本發(fā)明涉及研磨拋光液回收設(shè)備，具體涉及一種研磨布渣回收網(wǎng)裝置。

背景技術(shù)：

1、由于研磨液要回收利用，所以回收管道一般位于研磨液低落的側(cè)下方，這樣可以最大程度有效回收且不會將雜質(zhì)帶入回收管路影響研磨液質(zhì)量。本機(jī)器由于空間太小，導(dǎo)致當(dāng)初設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)有缺陷，即回收管道位于研磨布而不是研磨液的正下方，這樣拋光后產(chǎn)生的拋光布渣、碎屑等會落入研磨液回收管道。

2、由于機(jī)器部件的設(shè)計(jì)位置，導(dǎo)致研磨工藝中存在研磨布渣和研磨液結(jié)晶會頻繁堵塞研磨液回收管道的問題,堵塞較多會導(dǎo)致研磨液無法回收或?qū)㈦s質(zhì)帶入研磨液（導(dǎo)致研磨液更換頻次加快，成本升高），直接后果導(dǎo)致機(jī)器報(bào)警停止生產(chǎn)，間接或?qū)⒂绊懏a(chǎn)品質(zhì)量。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明主要解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供了一種研磨布渣回收網(wǎng)裝置，其具有結(jié)構(gòu)簡單、效果好和運(yùn)行穩(wěn)定性高的優(yōu)點(diǎn)。解決了研磨布渣堵塞回收管道的問題。提高回收液的質(zhì)量，減少更換研磨液頻次。減少堵塞引起的頻繁報(bào)警維修。

2、本發(fā)明的上述技術(shù)問題主要是通過下述技術(shù)方案得以解決的：

3、一種研磨布渣回收網(wǎng)裝置，包括拋光機(jī)箱，所述的拋光機(jī)箱內(nèi)設(shè)有磨盤，所述的磨盤外圓上設(shè)有與磨盤相嵌套的拋光布，所述的拋光機(jī)箱下端設(shè)有與拋光機(jī)箱相連通的回收管，所述的回收管內(nèi)或上端設(shè)有回收過濾組件。

4、作為優(yōu)選，所述的回收過濾組件包括濾網(wǎng)片，所述的濾網(wǎng)片與回收管間設(shè)有隔網(wǎng)塞。

5、作為優(yōu)選，所述的回收過濾組件包括漏液套，所述的漏液套下端設(shè)有與漏液套呈一體化嵌套的底網(wǎng)板。

6、作為優(yōu)選，所述的漏液套上端設(shè)有濾網(wǎng)盤，所述的濾網(wǎng)盤上設(shè)有若干呈陣列式分布的過濾槽孔。

7、作為優(yōu)選，所述的濾網(wǎng)盤與底網(wǎng)板間設(shè)有活動封蓋，所述的活動封蓋包括封蓋安裝環(huán)，所述的封蓋安裝環(huán)上設(shè)有固定扇形板，所述的固定扇形板下端設(shè)有活動扇形板，所述的活動扇形板與固定扇形板間設(shè)有轉(zhuǎn)軸桿。

8、作為優(yōu)選，所述的活動扇形板上端設(shè)有延伸出濾網(wǎng)盤的撥桿，所述的濾網(wǎng)盤上設(shè)有與撥桿相滑動式貫穿套接限位的限位槽。當(dāng)拋光機(jī)箱需要蓄水清理時(shí)，可以通過撥桿撥動活動扇形板與固定扇形板閉合。

9、作為優(yōu)選，所述的活動封蓋與底網(wǎng)板間設(shè)有開口朝下呈半球狀的球罩濾網(wǎng)。由于回收的拋光液溫度高，回收時(shí)的水汽容易反噬，通過球罩濾網(wǎng)進(jìn)行過濾的同時(shí)防止回收的拋光液水汽反沖壓堵塞回收管。

