本發(fā)明涉及化工，具體涉及一種儲存高純電子混合氣體鋼瓶的鈍化處理方法。

背景技術(shù)：

1、高純電子混合氣是集成電路、顯示面板等行業(yè)必需的支撐行材料，高純電子混合氣的質(zhì)量對半導(dǎo)體和顯示器件的性能和良率有重大影響，因此對高純電子混合氣的純度和組分相對偏差等都有較高的要求。

2、包裝容器的潔凈程度極大影響其內(nèi)部存儲氣體的質(zhì)量穩(wěn)定性。通常來說，新購置的鋼瓶內(nèi)部會殘留難除的水分。在一定條件下，高純電子混合氣體(如氫氣、氧氣和氟氣等氣體)會與容器內(nèi)壁發(fā)生反應(yīng)，生產(chǎn)其他雜質(zhì)和水，導(dǎo)致氣體中的雜質(zhì)含量不穩(wěn)定，影響產(chǎn)品的質(zhì)量。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種儲存高純電子混合氣體鋼瓶的鈍化處理方法，經(jīng)該方法處理過的鋼瓶存儲的高純電子混合氣體在兩年內(nèi)指標(biāo)穩(wěn)定。

2、本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：

3、一種儲存高純電子混合氣體鋼瓶的鈍化處理方法，包括如下步驟：

4、s1：對待處理鋼瓶進行抽真空處理；

5、s2：在高溫環(huán)境中，對鋼瓶進行平衡氣置換處理；

6、s3：對鋼瓶內(nèi)部置換氣進行抽真空處理后，充入鈍化氣體后置于高溫環(huán)境；

7、s4：對鋼瓶內(nèi)鈍化氣進行抽真空處理后，通入平衡氣進行置換處理；

8、s5：對鋼瓶進行抽真空處理，向鋼瓶內(nèi)充入高純電子混合氣體。

9、優(yōu)選的，鈍化處理結(jié)束后，s5中對鋼瓶進行抽真空處理至壓力≤-0.10mpa，向鋼瓶內(nèi)充入純度≥99.999％的高純電子混合氣體，氣體存放2年內(nèi)指標(biāo)穩(wěn)定。

10、優(yōu)選的，s5中高純電子混合氣體為氦氣、氮氣、氬氣、氖氣、氪氣、氙氣、氫氣、氨氣、氧氣、三氟化氮、氯化氫、一氧化氮、二氧化硫、乙硼烷、磷烷和氟氣中的兩種及其以上的氣體的混合氣。

11、優(yōu)選的，s1-s5中鋼瓶的材質(zhì)包括碳鋼和不銹鋼。

12、優(yōu)選的，s1中對待處理鋼瓶進行抽真空至壓力≤-0.10mpa。

13、優(yōu)選的，s2中置換處理使用的平衡氣純度≥99.9999％，s2中置換處理次數(shù)不少于3遍，環(huán)境溫度為50-60℃，有利于除去鋼瓶內(nèi)壁中的水，所述平衡氣為氦氣、氬氣、氮氣或氖氣。

14、優(yōu)選的，s3中進行抽真空至壓力≤-0.10mpa，鈍化氣充入壓力0.5-1mpa，高溫環(huán)境的溫度為50-60℃，s3中充入鈍化氣后鋼瓶靜置時間不少于7天，有利于在鋼瓶內(nèi)壁形成鈍化膜。

15、優(yōu)選的，s3中不同高純電子混合氣鋼瓶充入鈍化氣種類如下，所示：

16、(1)高純電子混合氣體為含氫混氣時，鈍化氣類型為高純氫氣或高純含氫混氣；

17、(2)高純電子混合氣體為含氨混氣時，鈍化氣類型為高純氨氣或高純含氨混氣；(3)高純電子混合氣體為含氧混氣時，鈍化氣類型為高純氧氣或高純含氧混氣；(4)高純電子混合氣體為含三氟化氮混氣時，鈍化氣類型為高純?nèi)蚋呒兒鞖猓?/p>

18、(5)高純電子混合氣體為含氯化氫混氣時，鈍化氣類型為高純氯化氫或高純含氯化氫混氣；

19、(6)高純電子混合氣體為含一氧化氮混氣時，鈍化氣類型為高純一氧化碳或高純含一氧化碳混氣；

20、(7)高純電子混合氣體為含二氧化硫混氣時，鈍化氣類型為高純二氧化硫或高純含二氧化硫混氣；

21、(8)高純電子混合氣體為含乙硼烷混氣時，鈍化氣類型為高純乙硼烷或高純含乙硼烷混氣；

22、(9)高純電子混合氣體為含磷烷混氣時，鈍化氣類型為高純磷烷或高純含磷烷混氣；

23、(10)高純電子混合氣體為含氟混氣時，鈍化氣類型為高純氟氣或高純含氟混氣。

24、優(yōu)選的，s4中對鋼瓶內(nèi)鈍化氣進行抽真空處理至壓力≤-0.10mpa，平衡氣純度≥99.9999％，平衡氣為氦氣、氬氣、氮氣或氖氣。

25、優(yōu)選的，每半年對充入的高純電子混合氣體進行檢測，平行檢測三次。

26、說明：高純氣體是指氣體純度≥99.999％的氣體。

27、本發(fā)明的有益效果：

28、為保證高純電子混合氣體質(zhì)量的穩(wěn)定性，本發(fā)明提出了一種鋼瓶鈍化處理方法，在高溫環(huán)境中通過平衡氣對鋼瓶進行置換預(yù)處理，去除鋼瓶內(nèi)的雜質(zhì)和水分。隨后，在鋼瓶中充中鈍化氣體，在內(nèi)壁形成均勻的鈍化膜。本發(fā)明處理后的鋼瓶存儲高純電子混合氣體，氣體純度可保持兩年，提高了產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定性。

