dòng)件221在冷卻板21的安裝位置能夠調(diào)節(jié)，因此，分布于冷卻板21周邊的驅(qū)動(dòng)組件22之間的距離可以調(diào)節(jié)，從而使對(duì)應(yīng)的對(duì)位機(jī)構(gòu)3的滑塊32的滑動(dòng)行程可以調(diào)節(jié)，使形成于對(duì)位機(jī)構(gòu)3之間的玻璃基板4的容置空間可以調(diào)節(jié)，在對(duì)位裝置1不變的情況下，能夠?qū)Χ喾N尺寸的玻璃基板4進(jìn)行對(duì)位和蒸鍍，從而擴(kuò)大了對(duì)位裝置1的使用范圍，同時(shí)，能夠降低生產(chǎn)廠家因玻璃基板4尺寸不同而需要購(gòu)置多臺(tái)對(duì)位裝置1的購(gòu)置成本，還能提高對(duì)位裝置1的使用效率。

同時(shí)，驅(qū)動(dòng)件221可以設(shè)置于冷卻板21朝向玻璃基板4的一側(cè)表面，也可以設(shè)置在冷卻板21的周向端面。

更進(jìn)一步地，對(duì)位裝置1包括沿玻璃基板4周向均勻分布的八個(gè)對(duì)位機(jī)構(gòu)3。

如圖8結(jié)構(gòu)所示，對(duì)位裝置1包括沿玻璃基板4周向均勻分布的八個(gè)對(duì)位機(jī)構(gòu)3，對(duì)位裝置1還可以根據(jù)玻璃基板4的實(shí)際尺寸設(shè)置更多個(gè)對(duì)位機(jī)構(gòu)3，多個(gè)對(duì)位機(jī)構(gòu)可以沿玻璃基板4的周向均勻分布，也可以根據(jù)實(shí)際需要分布對(duì)位機(jī)構(gòu)3，同時(shí)，還可以根據(jù)實(shí)際需要在玻璃基板4的周向設(shè)置多個(gè)起支撐作用的支座5，支座5可以沿玻璃基板4的周向均勻分布，也可以根據(jù)實(shí)際需要隨意分布。

如圖9結(jié)構(gòu)所示，對(duì)位裝置1在玻璃基板4的周向均勻分布有四個(gè)對(duì)位機(jī)構(gòu)3和八個(gè)支座5；支座5可以為一體結(jié)構(gòu)，也可以為分體結(jié)構(gòu)；一體結(jié)構(gòu)的支座5如圖10結(jié)構(gòu)所示，支座5的頂面51用于支撐玻璃基板4。

同時(shí)，如圖5、圖6或圖7結(jié)構(gòu)所示，上述底座31在朝向玻璃基板4的一端設(shè)置有用于支撐玻璃基板4的支撐面331，支撐面331可以由底座31的一部分頂面形成，也可以由設(shè)置于底座31朝向玻璃基板4一端的支撐塊33形成，支撐塊33的頂面形成支撐面331。

上述對(duì)位裝置1可以用于玻璃基板4的對(duì)位，也可以用于類似玻璃基板4的其它材料基板的對(duì)位和蒸鍍，不限于玻璃基板4。

另外，本實(shí)用新型還提供了一種蒸鍍?cè)O(shè)備，該蒸鍍?cè)O(shè)備包括蒸鍍腔體，還包括如上述實(shí)施例提供的任意一種對(duì)位裝置1，對(duì)位裝置1設(shè)置于蒸鍍腔體內(nèi)。蒸鍍?cè)O(shè)備可以為真空蒸鍍?cè)O(shè)備。

顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。