本發(fā)明主要涉及顯示屏制造領(lǐng)域,具體涉及一種低反射車載顯示屏制造工藝。
背景技術(shù):
1、隨著汽車智能化發(fā)展加速,車載顯示朝著大尺寸、多屏化、高清化、交互性、多形態(tài)化發(fā)展,對(duì)于顯示的性能要求也有更高的要求,包括高對(duì)比度、低反射率、寬視角、高亮度、觸控以及快速響應(yīng)等等,由于車輛經(jīng)常在高亮度環(huán)境中使用,顯示器的抗反射特性的強(qiáng)弱直接影響到客戶的使用體驗(yàn),對(duì)于抗反射性能好的顯示器,人們看到的圖像更清晰,色彩更鮮艷,而抗反射性能不佳的顯示器,圖像變得不清晰,色彩不鮮艷,本公司通過(guò)特殊的光學(xué)設(shè)計(jì),有效地降低環(huán)境光的干擾,提高畫(huà)面的清晰度,減少屏幕反光,使圖像更清晰、逼真,讓駕駛者享受到更佳的視覺(jué)效果。
2、目前按照現(xiàn)有常規(guī)的條件調(diào)試,再按照客戶提供的fog屏和ar蓋板貼合,按照行業(yè)內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)re(反射率)≤3,實(shí)際做到3.17左右,無(wú)法達(dá)到客戶提出要求re<2.5,在當(dāng)前種種壓力下做出以下調(diào)整:
3、在原制程不變的情況下ito選擇高阻,這樣當(dāng)?shù)乐瞥谭瓷渎首畹?,但鍍完sionx膜層后,反射率會(huì)升高,此方案不可行;
4、增加im2膜厚且im2膜層由原來(lái)的sionx調(diào)整為sio2,,im2膜厚由之前800埃提升到1000埃,單體sensor反射率有所下降但蝕刻痕明顯,消影效果差,此方案不可行;
5、在圖形面制程不變的情況下非圖形面增加一道sio2制程,膜厚為1000a,單體sensor反射率有所下降,但貼合后膜色發(fā)藍(lán),反射率反而升高,此方案不可行;
6、圖形面用整面oc替代局部oc,單體sensor及貼合后反射率有所降低,但膜色發(fā)藍(lán),此方案不可行。
7、發(fā)明人提出一種低反射車載顯示屏制造工藝,通過(guò)采用特殊的膜層疊加及光學(xué)設(shè)計(jì)來(lái)降低單體sensor反射率,其成品使用fog/lcm屏+ar蓋板貼合后反射率明顯降低,橋點(diǎn)輕微可見(jiàn),有效地降低環(huán)境光的干擾,提高畫(huà)面的清晰度,減少屏幕反光,使圖像更清晰、逼真,讓駕駛者享受到更佳的視覺(jué)效果。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、1.發(fā)明要解決的問(wèn)題:
2、本發(fā)明的提供了一種低反射車載顯示屏制造工藝,用于解決上述背景技術(shù)中提到的現(xiàn)有車載顯示屏的反射率偏高的技術(shù)問(wèn)題。
3、2.技術(shù)方案:
4、為達(dá)到上述目的,本發(fā)明提供的技術(shù)方案為:一種低反射車載顯示屏制造工藝,包括如下步驟:
5、在清洗后的原?;迳蠟R鍍底層消影im1+ito1膜層。
6、在ito1表面完成整面光阻涂布,依次經(jīng)過(guò)前清洗、前烘烤、曝光、顯影、后烤、蝕刻、脫膜,完成ito橋點(diǎn)制作。
7、進(jìn)行整面oc光阻涂布,依次經(jīng)過(guò)前清洗,前烘烤、曝光、顯影、后烘烤,形成oc1膜。
8、再整面濺鍍上一層ito膜,即ito2。
9、在ito膜表面完成整面光阻涂布,依次經(jīng)過(guò)清洗、前烘烤、?曝光、顯影、后烤、蝕刻、脫膜,完成ito?pattern圖形制作,ito圖形覆蓋在整個(gè)視窗區(qū)。
10、整面依次濺鍍moalmo膜層,形成金屬層。
11、在金屬上涂布整面光阻依次經(jīng)過(guò)清洗、前烘烤、?曝光、顯影、后烤、蝕刻、脫膜完成金屬線及金手指制作。
12、整面濺鍍上一層sionx消影膜層。
13、再?gòu)幕辶硪幻鏋R鍍整面ito,即shieldito膜層。
