本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體制備，尤其涉及一種拋光片的制備設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、隨著現(xiàn)代工業(yè)對(duì)精密加工和表面處理要求的不斷提高，拋光片廣泛應(yīng)用于光學(xué)鏡頭、電子元器件、金屬制品等領(lǐng)域，用于提高表面的光潔度和精度。然而，現(xiàn)有技術(shù)在拋光片的制備設(shè)備方面存在若干不足之處，這些不足不僅限制了生產(chǎn)效率的提升，也影響了產(chǎn)品的一致性和質(zhì)量。

2、在現(xiàn)有的拋光片制備設(shè)備中，許多拋光片制備設(shè)備采用了單一的磨平工具，這導(dǎo)致了拋光片在不同區(qū)域的磨損程度不一致，且在磨平后沒(méi)有經(jīng)過(guò)進(jìn)一步地精細(xì)處理，使得拋光片的表面質(zhì)量難以達(dá)到高精度要求，進(jìn)而影響了拋光片的整體使用壽命和拋光效果。此外，由于缺乏有效的工件固定和定位機(jī)制，工件在打磨過(guò)程中容易發(fā)生位移，導(dǎo)致拋光片表面出現(xiàn)劃痕或不均勻磨損，進(jìn)而導(dǎo)致產(chǎn)品品質(zhì)下降。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本申請(qǐng)的目的在于提供一種拋光片的制備設(shè)備，解決現(xiàn)有技術(shù)中拋光片的制備設(shè)備在耐磨性和加工精度方面的不足等的技術(shù)問(wèn)題。

2、為達(dá)到此目的，本申請(qǐng)采用以下技術(shù)方案：

3、一種拋光片的制備設(shè)備，設(shè)備包括：

4、底架，所述底架上設(shè)置有第一磨輪組件和第二磨輪組件，所述第一磨輪組件和第二磨輪組件相對(duì)設(shè)置，所述第一磨輪組件包括第一電機(jī)、第一傳動(dòng)軸和第一磨輪，所述第一電機(jī)通過(guò)第一傳動(dòng)軸驅(qū)動(dòng)第一磨輪旋轉(zhuǎn)，所述第二磨輪組件包括第二電機(jī)、第二傳動(dòng)軸和第二磨輪，所述第二電機(jī)通過(guò)第二傳動(dòng)軸驅(qū)動(dòng)第二磨輪旋轉(zhuǎn)，其中，所述第一磨輪的直徑大于所述第二磨輪的直徑；

5、夾持組件，所述夾持組件設(shè)置在所述第一磨輪和第二磨輪之間，用于固定工件，所述夾持組件包括夾持座和夾持臂，所述夾持座固定在底架上，所述夾持臂可活動(dòng)地連接在夾持座上，所述夾持臂上設(shè)置有引導(dǎo)件，所述引導(dǎo)件可帶動(dòng)所述持臂沿第二磨輪的徑向方向移動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)對(duì)工件的夾持和釋放；

6、固定架，所述固定架與所述第二磨輪組件固定連接，所述固定架靠近所述第二磨輪的一面設(shè)置有引導(dǎo)槽，所述固定架上設(shè)置有磨削軸，其中，所述工件從所述引導(dǎo)槽進(jìn)入并固定在所述磨削軸上。

7、進(jìn)一步地，還包括第一冷卻組件，所述第一冷卻組件包括冷卻液泵和冷卻噴嘴，所述第一磨輪組件還包括固定板，所述固定板設(shè)置在所述第一磨輪組件遠(yuǎn)離所述第二磨輪組件的一面，所述固定板上設(shè)置有孔洞，所述冷卻液泵通過(guò)管道與所述冷卻噴嘴相連通，所述冷卻噴嘴設(shè)置在所述第一磨輪組件的上方，當(dāng)所述第一磨輪旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述冷卻噴嘴可向所述第一磨輪表面噴射冷卻液。

8、進(jìn)一步地，還包括第二冷卻組件，所述第二冷卻組件包括儲(chǔ)液罐和冷卻噴頭，所述儲(chǔ)液罐用于儲(chǔ)存冷卻液，所述第二冷卻組件與所述固定架連接，所述儲(chǔ)液罐通過(guò)管道與所述冷卻噴頭相連通，當(dāng)所述第二磨輪旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述冷卻噴頭可向所述第二磨輪表面噴射冷卻液。

9、進(jìn)一步地，還包括軌道組件，所述軌道組件與所述第一冷卻組件連接，所述軌道組件包括軌道座和軌道座和軌道軸，所述軌道座固定在所述第一冷卻組件靠近所述底架的一面，所述軌道座上設(shè)置有軌道槽，所述軌道軸設(shè)置在所述軌道槽內(nèi)，所述第一冷卻組件可沿所述軌道軸在所述軌道槽內(nèi)滑動(dòng)。

