本公開(kāi)內(nèi)容的實(shí)施方式總體涉及模塊化加熱夾套(modular?heating?jacket)、形成方法和使用方法。特別地，本公開(kāi)內(nèi)容的實(shí)施方式涉及包括可再模制絕緣體的模塊化加熱夾套。

背景技術(shù)：

1、用于半導(dǎo)體制造的化學(xué)輸送系統(tǒng)可以利用固體或液體前驅(qū)物安瓿，在前驅(qū)物輸送期間加熱前驅(qū)物安瓿，以有助于揮發(fā)前驅(qū)物以將其輸送至處理腔室中。還需要加熱從安瓿向處理腔室提供前驅(qū)物的輸送管線。

2、根據(jù)安瓿的形狀、安瓿的輸入/輸出位置、孔口的大小等，可以用各種大小的安瓿來(lái)供應(yīng)前驅(qū)物，這些安瓿與包括各種閥和配件的一系列輸送管線連接。鑒于這些變化，在切換前驅(qū)物安瓿或腔室時(shí)，通常需要重新配置管線、閥、配件等。

3、因此，難以加熱前驅(qū)物輸送管線，這是因?yàn)檫@些管線通常是形狀奇怪和/或布置怪異的，并且頻繁地改變布置。另外，雖然存在一些用于普通的安瓿形狀的標(biāo)準(zhǔn)化加熱器，但是并非所有這些加熱器都與附加加熱器一起工作來(lái)在輸送系統(tǒng)內(nèi)提供均勻溫度。

4、因此，需要加熱器模塊，該加熱器模塊可以成形和再成形以均勻地加熱氣相沉積前驅(qū)物輸送系統(tǒng)，包括安瓿、管線、閥和配件。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本公開(kāi)內(nèi)容的一個(gè)或多個(gè)實(shí)施方式涉及一種加熱器夾套模塊，該加熱器夾套模塊包括：第一層，該第一層包括可模制絕緣體材料，可模制絕緣體材料被配置為符合連接到氣相沉積前驅(qū)物輸送系統(tǒng)的多個(gè)管線、閥和/或配件的形狀；第二層，該第二層在第一層之上并且包括柔性加熱元件，柔性加熱元件被配置為符合多個(gè)管線、閥和/或配件的形狀；以及第三層，該第三層在第二層之上并且包括包圍柔性加熱元件和可模制絕緣體的電絕緣且阻燃的罩。

2、另一個(gè)實(shí)施方式涉及一種形成加熱夾套絕緣體的方法，該方法包括：活化可模制絕緣體材料；使可模制絕緣體材料符合包括第一形狀的第一多個(gè)管線、閥和/或配件，以形成符合第一形狀的絕緣體；以及將符合第一形狀的絕緣體固化成第一形狀。

技術(shù)特征：

1.一種加熱器夾套模塊，包括：

2.如權(quán)利要求1所述的加熱器夾套模塊，其中所述可模制絕緣體材料包括可再成形陶瓷。

3.如權(quán)利要求2所述的加熱器夾套模塊，其中所述可再成形陶瓷包括能夠被活化、成形、固化、再活化和再成形的陶瓷材料。

4.如權(quán)利要求1所述的加熱器夾套模塊，其中所述柔性加熱元件包括碳纖維布。

5.如權(quán)利要求4所述的加熱器夾套模塊，其中所述柔性加熱元件進(jìn)一步包括電極和控制器，所述控制器連接到所述電極并且被配置為控制所述柔性加熱元件的溫度。

6.如權(quán)利要求5所述的加熱器夾套模塊，其中所述控制器還連接到所述多個(gè)管線、閥和/或配件，并且被進(jìn)一步配置為響應(yīng)于所述多個(gè)管線、閥和/或配件的溫度來(lái)控制所述柔性加熱元件的所述溫度。

7.如權(quán)利要求1所述的加熱器夾套模塊，其中所述電絕緣且阻燃的罩包含芳綸。

8.如權(quán)利要求1所述的加熱器夾套模塊，其中所述電絕緣且阻燃的罩包括加熱罩和絕緣罩，所述加熱罩覆蓋所述柔性加熱元件的外表面，所述絕緣罩覆蓋所述可模制絕緣體的外表面。

9.如權(quán)利要求8所述的加熱夾套模塊，其中通過(guò)緊固件來(lái)連結(jié)所述加熱罩和所述絕緣罩。

10.如權(quán)利要求9所述的加熱夾套模塊，其中所述緊固件是鋼-芳綸鉤環(huán)緊固件。

11.一種加熱器夾套，所述加熱器夾套包括如權(quán)利要求1的多于一個(gè)加熱器夾套模塊。

12.如權(quán)利要求11所述的加熱器夾套，其中通過(guò)鋼-芳綸鉤環(huán)緊固件來(lái)連結(jié)所述多于一個(gè)加熱器夾套模塊。

13.一種形成加熱夾套絕緣體的方法，所述方法包括：

14.如權(quán)利要求13所述的方法，進(jìn)一步包括：

15.如權(quán)利要求14所述的方法，其中所述柔性加熱元件包括碳纖維布。

16.如權(quán)利要求14所述的方法，其中所述電絕緣且阻燃的罩包含芳綸。

17.如權(quán)利要求14所述的方法，其中用電絕緣且阻燃的罩包圍所述符合形狀的絕緣體和所述柔性加熱元件包括：

18.如權(quán)利要求17所述的方法，其中通過(guò)鉤環(huán)緊固件來(lái)緊固所述第一罩和所述第二罩。

19.如權(quán)利要求18所述的方法，其中連結(jié)多個(gè)加熱夾套模塊以形成加熱夾套，通過(guò)鉤環(huán)緊固件來(lái)連結(jié)每個(gè)加熱夾套模塊。

20.如權(quán)利要求13所述的方法，進(jìn)一步包括：

技術(shù)總結(jié)
本公開(kāi)內(nèi)容的實(shí)施方式涉及包括可再成形絕緣體的加熱夾套。所述絕緣體可以被成形為符合一氣相沉積前驅(qū)物輸送系統(tǒng)或其部分的形狀，并且后來(lái)可對(duì)于不同的氣相沉積前驅(qū)物輸送系統(tǒng)或其部分被再成形。本公開(kāi)內(nèi)容的一些實(shí)施方式組合多個(gè)加熱模塊以形成加熱夾套。所述加熱模塊包含柔性加熱元件和絕緣保護(hù)罩。

技術(shù)研發(fā)人員：安德里亞·列奧尼,易·坤·凱文·高
受保護(hù)的技術(shù)使用者：應(yīng)用材料公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/30