本申請(qǐng)涉及半導(dǎo)體，特別是涉及沉積設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體薄膜沉積領(lǐng)域中，需要通過載片舟將基片送入工藝腔體內(nèi)，進(jìn)行加熱和工藝鍍膜。為了產(chǎn)能的增加，載片舟和沉積設(shè)備的體積不斷增加。但沉積設(shè)備體積的增加會(huì)導(dǎo)致設(shè)備內(nèi)部熱場均勻性的下降，成為了制約產(chǎn)能繼續(xù)增加的技術(shù)問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本申請(qǐng)的實(shí)施例提供沉積設(shè)備，能夠?yàn)檩d片舟提供均勻的熱場。

2、本申請(qǐng)實(shí)施例提供一種沉積設(shè)備。沉積設(shè)備包括主體和加熱組件。主體具有工藝腔體。加熱組件包括設(shè)置第一加熱組件和第二加熱組件，第一加熱組件分別設(shè)置于主體第一方向上的相對(duì)兩側(cè)，第二加熱組件分別設(shè)置于主體不同于第一方向的第二方向的相對(duì)兩側(cè)。其中，第一加熱組件的加熱功率均勻分布；在第一方向上，第二加熱組件的中部的加熱功率小于第二加熱組件的兩側(cè)的加熱功率，第二加熱組件兩側(cè)的加熱功率小于或等于第一加熱組件的加熱功率。

3、可選地，第一方向是重力方向，主體具有在第一方向上相對(duì)設(shè)置的頂側(cè)和底側(cè)，以及在第二方向上相對(duì)設(shè)置的兩個(gè)邊側(cè)，第二方向垂直于第一方向，第一加熱組件分別設(shè)置于頂側(cè)和底側(cè)，第二加熱組件分別設(shè)置于兩個(gè)邊側(cè)。

4、可選地，工藝腔體用于容置載片舟，載片舟包括并排間隔設(shè)置的多個(gè)舟頁，舟頁沿著第二方向排列，舟頁之間形成有用于容置基片的容置空間，舟頁所在的平面與第一方向平行；載片舟還包括設(shè)置于舟頁底部的舟腳，舟腳在第二方向上間隔設(shè)置；

5、主體包括外殼和工藝管，工藝管設(shè)置于外殼內(nèi)，工藝管具有工藝腔體，工藝管與外殼之間形成有導(dǎo)熱空間，加熱組件設(shè)置于導(dǎo)熱空間內(nèi)，沉積設(shè)備還包括輔熱組件，輔熱組件設(shè)置于工藝管內(nèi)。

6、可選地，第一加熱組件中包括多個(gè)第一加熱件，第一加熱件沿著第三方向延伸，第三方向垂直于第一方向和第二方向，第一加熱件在第二方向上均勻間隔設(shè)置；第二加熱組件中包括多個(gè)第二加熱件，第二加熱件在第一方向上間隔設(shè)置，第二加熱件沿著第三方向延伸；位于第二加熱組件中部的第二加熱件之間的間隔大于位于第二加熱組件兩側(cè)的第二加熱件之間的間隔。

7、可選地，第一加熱件之間的間距為20～40mm，第二加熱件之間的最小間距為20～40mm，第二加熱件之間的最大間距為40mm～80mm。

8、可選地，工藝腔體用于容置載片舟，沉積設(shè)備還包括輔熱組件，輔熱組件包括載片舟在第一方向的兩側(cè)設(shè)置的的第一輔熱組件和第二輔熱組件，第一輔熱組件包括在第二方向上間隔排列設(shè)置的至少兩個(gè)第一輔熱件，第二輔熱組件包括在第二方向上間隔排列設(shè)置的至少兩個(gè)第二輔熱件。