10、進(jìn)一步地，還包括固定支架，所述固定支架的一面與所述底架固定連接，另一面與所述第二磨輪組件和固定架固定連接，所述固定支架內(nèi)設(shè)置有調(diào)節(jié)組件，所述調(diào)節(jié)組件包括調(diào)節(jié)螺桿和調(diào)節(jié)手輪，所述調(diào)節(jié)螺桿穿設(shè)所述固定支架并可旋轉(zhuǎn)地連接在所述調(diào)節(jié)手輪上，通過(guò)旋轉(zhuǎn)所述調(diào)節(jié)手輪，可使所述調(diào)節(jié)螺桿沿軸向移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)調(diào)整所述第一磨輪組件和第二磨輪組件之間的相對(duì)距離。

11、進(jìn)一步地，還包括排水組件，所述排水組件設(shè)置在所述底架的底部，包括排水管和排水泵，所述底架的內(nèi)部設(shè)置有流通通道，所述排水泵設(shè)置在所述流通通道的末端，所述排水管與所述流通通道連接，用于將使用后的冷卻液排出。

12、進(jìn)一步地，還包括驅(qū)動(dòng)組件，所述驅(qū)動(dòng)組件與所述磨削軸連接，所述驅(qū)動(dòng)組件包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)和傳動(dòng)輪，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)設(shè)置在所述固定架的一側(cè)，所述傳動(dòng)輪與所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述傳動(dòng)輪與所述磨削軸通過(guò)連接，當(dāng)所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)啟動(dòng)時(shí)，通過(guò)所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)，使得所述磨削軸能夠帶動(dòng)工件進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。

13、進(jìn)一步地，還包括下料組件，所述下料組件設(shè)置在所述固定架遠(yuǎn)離所述第二磨輪組件的一側(cè)，包括下料臂和下料夾具，所述下料臂可活動(dòng)地連接在所述固定架上，所述下料夾具設(shè)置在所述下料臂的末端，所述下料夾具可夾持并釋放工件。

14、進(jìn)一步地，所述磨削軸的相對(duì)兩側(cè)設(shè)置有限位塊，所述限位塊固定在所述磨削軸的相對(duì)兩側(cè)，所述限位塊的表面上設(shè)置有多個(gè)限位孔，所述限位孔用于定位工件在磨削軸上的位置。

15、進(jìn)一步地，所述第二冷卻組件還包括速度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述速度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述儲(chǔ)液罐遠(yuǎn)離所述第二磨輪的一側(cè)，包括螺旋桿和調(diào)節(jié)旋鈕，所述螺旋桿的第一段與所述冷卻噴頭連接，另一端穿過(guò)儲(chǔ)液罐的側(cè)壁并可旋轉(zhuǎn)地連接在調(diào)節(jié)旋鈕上，通過(guò)旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)旋鈕，可使螺旋桿沿軸向移動(dòng)，從而調(diào)節(jié)冷卻噴頭的噴射速度。

16、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本申請(qǐng)具有以下有益效果：

17、本申請(qǐng)通過(guò)采用雙磨輪設(shè)計(jì)，使得拋光片在不同區(qū)域的磨損程度更加均勻，從而提高了拋光片的整體表面質(zhì)量，第一磨輪組件和第二磨輪組件的相對(duì)設(shè)置，使得工件在打磨過(guò)程中能夠得到更加精細(xì)的處理，滿足高精度要求。此外，通過(guò)夾持組件的引導(dǎo)件帶動(dòng)夾持臂沿第二磨輪的徑向方向移動(dòng)，工件從第二磨輪上從引導(dǎo)槽進(jìn)入至固定架，并通過(guò)磨削軸進(jìn)行精細(xì)打磨，實(shí)現(xiàn)了對(duì)工件的精確夾持和釋放，有效避免了工件在打磨過(guò)程中的位移，從而減少了拋光片表面劃痕或不均勻磨損的發(fā)生，提高了產(chǎn)品品質(zhì)。