29、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明首先采用在高溫環(huán)境中使用平衡氣置換處理去除鋼瓶內(nèi)殘留的雜質(zhì)和水分，隨后充入鈍化氣，置于高溫環(huán)境中，進一步除去鋼瓶內(nèi)壁中附著的雜質(zhì)和水分，從而在內(nèi)壁形成鈍化膜，存儲的氣體在2年內(nèi)指標(biāo)穩(wěn)定，大大提升了產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性。

技術(shù)特征：

1.一種儲存高純電子混合氣體鋼瓶的鈍化處理方法，其特征在于，包括如下步驟：

2.根據(jù)權(quán)利要求書1所述的一種儲存高純電子混合氣體鋼瓶的鈍化處理方法，其特征在于，鈍化處理結(jié)束后，s5中對鋼瓶進行抽真空處理至壓力≤-0.10mpa，向鋼瓶內(nèi)充入純度≥99.999％的高純電子混合氣體，氣體存放2年內(nèi)指標(biāo)穩(wěn)定。

3.根據(jù)權(quán)利要求書1所述的一種儲存高純電子混合氣體鋼瓶的鈍化處理方法，其特征在于，s5中高純電子混合氣體為氦氣、氮氣、氬氣、氖氣、氪氣、氙氣、氫氣、氨氣、氧氣、三氟化氮、氯化氫、一氧化氮、二氧化硫、乙硼烷、磷烷和氟氣中的兩種及其以上的氣體的混合氣。

4.根據(jù)權(quán)利要求書1所述的一種儲存高純電子混合氣體鋼瓶的鈍化處理方法，其特征在于，s1-s5中鋼瓶的材質(zhì)包括碳鋼和不銹鋼。

5.根據(jù)權(quán)利要求書1所述的一種儲存高純電子混合氣體鋼瓶的鈍化處理方法，其特征在于，s1中對待處理鋼瓶進行抽真空至壓力≤-0.10mpa。

6.根據(jù)權(quán)利要求書1所述的一種儲存高純電子混合氣體鋼瓶的鈍化處理方法，其特征在于，s2中置換處理使用的平衡氣純度≥99.9999％，s2中置換處理次數(shù)不少于3遍，環(huán)境溫度為50-60℃，所述平衡氣為氦氣、氬氣、氮氣或氖氣。

7.根據(jù)權(quán)利要求書1所述的一種儲存高純電子混合氣體鋼瓶的鈍化處理方法，其特征在于，s3中進行抽真空至壓力≤-0.10mpa，鈍化氣充入壓力0.5-1mpa，高溫環(huán)境的溫度為50-60℃，s3中充入鈍化氣后鋼瓶靜置時間不少于7天。

8.根據(jù)權(quán)利要求書1所述的一種儲存高純電子混合氣體鋼瓶的鈍化處理方法，其特征在于，s3中不同高純電子混合氣鋼瓶充入鈍化氣種類如下所示：

9.根據(jù)權(quán)利要求書1所述的一種儲存高純電子混合氣體鋼瓶的鈍化處理方法，其特征在于，s4中對鋼瓶內(nèi)鈍化氣進行抽真空處理至壓力≤-0.10mpa，平衡氣純度≥99.9999％，平衡氣為氦氣、氬氣、氮氣或氖氣。

10.根據(jù)權(quán)利要求書2所述的一種儲存高純電子混合氣體鋼瓶的鈍化處理方法，其特征在于，每半年對充入的高純電子混合氣體進行檢測，平行檢測三次。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供了一種儲存高純電子混合氣體鋼瓶的鈍化處理方法，具體步驟如下：S1，對待處理鋼瓶進行抽真空處理；S2，在高溫環(huán)境中，對鋼瓶進行平衡氣置換處理；S3，對鋼瓶內(nèi)部置換氣進行抽真空處理后，充入鈍化氣體后置于高溫環(huán)境；S4，對鋼瓶內(nèi)鈍化氣進行抽真空處理后，通入平衡氣進行置換處理；S5，對鋼瓶進行抽真空處理，向鋼瓶內(nèi)充入高純電子混合氣體。本發(fā)明處理后的鋼瓶存儲的高純電子混合氣體2年內(nèi)指標(biāo)穩(wěn)定，具備良好的產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定性。

技術(shù)研發(fā)人員：王星帥,李旭,王佳佳,劉帥鵬,孫昊,未九錄,周思怡,馬朝選
受保護的技術(shù)使用者：中船（邯鄲）派瑞特種氣體股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/9