本申請涉及顯示，具體涉及一種背板、蒸鍍裝置和蒸鍍設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、蒸鍍技術(shù)常用于顯示面板中不同膜層的制備。制備顯示面板時(shí)，需要通過蒸鍍設(shè)備在基板的表面進(jìn)行蒸鍍以形成顯示面板中的各膜層。在將基板放置于蒸鍍設(shè)備中時(shí)，需要通過蒸鍍設(shè)備中的背板對基板進(jìn)行支撐。為了提升背板對基板的支撐強(qiáng)度和穩(wěn)定性，背板的表面設(shè)有多個(gè)支撐凸起用于與基板抵接。但是，此種背板在支撐凸起與基板抵接時(shí)，容易造成基板的損傷，進(jìn)而影響蒸鍍各膜層中膜厚的準(zhǔn)確性，從而降低顯示面板良率。

2、因此，亟需一種新的在蒸鍍時(shí)能夠減小基板損傷的方案。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本申請實(shí)施例提供了一種背板、蒸鍍裝置和蒸鍍設(shè)備，用以兼顧支撐的穩(wěn)定性和低損傷。

2、第一方面，提供了一種背板，包括：支撐基板；支撐組件，位于支撐基板的第一表面，支撐組件被配置為與待蒸鍍基板抵接；其中，支撐組件中的至少部分結(jié)構(gòu)的材料包括柔性材料。

3、結(jié)合第一方面，在第一方面的某些實(shí)現(xiàn)方式中，支撐組件包括：多個(gè)第一支撐件，分布于支撐基板的第一表面，第一支撐件的材料包括柔性材料，第一支撐件被配置為與待蒸鍍基板抵接；

4、結(jié)合第一方面，在第一方面的某些實(shí)現(xiàn)方式中，柔性材料包括尼龍和防靜電橡膠中的至少一者。

5、結(jié)合第一方面，在第一方面的某些實(shí)現(xiàn)方式中，支撐組件還包括：多個(gè)第二支撐件，分布于第一表面，第二支撐件的材料包括剛性材料，第二支撐件被配置為與待蒸鍍基板抵接。

6、結(jié)合第一方面，在第一方面的某些實(shí)現(xiàn)方式中，第一支撐件的數(shù)量為a1，第二支撐件的數(shù)量為a2，a1和a2均為正整數(shù)，a1≤a2，第二支撐件和第一支撐件分散布置于第一表面。

7、結(jié)合第一方面，在第一方面的某些實(shí)現(xiàn)方式中，a1＝a2，第一支撐件和第二支撐件交錯(cuò)布置。

8、結(jié)合第一方面，在第一方面的某些實(shí)現(xiàn)方式中，a2小于2倍的a1；或者，a1＞a2，多個(gè)第二支撐件在第一表面分散布置，多個(gè)第一支撐件圍繞第二支撐件布置。

9、結(jié)合第一方面，在第一方面的某些實(shí)現(xiàn)方式中，在與支撐基板垂直的方向，第一支撐件的尺寸為h1，第二支撐件的尺寸為h2，h1＞h2，h1和h2均為正數(shù)。

10、結(jié)合第一方面，在第一方面的某些實(shí)現(xiàn)方式中，h1與h2之差大于或等于1mm。

11、結(jié)合第一方面，h1與h2的比值范圍在1.03～1.07之間。

12、結(jié)合第一方面，h1與h2之比為1.05：1。

13、結(jié)合第一方面，在第一方面的某些實(shí)現(xiàn)方式中，第一支撐件包括：至少一個(gè)第一支撐部，第一支撐部的材料為剛性材料；至少一個(gè)第二支撐部，第二支撐部與第一支撐部連接，第二支撐部的材料為柔性材料；其中，第一支撐部與第一表面連接，第二支撐部與待蒸鍍基板抵接，或者第二支撐部與第一表面連接，第一支撐部與待蒸鍍基板抵接。

14、結(jié)合第一方面，在第一方面的某些實(shí)現(xiàn)方式中，還包括：冷卻結(jié)構(gòu)，設(shè)置于第一支撐件和第二支撐件中的至少一者，用于對支撐的待蒸鍍基板散熱。

