本技術(shù)屬于晶片加工，涉及一種夾具。

背景技術(shù)：

1、對晶體進(jìn)行霍爾取片的時候，頭尾各取一片，直至頭尾載流子濃度都小于2e10cm-3為止，根據(jù)載流子濃度，切取下一片霍爾片，此過程中會產(chǎn)生0.5～3cm薄片。

2、為了避免此類薄晶片報廢造成的資源浪費，可將此類薄晶片的一個端面通過定向儀檢測，并劃線，然后研磨加工，研磨后通過定向儀再次檢測，若達(dá)不到要求，則需要重復(fù)劃線、研磨的步驟，直到達(dá)到定向要求。

3、在加工另一端面時，需要通過定向儀再次對待加工的端面檢測，畫線，研磨加工。加工的效率低，且操作繁瑣。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型要解決的技術(shù)問題在于：提供一種夾具，該夾具以完成定向的端面為定位基準(zhǔn)，對另一待加工的端面研磨加工，提高了加工的效率，且操作簡單。

2、本實用新型提出的技術(shù)方案為：

3、一種夾具，包括：

4、套筒，套筒為兩端開口的中空結(jié)構(gòu)；

5、頂推桿，頂推桿可沿套筒的長度方向在套筒內(nèi)移動，頂推桿的一個端面為基準(zhǔn)面，基準(zhǔn)面與套筒內(nèi)壁圍成的空間為裝夾空間；

6、固定結(jié)構(gòu)，固定結(jié)構(gòu)將頂推桿相對套筒固定；

7、第一緊固件，至少一個第一緊固件通過螺紋連接在套筒上，并從套筒外壁伸入裝夾空間中。

8、可選的，還包括：

9、連桿，連桿的一端連接在頂推桿上，連桿的另一端伸出套筒外，連桿與基準(zhǔn)面分別位于頂推桿的兩端。

10、可選的，還包括：

11、手持部，手持部連接在連桿上，手持部位于套筒外。

12、可選的，所述固定結(jié)構(gòu)包括設(shè)置在頂推桿外側(cè)壁的外螺紋和設(shè)置在套筒內(nèi)壁的內(nèi)螺紋，頂推桿與套筒內(nèi)壁通過螺紋連接。

13、可選的，所述固定結(jié)構(gòu)還包括：防松套，防松套套設(shè)在連桿外，防松套的外壁通過螺紋與套筒內(nèi)壁連接。

14、可選的，所述防松套的一端設(shè)有套管，套管套設(shè)在連桿外，套管伸出套筒，套管外壁設(shè)有至少一對相互平行的連接面。

15、可選的，多個第一緊固件將工件裝夾固定。

16、可選的，至少一個第一緊固件推動工件與套筒的內(nèi)側(cè)壁貼緊。

17、可選的，所述固定結(jié)構(gòu)包括多個第二緊固件，第二緊固件連接在套筒上，多個設(shè)置在同一周向的第二緊固件為一組，沿套筒的長度方向設(shè)置至少一組第二緊固件，至少一組第二緊固件將頂推桿相對套筒固定。

18、可選的，還包括導(dǎo)向限位結(jié)構(gòu)，導(dǎo)向限位結(jié)構(gòu)設(shè)置在套筒和頂推桿之間。

19、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：

20、本實用新型通過頂推桿在套筒內(nèi)移動，調(diào)節(jié)基準(zhǔn)面在套筒內(nèi)的位置，進(jìn)而實現(xiàn)調(diào)節(jié)薄晶片露出套筒的高度；通過將薄晶片完成定向的一端與基準(zhǔn)面貼合，并通過第一緊固件將薄晶片固定在裝夾空間內(nèi)，保證研磨加工后的端面與基準(zhǔn)面平行。

技術(shù)特征：

1.一種夾具，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于，還包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的夾具，其特征在于，還包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的夾具，其特征在于，所述固定結(jié)構(gòu)包括設(shè)置在頂推桿外側(cè)壁的外螺紋和設(shè)置在套筒內(nèi)壁的內(nèi)螺紋，頂推桿與套筒內(nèi)壁通過螺紋連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的夾具，其特征在于，所述固定結(jié)構(gòu)還包括防松套，防松套套設(shè)在連桿外，防松套的外壁通過螺紋與套筒內(nèi)壁連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的夾具，其特征在于，所述防松套的一端設(shè)有套管，套管套設(shè)在連桿外，套管伸出套筒，套管外壁設(shè)有至少一對相互平行的連接面。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于，所述固定結(jié)構(gòu)包括多個第二緊固件，第二緊固件連接在套筒上，多個設(shè)置在同一周向的第二緊固件為一組，沿套筒的長度方向設(shè)置至少一組第二緊固件，至少一組第二緊固件將頂推桿相對套筒固定。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的夾具，其特征在于，還包括導(dǎo)向限位結(jié)構(gòu)，導(dǎo)向限位結(jié)構(gòu)設(shè)置在套筒和頂推桿之間。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于，多個第一緊固件將工件裝夾固定。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的夾具，其特征在于，至少一個第一緊固件推動工件與套筒的內(nèi)側(cè)壁貼緊。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)屬于晶片加工技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種夾具。夾具包括：套筒，套筒為兩端開口的中空結(jié)構(gòu)；頂推桿，頂推桿可沿套筒的長度方向在套筒內(nèi)移動，頂推桿的一個端面為基準(zhǔn)面，基準(zhǔn)面與套筒內(nèi)壁圍成的空間為裝夾空間；固定結(jié)構(gòu)，固定結(jié)構(gòu)將頂推桿相對套筒固定；第一緊固件，至少一個第一緊固件通過螺紋連接在套筒上，并從套筒外壁伸入裝夾空間中。本技術(shù)通過頂推桿在套筒內(nèi)移動，調(diào)節(jié)基準(zhǔn)面在套筒內(nèi)的位置，進(jìn)而實現(xiàn)調(diào)節(jié)薄晶片露出套筒的高度；通過將薄晶片完成定向的一端與基準(zhǔn)面貼合，并通過第一緊固件將薄晶片固定在裝夾空間內(nèi)，保證研磨加工后的端面與基準(zhǔn)面平行。

技術(shù)研發(fā)人員：顧小英,趙青松,牛曉東,狄聚青,張家瑛
受保護(hù)的技術(shù)使用者：安徽光智科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231226
技術(shù)公布日：2024/12/30