14、鍍完shieldito膜層時(shí)緊接著鍍一層sionx膜層,再到圖形面涂布o(jì)c材料,即局部oc,目的保護(hù)金屬線和金手指避免氧化,oc膜厚1.8~2.2μm。
15、進(jìn)一步的,所述消影im1+ito1膜層由sinx+sio2組成,其中sinx200~400埃,sio2膜厚為200~500埃,ito1膜層的阻值為15ω,膜厚為1100~1600埃,鍍膜溫度為?200~300℃;sinx鍍膜時(shí)通入300~450sccm氬氣、250~350sccm氮?dú)?,功?0~16kw;sio2鍍膜時(shí),通入100~200sccm氬氣、100~200sccm氧氣,功率18~25kw,ito1鍍膜時(shí),通入350~500sccm氬氣,6.0~10.0sccm氧氣,功率18~22kw。
16、進(jìn)一步的,所述oc1膜僅覆蓋在ito橋點(diǎn)之上,oc1膜厚1.4~1.8μm。
17、進(jìn)一步的,所述ito2膜層的阻值為30ω,濺鍍ito2膜層時(shí),鍍膜溫度為200~250℃,通入350~500sccm氬氣,6.0~10.0sccm氧氣,功率15~20kw。
18、進(jìn)一步的,所述金屬層的阻值0.18-0.35ω,膜厚為2600~3800埃,濺鍍金屬時(shí),鍍膜溫度75~175℃,通入200~350sccm氬氣、20~100sccm氧氣。
19、進(jìn)一步的,所述sionx消影膜層,膜厚600~900埃,鍍膜溫度?180~230℃,通入150~300sccm氬氣、40~100sccm氧氣、200~300sccm氮?dú)?,功?0~35kw。
20、進(jìn)一步的,所述shieldito膜層起到屏蔽和加熱作用,鍍膜溫度為150~250℃,ito阻值為90~120ω,通入350~500sccm氬氣,1.0~3.0sccm氧氣,功率1.5~3.5kw。
21、進(jìn)一步的,所述sionx膜層,主要進(jìn)一步降低反射率,膜厚900~1300埃,鍍膜溫度180~230℃,通入100~150sccm氬氣、40~60sccm氧氣、240~300sccm氮?dú)猓β?0~55kw。
22、進(jìn)一步的,還包括單體sensor生產(chǎn)流程如下:
23、glass→imito1鍍膜(a面)→imito1顯影蝕刻→oc1顯影→ito2鍍膜→ito2顯影蝕刻→metal鍍膜→metal顯影蝕刻→sionx鍍膜(a面)→shieldito鍍膜(b面)→sionx鍍膜(b面)→passivation顯影(a面);
24、其中:
25、ito1阻值由原來(lái)的30~75ω調(diào)整為15ω,橋點(diǎn)可見(jiàn)的明顯性減弱,貼合后目視橋點(diǎn)明顯減弱;
26、ito2阻值由原來(lái)的75~100ω調(diào)整為30ω隨著sionx膜層疊加后反射率最低;
27、非圖形面增加sio2制程改為sionx制程,目的貼合后進(jìn)一步降低反射率;
28、后續(xù)圖形面局部oc替代整面oc,目的提升va區(qū)b值,避免貼合后膜色發(fā)藍(lán)現(xiàn)象;
29、由原來(lái)的先非圖形面sionx制程在到圖形面局部oc制程,改為先局部oc,再鍍非圖形面sionx,目的是避免局部oc硬烤時(shí)降低產(chǎn)品反射率b值變化。
30、3.有益效果:
31、采用本發(fā)明提供的技術(shù)方案,與現(xiàn)有技術(shù)相比,具有如下有益效果:
32、本發(fā)明提供了一種低反射車載顯示屏制造工藝,客戶端使用fog/lcm屏+ar蓋板貼合后反射率明顯降低,橋點(diǎn)輕微可見(jiàn),有效地降低環(huán)境光的干擾,提高畫(huà)面的清晰度,減少屏幕反光,使圖像更清晰、逼真,讓駕駛者享受到更佳的視覺(jué)效果。
33、該裝置中未涉及部分均與現(xiàn)有技術(shù)相同或可采用現(xiàn)有技術(shù)加以實(shí)現(xiàn)。