15、結(jié)合第一方面，在第一方面的某些實(shí)現(xiàn)方式中，第一支撐件具有空腔，空腔形成冷卻結(jié)構(gòu)，其中，空腔被配置為容納冷卻介質(zhì)。

16、結(jié)合第一方面，在第一方面的某些實(shí)現(xiàn)方式中，第一支撐件包括具有容置腔的氣囊結(jié)構(gòu)，支撐基板具有與容置腔連通的管道，管道和容置腔被配置為供冷卻介質(zhì)流通。

17、第二方面，提供了一種蒸鍍裝置，包括：掩膜板，被配置為支撐待蒸鍍基板；上述任一項(xiàng)提到的背板，與掩膜板間隔設(shè)置，待蒸鍍基板被放置于掩膜板與背板之間，背板被配置為與待蒸鍍基板抵接，以支撐待蒸鍍基板。

18、第三方面，提供了一種蒸鍍設(shè)備，用于蒸鍍待蒸鍍基板，蒸鍍裝置包括：主體，具有蒸鍍腔室，用于放置待蒸鍍基板，磁吸板，位于蒸鍍腔室；上述第二方面提到的蒸鍍裝置，蒸鍍裝置的背板與磁吸板接觸。

19、本申請?zhí)峁┝艘环N背板、蒸鍍裝置和蒸鍍設(shè)備。背板包括支撐基板和支撐組件，支撐組件位于支撐基板的第一表面，支撐組件被配置為與待蒸鍍基板抵接；其中，支撐組件中的至少部分結(jié)構(gòu)的材料包括柔性材料。

20、本申請實(shí)施例通過將支撐組件中的至少部分結(jié)構(gòu)的材料設(shè)置為柔性材料，即將現(xiàn)有技術(shù)中用于支撐待蒸鍍基板中至少部分的硬性支撐替換為由柔性材料制備得到的柔性支撐，從而使支撐組件對待蒸鍍基板具有較好的支撐穩(wěn)定性的同時(shí)，根據(jù)柔性材料所具有的彈性變形能力，能夠避免支撐組件在與待蒸鍍基板抵接時(shí)劃傷待蒸鍍基板，進(jìn)而提高蒸鍍膜厚的準(zhǔn)確性和顯示良率。

技術(shù)特征：

1.一種背板，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的背板，其特征在于，所述支撐組件包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的背板，其特征在于，所述支撐組件還包括：

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的背板，其特征在于，所述第一支撐件的數(shù)量為a1，所述第二支撐件的數(shù)量為a2，a1和a2均為正整數(shù)，a1≤a2，所述第二支撐件和所述第一支撐件分散布置于所述第一表面；

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的背板，其特征在于，在與所述支撐基板垂直的方向，所述第一支撐件的尺寸為h1，所述第二支撐件的尺寸為h2，h1＞h2，h1和h2均為正數(shù)；

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的背板，其特征在于，所述第一支撐件包括：

7.根據(jù)權(quán)利要求3至6任一項(xiàng)所述的背板，其特征在于，還包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的背板，其特征在于，所述第一支撐件具有空腔，所述空腔形成所述冷卻結(jié)構(gòu)，其中，所述空腔被配置為容納冷卻介質(zhì)；

9.一種蒸鍍裝置，其特征在于，包括：

10.一種蒸鍍設(shè)備，其特征在于，用于蒸鍍待蒸鍍基板，所述蒸鍍裝置包括：

技術(shù)總結(jié)
本申請?zhí)峁┝艘环N背板、蒸鍍裝置和蒸鍍設(shè)備。背板包括支撐基板和支撐組件，支撐組件位于支撐基板的第一表面，支撐組件被配置為與待蒸鍍基板抵接，其中，支撐組件中的至少部分結(jié)構(gòu)的材料包括柔性材料。本申請通過將支撐組件中的部分結(jié)構(gòu)的材料設(shè)置為柔性材料，可實(shí)現(xiàn)對待蒸鍍基板的軟支撐，從而在保證支撐穩(wěn)定性的同時(shí)，能夠減小對待蒸鍍基板支撐時(shí)所造成的損傷。

技術(shù)研發(fā)人員：臧公正,李慧,王盼盼,楊峰
受保護(hù)的技術(shù)使用者：合肥維信諾科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/6