本發(fā)明涉及真空鍍膜，具體為一種可提高鍍膜純度的真空鍍膜機(jī)。

背景技術(shù)：

1、真空鍍膜機(jī)是在真空狀態(tài)下對(duì)晶圓表面進(jìn)行鍍膜的設(shè)備，從而可提高晶圓的產(chǎn)品性能，目前市場(chǎng)上的真空鍍膜機(jī)在使用時(shí)還存在一些問題，比如：

2、現(xiàn)有技術(shù)中申請(qǐng)?zhí)枮椤癱n201310209692.6”所公開的專利名稱為“一種具有雙旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的oled鍍膜機(jī)”，其公開了法蘭盤和中軸與設(shè)置在真空室頂部內(nèi)的旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)動(dòng)力系統(tǒng)連接，獲得動(dòng)力旋轉(zhuǎn)，從而帶動(dòng)三只小旋轉(zhuǎn)鍋形支架同步旋轉(zhuǎn)，即工件支架的同步“公轉(zhuǎn)”；在三支支撐臂上各自還設(shè)置有同一設(shè)計(jì)的傳動(dòng)軸桿，軸桿兩端分別設(shè)置有錐齒輪和蝸輪，錐齒輪與法蘭盤中軸上的驅(qū)動(dòng)齒輪嚙合獲得旋轉(zhuǎn)動(dòng)力，使得三只小旋轉(zhuǎn)鍋形支架在“公轉(zhuǎn)”時(shí)“自轉(zhuǎn)”；通過改變蝸桿上螺紋和蝸輪螺紋方向，可實(shí)現(xiàn)鍋形支架逆時(shí)針或順時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，另一套由位于真空室中下部沿其內(nèi)圓周邊設(shè)置的旋轉(zhuǎn)筒形支架組成，特征是由三支支撐臂末端延伸支撐桿用螺桿螺母與旋轉(zhuǎn)筒形支架牢固連接，即旋轉(zhuǎn)筒形支架是懸掛在支撐臂組成的整個(gè)支撐架上，與三只小旋轉(zhuǎn)鍋形支架同步旋轉(zhuǎn)。

3、現(xiàn)有技術(shù)中申請(qǐng)?zhí)枮椤癱n201910747796.x”所公開的專利名稱為“一種圓鍋夾具與一種鍍膜裝置”，其公開了圓鍋夾具本體在圓鍋夾具軌道上進(jìn)行公轉(zhuǎn)的同時(shí)，還能夠繞著所述圓鍋夾具軸承進(jìn)行自轉(zhuǎn)，形成行星旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，公轉(zhuǎn)方向與自轉(zhuǎn)方向恰好相反，通過圓鍋夾具本體的公轉(zhuǎn)、自轉(zhuǎn)以及晶圓夾具的自轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，能夠大幅提高晶圓鍍膜的均勻性，所述圓鍋夾具本體能夠通過所述行星旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)所述的四個(gè)晶圓夾具繞所述晶圓夾具軸承進(jìn)行與所述圓鍋夾具本體旋轉(zhuǎn)方向相反的自轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，行星旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)包括中心齒輪與從動(dòng)齒輪，所述四個(gè)從動(dòng)齒輪與所述中心齒輪以嚙合的方式傳動(dòng)接觸，以實(shí)現(xiàn)所述中心齒輪旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)，帶動(dòng)所述從動(dòng)齒輪旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。

4、上述現(xiàn)有技術(shù)中的真空鍍膜機(jī)在使用時(shí)，是通過行星旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)中的中心齒輪與從動(dòng)齒輪的嚙合方式傳動(dòng)接觸，來使得中心齒輪旋轉(zhuǎn)時(shí)帶動(dòng)從動(dòng)齒輪進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，但是這樣長時(shí)間使用，會(huì)使得中心齒輪的齒面與從動(dòng)齒輪的齒面接觸而產(chǎn)生摩擦，在摩擦的過程中會(huì)產(chǎn)生金屬粉塵顆粒物，這些金屬粉塵顆粒貨物會(huì)向下落入到鍍膜腔室內(nèi)，這樣會(huì)影響鍍膜腔室內(nèi)的潔凈度，從而會(huì)影響鍍膜的純度以及產(chǎn)品的性能。

5、所以我們提出了一種可提高鍍膜純度的真空鍍膜機(jī)，以便于解決上述中提出的問題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種可提高鍍膜純度的真空鍍膜機(jī)，以解決上述背景技術(shù)提出的目前市場(chǎng)上的真空鍍膜機(jī)的中心齒輪的齒面與從動(dòng)齒輪的齒面接觸而產(chǎn)生摩擦，在摩擦的過程中會(huì)產(chǎn)生金屬粉塵顆粒物，這些金屬粉塵顆粒貨物會(huì)向下落入到鍍膜腔室內(nèi)，這樣會(huì)影響鍍膜腔室內(nèi)的潔凈度，從而會(huì)影響鍍膜的純度以及產(chǎn)品的性能的問題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種可提高鍍膜純度的真空鍍膜機(jī)，包括承載架，以及安裝在承載架內(nèi)的鍍膜腔體，鍍膜腔體呈倒圓錐形狀結(jié)構(gòu)設(shè)置；