技術(shù)特征：

1.一種拋光片的制備設(shè)備，其特征在于，設(shè)備包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光片的制備設(shè)備，其特征在于，還包括第一冷卻組件，所述第一冷卻組件包括冷卻液泵和冷卻噴嘴，所述第一磨輪組件還包括固定板，所述固定板設(shè)置在所述第一磨輪組件遠(yuǎn)離所述第二磨輪組件的一面，所述固定板上設(shè)置有孔洞，所述冷卻液泵通過(guò)管道與所述冷卻噴嘴相連通，所述冷卻噴嘴設(shè)置在所述第一磨輪組件的上方，當(dāng)所述第一磨輪旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述冷卻噴嘴可向所述第一磨輪表面噴射冷卻液。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光片的制備設(shè)備，其特征在于，還包括第二冷卻組件，所述第二冷卻組件包括儲(chǔ)液罐和冷卻噴頭，所述儲(chǔ)液罐用于儲(chǔ)存冷卻液，所述第二冷卻組件與所述固定架連接，所述儲(chǔ)液罐通過(guò)管道與所述冷卻噴頭相連通，當(dāng)所述第二磨輪旋轉(zhuǎn)時(shí)，所述冷卻噴頭可向所述第二磨輪表面噴射冷卻液。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的拋光片的制備設(shè)備，其特征在于，還包括軌道組件，所述軌道組件與所述第一冷卻組件連接，所述軌道組件包括軌道座和軌道座和軌道軸，所述軌道座固定在所述第一冷卻組件靠近所述底架的一面，所述軌道座上設(shè)置有軌道槽，所述軌道軸設(shè)置在所述軌道槽內(nèi)，所述第一冷卻組件可沿所述軌道軸在所述軌道槽內(nèi)滑動(dòng)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光片的制備設(shè)備，其特征在于，還包括固定支架，所述固定支架的一面與所述底架固定連接，另一面與所述第二磨輪組件和固定架固定連接，所述固定支架內(nèi)設(shè)置有調(diào)節(jié)組件，所述調(diào)節(jié)組件包括調(diào)節(jié)螺桿和調(diào)節(jié)手輪，所述調(diào)節(jié)螺桿穿設(shè)所述固定支架并可旋轉(zhuǎn)地連接在所述調(diào)節(jié)手輪上，通過(guò)旋轉(zhuǎn)所述調(diào)節(jié)手輪，可使所述調(diào)節(jié)螺桿沿軸向移動(dòng)，實(shí)現(xiàn)調(diào)整所述第一磨輪組件和第二磨輪組件之間的相對(duì)距離。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光片的制備設(shè)備，其特征在于，還包括排水組件，所述排水組件設(shè)置在所述底架的底部，包括排水管和排水泵，所述底架的內(nèi)部設(shè)置有流通通道，所述排水泵設(shè)置在所述流通通道的末端，所述排水管與所述流通通道連接，用于將使用后的冷卻液排出。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光片的制備設(shè)備，其特征在于，還包括驅(qū)動(dòng)組件，所述驅(qū)動(dòng)組件與所述磨削軸連接，所述驅(qū)動(dòng)組件包括驅(qū)動(dòng)電機(jī)和傳動(dòng)輪，所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)設(shè)置在所述固定架的一側(cè)，所述傳動(dòng)輪與所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述傳動(dòng)輪與所述磨削軸通過(guò)連接，當(dāng)所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)啟動(dòng)時(shí)，通過(guò)所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)的驅(qū)動(dòng)，使得所述磨削軸能夠帶動(dòng)工件進(jìn)行旋轉(zhuǎn)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光片的制備設(shè)備，其特征在于，還包括下料組件，所述下料組件設(shè)置在所述固定架遠(yuǎn)離所述第二磨輪組件的一側(cè)，包括下料臂和下料夾具，所述下料臂可活動(dòng)地連接在所述固定架上，所述下料夾具設(shè)置在所述下料臂的末端，所述下料夾具可夾持并釋放工件。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的拋光片的制備設(shè)備，其特征在于，所述磨削軸的相對(duì)兩側(cè)設(shè)置有限位塊，所述限位塊固定在所述磨削軸的相對(duì)兩側(cè)，所述限位塊的表面上設(shè)置有多個(gè)限位孔，所述限位孔用于定位工件在磨削軸上的位置。

10.根據(jù)權(quán)利要求3所述的拋光片的制備設(shè)備，其特征在于，所述第二冷卻組件還包括速度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述速度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)置在所述儲(chǔ)液罐遠(yuǎn)離所述第二磨輪的一側(cè)，包括螺旋桿和調(diào)節(jié)旋鈕，所述螺旋桿的第一段與所述冷卻噴頭連接，另一端穿過(guò)儲(chǔ)液罐的側(cè)壁并可旋轉(zhuǎn)地連接在調(diào)節(jié)旋鈕上，通過(guò)旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)旋鈕，可使螺旋桿沿軸向移動(dòng)，從而調(diào)節(jié)冷卻噴頭的噴射速度。

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)公開(kāi)了一種拋光片的制備設(shè)備，包括：底架，底架上設(shè)置有第一磨輪組件和第二磨輪組件，第一磨輪組件包括第一磨輪，第二磨輪組件包括第二磨輪，其中，第一磨輪的直徑大于第二磨輪的直徑；夾持組件，夾持組件設(shè)置在第一磨輪和第二磨輪之間，用于固定工件，夾持組件包括夾持座和夾持臂，夾持座固定在底架上，夾持臂可活動(dòng)地連接在夾持座上，夾持臂上設(shè)置有引導(dǎo)件，引導(dǎo)件可帶動(dòng)持臂沿第二磨輪的徑向方向移動(dòng)；固定架，固定架與第二磨輪組件固定連接，固定架靠近第二磨輪的一面設(shè)置有引導(dǎo)槽，固定架上設(shè)置有磨削軸，其中，工件從引導(dǎo)槽進(jìn)入并固定在磨削軸上。本申請(qǐng)使得拋光片在不同區(qū)域的磨損程度更加均勻，提高了拋光片的整體表面質(zhì)量。

技術(shù)研發(fā)人員：陳斌,張消軍,王鑫,李浩杰
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中機(jī)半導(dǎo)體材料（深圳）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/2