10、本發(fā)明能夠達(dá)到如下效果：

11、本發(fā)明提供了一種研磨布渣回收網(wǎng)裝置，與現(xiàn)有技術(shù)相比較，具有結(jié)構(gòu)簡單、效果好和運(yùn)行穩(wěn)定性高的優(yōu)點(diǎn)。解決了研磨布渣堵塞回收管道的問題。提高回收液的質(zhì)量，減少更換研磨液頻次。減少堵塞引起的頻繁報(bào)警維修。

技術(shù)特征：

1.一種研磨布渣回收網(wǎng)裝置，包括拋光機(jī)箱（1），所述的拋光機(jī)箱（1）內(nèi)設(shè)有磨盤（2），所述的磨盤（2）外圓上設(shè)有與磨盤（2）相嵌套的拋光布（3），其特征在于：所述的拋光機(jī)箱（1）下端設(shè)有與拋光機(jī)箱（1）相連通的回收管（4），所述的回收管（4）內(nèi)或上端設(shè)有回收過濾組件（5）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨布渣回收網(wǎng)裝置，其特征在于：所述的回收過濾組件（5）包括濾網(wǎng)片（6），所述的濾網(wǎng)片（6）與回收管（4）間設(shè)有隔網(wǎng)塞（7）。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨布渣回收網(wǎng)裝置，其特征在于：所述的回收過濾組件（5）包括漏液套（8），所述的漏液套（8）下端設(shè)有與漏液套（8）呈一體化嵌套的底網(wǎng)板（12）。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的研磨布渣回收網(wǎng)裝置，其特征在于：所述的漏液套（8）上端設(shè)有濾網(wǎng)盤（9），所述的濾網(wǎng)盤（9）上設(shè)有若干呈陣列式分布的過濾槽孔（14）。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的研磨布渣回收網(wǎng)裝置，其特征在于：所述的濾網(wǎng)盤（9）與底網(wǎng)板（12）間設(shè)有活動封蓋（10），所述的活動封蓋（10）包括封蓋安裝環(huán)（15），所述的封蓋安裝環(huán)（15）上設(shè)有固定扇形板（19），所述的固定扇形板（19）下端設(shè)有活動扇形板（16），所述的活動扇形板（16）與固定扇形板（19）間設(shè)有轉(zhuǎn)軸桿（18）。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的研磨布渣回收網(wǎng)裝置，其特征在于：所述的活動扇形板（16）上端設(shè)有延伸出濾網(wǎng)盤（9）的撥桿（17），所述的濾網(wǎng)盤（9）上設(shè)有與撥桿（17）相滑動式貫穿套接限位的限位槽（13）。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的研磨布渣回收網(wǎng)裝置，其特征在于：所述的活動封蓋（10）與底網(wǎng)板（12）間設(shè)有開口朝下呈半球狀的球罩濾網(wǎng)（11）。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及一種研磨布渣回收網(wǎng)裝置，所屬研磨拋光液回收設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，包括拋光機(jī)箱，所述的拋光機(jī)箱內(nèi)設(shè)有磨盤，所述的磨盤外圓上設(shè)有與磨盤相嵌套的拋光布，所述的拋光機(jī)箱下端設(shè)有與拋光機(jī)箱相連通的回收管，所述的回收管內(nèi)或上端設(shè)有回收過濾組件。所述的回收過濾組件包括濾網(wǎng)片，所述的濾網(wǎng)片與回收管間設(shè)有隔網(wǎng)塞。具有結(jié)構(gòu)簡單、效果好和運(yùn)行穩(wěn)定性高的優(yōu)點(diǎn)。解決了研磨布渣堵塞回收管道的問題。提高回收液的質(zhì)量，減少更換研磨液頻次。減少堵塞引起的頻繁報(bào)警維修。

技術(shù)研發(fā)人員：萬琨
受保護(hù)的技術(shù)使用者：杭州中欣晶圓半導(dǎo)體股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/6