本技術(shù)涉及鍍膜，具體涉及一種鍍膜輔助裝置。

背景技術(shù)：

1、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積工藝一般采用具有支架及串桿的鍍膜輔助裝置帶動(dòng)工件轉(zhuǎn)動(dòng)，并在工件隨串桿的轉(zhuǎn)動(dòng)過程中在工件的表面形成薄膜。然而，支架與串桿常見的配合方式為串桿的底端插入支架的底端，串桿的頂端插設(shè)在支架頂端的限位孔內(nèi)，因串桿的長度較長，串桿隨支架的底端旋轉(zhuǎn)時(shí)，串桿的頂端會(huì)出現(xiàn)偏心旋轉(zhuǎn)，容易導(dǎo)致串桿上下端形成的薄膜的厚度不均勻，降低了鍍膜的質(zhì)量。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、鑒于以上內(nèi)容，有必要提供一種鍍膜輔助裝置，以提高工件的鍍膜均勻性。

2、本實(shí)用新型實(shí)施例提供一種鍍膜輔助裝置，包括：

3、支架，包括相對(duì)設(shè)置的頂座和底座，以及與所述頂座和所述底座分別連接的連接件，所述底座朝向所述頂座的一側(cè)開設(shè)有定位槽；

4、輔助機(jī)構(gòu)，包括裝載座、轉(zhuǎn)動(dòng)件及限位件，所述裝載座插設(shè)于所述頂座，所述轉(zhuǎn)動(dòng)件穿設(shè)于所述裝載座并與所述裝載座轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述轉(zhuǎn)動(dòng)件朝向所述底座的一側(cè)開設(shè)有收納槽，所述限位件連接所述轉(zhuǎn)動(dòng)件的一端并位于所述轉(zhuǎn)動(dòng)件和所述底座之間，所述限位件開設(shè)有卡持孔，所述收納槽、所述卡持孔及所述定位槽同軸設(shè)置；

5、承載件，用于承載工件，所述承載件的一端插設(shè)于所述定位槽，所述承載件的另一端卡持于所述卡持孔并延伸至所述收納槽；其中，

6、所述底座帶動(dòng)所述承載件轉(zhuǎn)動(dòng)，以使所述承載件通過所述限位件帶動(dòng)所述轉(zhuǎn)動(dòng)件相對(duì)所述裝載座轉(zhuǎn)動(dòng)。

7、上述鍍膜輔助裝置中，承載件的一端隨底座轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，承載件的另一端通過限位件帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)件轉(zhuǎn)動(dòng)，與轉(zhuǎn)動(dòng)件轉(zhuǎn)動(dòng)連接的裝載座插設(shè)于頂座，且收納槽、卡持孔及定位槽同軸設(shè)置，能夠減少承載件遠(yuǎn)離定位槽的一端在轉(zhuǎn)動(dòng)過程中產(chǎn)生的偏心旋轉(zhuǎn)的幅度，以改善承載件的上下端在旋轉(zhuǎn)過程中的同軸度，從而有利于提高位于承載件上的工件的鍍膜均勻性。

8、在一些實(shí)施例中，所述裝載座包括：

9、裝載件，插設(shè)于所述頂座并開設(shè)有裝載槽及安裝槽，所述裝載槽貫穿所述裝載件，所述安裝槽開設(shè)于所述裝載槽的側(cè)壁；

10、軸承，嵌設(shè)于所述安裝槽并套設(shè)于所述轉(zhuǎn)動(dòng)件。

11、在一些實(shí)施例中，所述安裝槽的側(cè)壁開設(shè)有環(huán)槽，所述裝載座還包括裝載卡環(huán)，所述裝載卡環(huán)收納于所述環(huán)槽并抵持所述軸承至所述安裝槽的底壁。

12、在一些實(shí)施例中，所述安裝槽、所述環(huán)槽、所述軸承及所述裝載卡環(huán)均為兩個(gè)，兩個(gè)所述安裝槽位于兩個(gè)所述環(huán)槽之間，兩個(gè)所述軸承與兩個(gè)所述安裝槽一一對(duì)應(yīng)，兩個(gè)所述裝載卡環(huán)與兩個(gè)所述環(huán)槽一一對(duì)應(yīng)。

13、在一些實(shí)施例中，所述轉(zhuǎn)動(dòng)件包括：

14、轉(zhuǎn)動(dòng)體，穿設(shè)于所述裝載座并與所述裝載座轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述收納槽開設(shè)于所述轉(zhuǎn)動(dòng)體朝向所述底座的一側(cè)；

