本技術(shù)涉及化學(xué)氣相沉積設(shè)備領(lǐng)域，具體是一種多腔體化學(xué)氣相沉積設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、化學(xué)氣相沉積設(shè)備一般由反應(yīng)室、加熱系統(tǒng)、氣體供給系統(tǒng)等組成，化學(xué)氣相沉積設(shè)備可根據(jù)具體需求和應(yīng)用領(lǐng)域的不同，進(jìn)行定制設(shè)計(jì)和配置，它廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電子、材料科學(xué)等領(lǐng)域，用于制備薄膜材料、涂層、納米結(jié)構(gòu)等。

2、氣相沉積設(shè)備應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，但其仍然存在一些問(wèn)題：1)部分傳統(tǒng)多腔體化學(xué)氣相沉積設(shè)備通常采用單加工腔體搭配多氣體腔室的設(shè)計(jì)，這種設(shè)計(jì)會(huì)導(dǎo)致加工腔室內(nèi)存在不同化學(xué)材料，容易影響成品質(zhì)量，造成產(chǎn)品污染；2)部分傳統(tǒng)多腔體化學(xué)氣相沉積設(shè)備無(wú)法將物料快速切換至下一個(gè)腔體內(nèi)部，轉(zhuǎn)移過(guò)程中加工工件溫度及腔室溫度均存在較大的逸散，轉(zhuǎn)移至下一腔室時(shí)無(wú)法快速進(jìn)入下一級(jí)反應(yīng)序列，從而延緩工作效率，甚至影響產(chǎn)品加工質(zhì)量；因此，針對(duì)以上現(xiàn)狀，迫切需要開發(fā)一種的多腔體化學(xué)氣相沉積設(shè)備，以克服當(dāng)前實(shí)際應(yīng)用中的不足，滿足當(dāng)前的需求。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種多腔體化學(xué)氣相沉積設(shè)備，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：

3、一種多腔體化學(xué)氣相沉積設(shè)備，包括輸送鏈帶、升降進(jìn)料組件和氣相沉積室，若干組升降進(jìn)料組件與輸送鏈帶驅(qū)動(dòng)連接，若干組氣相沉積室呈垂直設(shè)置在升降進(jìn)料組件的頂部。

4、作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：升降進(jìn)料組件包括底板、滑軸、定位板、基臺(tái)、加工臺(tái)面、頂桿和滑塊，四根滑軸呈垂直焊接在底板的頂部四角位置，基臺(tái)呈水平安裝在滑軸的頂端，定位板嵌套設(shè)置在滑軸的中間位置，并與滑軸滑動(dòng)連接，加工臺(tái)面呈水平安裝在基臺(tái)的頂部中間位置，兩根頂桿呈相對(duì)分布在基臺(tái)的頂部邊緣位置，并與基臺(tái)固定連接，兩組滑塊呈相對(duì)安裝在定位板的側(cè)面，通過(guò)設(shè)置的升降進(jìn)料組件能夠快速將物料切換至下一組氣相沉積室內(nèi)。

5、作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：氣相沉積室的內(nèi)底部嵌入安裝有兩塊呈相對(duì)分布的翻轉(zhuǎn)封閉板，翻轉(zhuǎn)封閉板的底端邊緣與氣相沉積室的內(nèi)壁鉸接，氣相沉積室的內(nèi)底部開設(shè)有倒角，通過(guò)設(shè)置的翻轉(zhuǎn)封閉板能夠?qū)庀喑练e室底端進(jìn)行自動(dòng)封閉，同時(shí)能夠配合頂桿自動(dòng)打開，減少熱量及室內(nèi)化學(xué)成分逸散。

6、作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：若干組升降進(jìn)料組件的間距與若干組氣相沉積室的間距一致，且可縱向?qū)R，方便多組升降進(jìn)料組件切換到下一組氣相沉積室。

7、作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：基臺(tái)與氣相沉積室的內(nèi)底部相匹配，基臺(tái)能夠嵌入到氣相沉積室的內(nèi)底部，從而在多個(gè)氣相沉積室之間快速切換。

8、作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：頂桿與翻轉(zhuǎn)封閉板的邊緣呈縱向?qū)R，通過(guò)設(shè)置的頂桿能夠?qū)⒎D(zhuǎn)封閉板頂開，從而使基臺(tái)能夠從底端嵌入到氣相沉積室的內(nèi)底部。