9、可選地，載片舟的底部還包括間隔設(shè)置的舟腳，所述第二輔熱件設(shè)置于所述載片舟底部的一側(cè)，第二輔熱件在載片舟的投影位于舟腳之間。

10、可選地，第一輔熱件之間的間距在50～70mm，第二輔熱件之間的間距在20～30mm。

11、可選地，至少兩個(gè)所述第一輔熱件在所述第一方向上的投影與至少兩個(gè)所述第二輔熱件在所述第一方向上的投影重合。

12、可選地，工藝腔體用于容置載片舟，工藝腔體具有容置區(qū)域，載片舟放置于容置區(qū)域；

13、在第一方向上，容置區(qū)域居中設(shè)置，容置區(qū)域在第一方向上的長度占第一加熱組件之間的間隔距離的比例小于3:4；

14、在第二方向上，容置區(qū)域居中設(shè)置，容置區(qū)域在第二方向上的長度占第二加熱組件之間的間隔距離的比例小于4:5。

15、本申請(qǐng)的有益效果是：載片舟一般是通過多個(gè)舟頁間隔設(shè)置的方式設(shè)置在工藝腔體內(nèi)。在舟頁之間的間隙所在的方向上，也即第一方向上由于沒有阻擋，熱傳導(dǎo)效率較高，而在舟頁的排列方向上，由于舟頁的阻擋，熱傳導(dǎo)效率較低。基于以上原因，通過設(shè)置產(chǎn)生加熱功率均勻的第一加熱組件在載片舟高度方向的相對(duì)兩側(cè)，能夠向載片舟內(nèi)相對(duì)均勻的傳導(dǎo)熱量。但在舟頁的排列方向上，也即第二方向上，載片舟內(nèi)以及第一加熱組件產(chǎn)生的熱量在載片舟的中部向第一方向上的兩側(cè)會(huì)因?yàn)樵絹碓娇拷吘墸岬乃俾蕰?huì)有所增加，表現(xiàn)在熱場當(dāng)中就是第一方向上中部的熱量高而兩側(cè)的熱量低。第二方向上，載片舟由于舟頁的阻擋，所以熱量的散失相對(duì)并不會(huì)過高，但第一方向上，第一加熱組件與載片舟之間的部分沒有阻擋，靠近邊緣部分熱量的散失相對(duì)較高。通過設(shè)置第二加熱組件能夠?qū)d片舟兩側(cè)散失的熱量進(jìn)行補(bǔ)償。其中，第二加熱組件加熱功率較低的中部能夠針對(duì)性對(duì)載片舟沿著第二方向散失的熱量進(jìn)行補(bǔ)償，第二加熱組件加熱功率較高的部分能夠?qū)Φ谝患訜峤M件與載片舟之間的部分進(jìn)行熱量補(bǔ)償，從而增加載片舟高度方向兩側(cè)熱量的均勻性，起到增加整體熱場均勻性的目的。

技術(shù)特征：

1.一種沉積設(shè)備，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的沉積設(shè)備，其特征在于：

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的沉積設(shè)備，其特征在于：

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的沉積設(shè)備，其特征在于：

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的沉積設(shè)備，其特征在于：

6.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的沉積設(shè)備，其特征在于：

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的沉積設(shè)備，其特征在于：

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的沉積設(shè)備，其特征在于：

9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的沉積設(shè)備，其特征在于：

10.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的沉積設(shè)備，其特征在于：

技術(shù)總結(jié)
本申請(qǐng)公開了沉積設(shè)備。沉積設(shè)備包括主體和加熱組件。主體具有工藝腔體。加熱組件包括設(shè)置第一加熱組件和第二加熱組件，第一加熱組件分別設(shè)置于主體第一方向上的相對(duì)兩側(cè)，第二加熱組件分別設(shè)置于主體不同于第一方向的第二方向的相對(duì)兩側(cè)。其中，第一加熱組件的加熱功率均勻分布；在第一方向上，第二加熱組件的中部的加熱功率小于第二加熱組件的兩側(cè)的加熱功率，第二加熱組件兩側(cè)的加熱功率小于或等于第一加熱組件的加熱功率。通過上述方式，本申請(qǐng)沉積設(shè)備能夠提供均勻的熱場。

技術(shù)研發(fā)人員：王亨,廖寶臣,李挺
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇微導(dǎo)納米科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/9