15、外沿體，連接所述轉(zhuǎn)動(dòng)體靠近所述底座的一端的周側(cè)，并與所述限位件連接。

16、在一些實(shí)施例中，所述收納槽包括轉(zhuǎn)動(dòng)槽及導(dǎo)向槽，所述導(dǎo)向槽開設(shè)于所述轉(zhuǎn)動(dòng)件朝向所述底座的一側(cè)，且所述導(dǎo)向槽的內(nèi)徑沿遠(yuǎn)離所述底座的方向逐漸減小，所述轉(zhuǎn)動(dòng)槽開設(shè)于所述導(dǎo)向槽的底壁，且所述轉(zhuǎn)動(dòng)槽的側(cè)壁與所述承載件間隙配合。

17、在一些實(shí)施例中，所述轉(zhuǎn)動(dòng)件遠(yuǎn)離所述限位件的一端凸出所述裝載座，所述輔助機(jī)構(gòu)還包括封蓋件，所述封蓋件套設(shè)于所述轉(zhuǎn)動(dòng)件遠(yuǎn)離所述限位件的一端并與所述裝載座間隔設(shè)置，以封蓋所述裝載槽。

18、在一些實(shí)施例中，所述轉(zhuǎn)動(dòng)件遠(yuǎn)離所述限位件的一端的周側(cè)開設(shè)有止擋槽，所述輔助機(jī)構(gòu)還包括止擋卡環(huán)，所述止擋卡環(huán)套設(shè)于所述止擋槽并抵持所述封蓋件至所述轉(zhuǎn)動(dòng)件。

19、在一些實(shí)施例中，所述限位件包括：

20、限位體，所述卡持孔貫穿所述限位體的相對(duì)兩側(cè)；

21、限高體，所述限高體的兩端分別與所述限位體及所述轉(zhuǎn)動(dòng)件可拆卸連接。

22、在一些實(shí)施例中，所述底座包括：

23、底板，與所述頂座相對(duì)設(shè)置并與所述連接件連接；

24、驅(qū)動(dòng)件，包括驅(qū)動(dòng)體及定位體，所述驅(qū)動(dòng)體設(shè)于所述底板，所述定位體連接于所述驅(qū)動(dòng)體朝向所述頂座的一側(cè)，所述定位槽開設(shè)于所述定位體朝向所述頂座的一側(cè)；其中，

25、所述驅(qū)動(dòng)體用于驅(qū)動(dòng)所述定位體帶動(dòng)所述承載件轉(zhuǎn)動(dòng)。

技術(shù)特征：

1.一種鍍膜輔助裝置，其特征在于，包括：

2.如權(quán)利要求1所述的鍍膜輔助裝置，其特征在于，所述裝載座包括：

3.如權(quán)利要求2所述的鍍膜輔助裝置，其特征在于，

4.如權(quán)利要求3所述的鍍膜輔助裝置，其特征在于，

5.如權(quán)利要求1所述的鍍膜輔助裝置，其特征在于，所述轉(zhuǎn)動(dòng)件包括：

6.如權(quán)利要求1所述的鍍膜輔助裝置，其特征在于，

7.如權(quán)利要求2所述的鍍膜輔助裝置，其特征在于，

8.如權(quán)利要求7所述的鍍膜輔助裝置，其特征在于，

9.如權(quán)利要求1所述的鍍膜輔助裝置，其特征在于，所述限位件包括：

10.如權(quán)利要求1所述的鍍膜輔助裝置，其特征在于，所述底座包括：

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供一種鍍膜輔助裝置，包括：支架，包括相對(duì)設(shè)置的頂座和底座，以及與頂座和底座分別連接的連接件，底座朝向頂座的一側(cè)開設(shè)有定位槽；輔助機(jī)構(gòu)，包括裝載座、轉(zhuǎn)動(dòng)件及限位件，裝載座插設(shè)于頂座，轉(zhuǎn)動(dòng)件穿設(shè)于裝載座并與裝載座轉(zhuǎn)動(dòng)連接，轉(zhuǎn)動(dòng)件朝向底座的一側(cè)開設(shè)有收納槽，限位件連接轉(zhuǎn)動(dòng)件的一端并位于轉(zhuǎn)動(dòng)件和底座之間，限位件開設(shè)有卡持孔，收納槽、卡持孔及定位槽同軸設(shè)置；承載件，用于承載工件，且一端插設(shè)于定位槽，另一端卡持于卡持孔并延伸至收納槽，底座帶動(dòng)承載件轉(zhuǎn)動(dòng)，以使承載件通過限位件帶動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)件相對(duì)裝載座轉(zhuǎn)動(dòng)。上述鍍膜輔助裝置能夠改善承載件的上下端在旋轉(zhuǎn)過程中的同軸度，從而有利于提高工件的鍍膜均勻性。

技術(shù)研發(fā)人員：張宗培,李寶剛,蘇昱銘,賀威,劉月平,嚴(yán)化,秦安立
受保護(hù)的技術(shù)使用者：富聯(lián)裕展科技（深圳）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231207
技術(shù)公布日：2025/1/9