9、有益效果：該種多腔體化學(xué)氣相沉積設(shè)備采用多個(gè)單獨(dú)的氣相沉積室并列分布，能夠避免多種化學(xué)反應(yīng)試劑充斥在同一腔室內(nèi)造成產(chǎn)品污染，保障產(chǎn)品質(zhì)量，采用多組升降進(jìn)料組件配合輸送鏈帶對(duì)物料進(jìn)行切換腔室輸送，提高切換效率，使物料快速進(jìn)入下一級(jí)反應(yīng)腔室內(nèi)，保障產(chǎn)品加工質(zhì)量，同時(shí)氣相沉積室內(nèi)鉸接有翻轉(zhuǎn)封閉板，能夠配合升降進(jìn)料組件自動(dòng)打開和關(guān)閉，避免熱量及化學(xué)試劑大量逸散。

技術(shù)特征：

1.一種多腔體化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于：包括輸送鏈帶(1)、升降進(jìn)料組件(2)和氣相沉積室(3)，若干組所述升降進(jìn)料組件(2)與輸送鏈帶(1)驅(qū)動(dòng)連接，若干組所述氣相沉積室(3)呈垂直設(shè)置在升降進(jìn)料組件(2)的頂部，所述升降進(jìn)料組件(2)包括底板(21)、滑軸(22)、定位板(23)、基臺(tái)(24)、加工臺(tái)面(25)、頂桿(26)和滑塊(27)，四根所述滑軸(22)呈垂直焊接在底板(21)的頂部四角位置，所述基臺(tái)(24)呈水平安裝在滑軸(22)的頂端，所述定位板(23)嵌套設(shè)置在滑軸(22)的中間位置，并與所述滑軸(22)滑動(dòng)連接，所述加工臺(tái)面(25)呈水平安裝在基臺(tái)(24)的頂部中間位置，兩根所述頂桿(26)呈相對(duì)分布在基臺(tái)(24)的頂部邊緣位置，并與所述基臺(tái)(24)固定連接，兩組所述滑塊(27)呈相對(duì)安裝在定位板(23)的側(cè)面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多腔體化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于：所述氣相沉積室(3)的內(nèi)底部嵌入安裝有兩塊呈相對(duì)分布的翻轉(zhuǎn)封閉板(31)，所述翻轉(zhuǎn)封閉板(31)的底端邊緣與氣相沉積室(3)的內(nèi)壁鉸接，所述氣相沉積室(3)的內(nèi)底部開設(shè)有倒角(32)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的多腔體化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于：若干組所述升降進(jìn)料組件(2)的間距與若干組所述氣相沉積室(3)的間距一致，且可縱向?qū)R。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多腔體化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于：所述基臺(tái)(24)與氣相沉積室(3)的內(nèi)底部相匹配。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的多腔體化學(xué)氣相沉積設(shè)備，其特征在于：所述頂桿(26)與翻轉(zhuǎn)封閉板(31)的邊緣呈縱向?qū)R。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種多腔體化學(xué)氣相沉積設(shè)備，包括輸送鏈帶、升降進(jìn)料組件和氣相沉積室，若干組升降進(jìn)料組件與輸送鏈帶驅(qū)動(dòng)連接，若干組氣相沉積室呈垂直設(shè)置在升降進(jìn)料組件的頂部，升降進(jìn)料組件包括底板、滑軸、定位板、基臺(tái)、加工臺(tái)面、頂桿和滑塊，該種多腔體化學(xué)氣相沉積設(shè)備采用多個(gè)單獨(dú)的氣相沉積室并列分布，能夠避免多種化學(xué)反應(yīng)試劑充斥在同一腔室內(nèi)造成產(chǎn)品污染，保障產(chǎn)品質(zhì)量，采用多組升降進(jìn)料組件配合輸送鏈帶對(duì)物料進(jìn)行切換腔室輸送，提高切換效率，使物料快速進(jìn)入下一級(jí)反應(yīng)腔室內(nèi)，保障產(chǎn)品加工質(zhì)量，同時(shí)氣相沉積室內(nèi)鉸接有翻轉(zhuǎn)封閉板，能夠配合升降進(jìn)料組件自動(dòng)打開和關(guān)閉。

技術(shù)研發(fā)人員：李增福,孟令毅,周宏偉,余國(guó)棟,史士平
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇應(yīng)材微機(jī)電科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231023
技術(shù)公布日：2025/1/9