3、所述鍍膜腔體的上方中部位置貫穿安裝有旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)桿，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)桿的下端外側(cè)通過三組第二支撐臂與三組主安裝桿相連接，主安裝桿下端的安裝載具通過卡接組件與鍍鍋本體上方的鍍鍋安裝桿相連接；

4、主安裝桿的上方安裝有無接觸式傳動(dòng)組件，避免接觸而產(chǎn)生摩擦；

5、承載架的下方內(nèi)部通過旋轉(zhuǎn)升降控制機(jī)構(gòu)與蒸發(fā)源載臺(tái)相連接，蒸發(fā)源載臺(tái)內(nèi)安裝有坩堝蒸發(fā)源和蒸發(fā)源擋板，坩堝蒸發(fā)源的上方設(shè)置有蒸發(fā)源擋板。

6、優(yōu)選的，所述鍍膜腔體的左側(cè)對(duì)稱安裝有兩組通道，兩組通道的左端均安裝有第一閘板閥，第一閘板閥的左側(cè)固定有第一低溫泵；

7、鍍膜腔體的下方安裝有第二閘板閥，第二閘板閥的右側(cè)下方對(duì)應(yīng)設(shè)置有蒸發(fā)源載臺(tái)；

8、第二閘板閥的左側(cè)下方內(nèi)部開設(shè)有中空夾層槽，第二閘板閥的左側(cè)下方連通有第三閘板閥，第三閘板閥的下方安裝有第二低溫泵；

9、鍍膜腔體的右側(cè)安裝有門框，門框的內(nèi)部設(shè)置有開合門，開合門的內(nèi)部安裝有觀察窗口，開合門與鍍膜腔體的右側(cè)面貼合密封連接；

10、第一閘板閥、第一低溫泵、第二閘板閥、第三閘板閥和第二低溫泵均與承載架相連接。

11、優(yōu)選的，所述第二支撐臂靠近主安裝桿的一端外側(cè)安裝有軸承座，軸承座內(nèi)貫穿安裝有主安裝桿，軸承座的下方設(shè)置有安裝載具；

12、無接觸式傳動(dòng)組件包括安裝在主安裝桿上方外側(cè)的小齒輪，無接觸式傳動(dòng)組件還包括安裝在鍍膜腔體上方內(nèi)壁處的大齒輪，大齒輪的外側(cè)不接觸式設(shè)置有三組小齒輪；

13、大齒輪的外側(cè)和小齒輪的外側(cè)均通過螺釘安裝有輪齒；

14、大齒輪外側(cè)的輪齒與小齒輪外側(cè)的輪齒均為磁鐵材質(zhì)，且大齒輪外側(cè)的輪齒與小齒輪外側(cè)的輪齒均具有相同磁極的磁性，小齒輪在大齒輪的外側(cè)進(jìn)行不接觸式的公轉(zhuǎn)和自轉(zhuǎn)。

15、優(yōu)選的，三個(gè)所述鍍鍋本體的球心與坩堝蒸發(fā)源的位置相重合。

16、優(yōu)選的，所述安裝載具呈“u”形狀結(jié)構(gòu)設(shè)置，且安裝載具的底面內(nèi)部開設(shè)有放置槽，放置槽與鍍鍋安裝桿的上端凹凸配合，安裝載具的外側(cè)面對(duì)稱開設(shè)有通孔；

17、鍍鍋本體上安裝有把手。

18、優(yōu)選的，所述卡接組件包括貫穿安裝在通孔內(nèi)的頂針，頂針的外側(cè)嵌套連接有壓縮彈簧，鍍鍋安裝桿的上端呈矩形狀設(shè)置，鍍鍋安裝桿的上端兩側(cè)面呈傾斜狀設(shè)置，鍍鍋安裝桿的上端兩側(cè)面上貼合設(shè)置有頂針的內(nèi)端，鍍鍋安裝桿上端傾斜面的最低點(diǎn)低于頂針的最低點(diǎn)；

19、頂針的外端與撥桿相連接。

20、優(yōu)選的，所述旋轉(zhuǎn)升降控制機(jī)構(gòu)包括安裝在蒸發(fā)源載臺(tái)底面的第一支撐臂，第一支撐臂的另一端固定有連接套管，連接套管的下方內(nèi)部安裝有限位柱；

21、連接套管內(nèi)貫穿設(shè)置有豎桿，豎桿的內(nèi)部開設(shè)有限位槽，限位槽內(nèi)貫穿設(shè)置有限位柱；

22、連接套管的外側(cè)設(shè)置有升降控制架，升降控制架內(nèi)貫穿設(shè)置有豎桿。

23、優(yōu)選的，所述升降控制架的右側(cè)呈“u”形狀結(jié)構(gòu)設(shè)置，升降控制架的左側(cè)下方與承載架下方內(nèi)的電動(dòng)推桿相連接；

24、豎桿的底端與承載架下方內(nèi)的電機(jī)相連接；

25、連接套管通過升降控制架與豎桿構(gòu)成升降結(jié)構(gòu)，連接套管與豎桿同步旋轉(zhuǎn)。

26、優(yōu)選的，所述卡接組件包括對(duì)稱貫穿安裝在鍍鍋安裝桿上端外側(cè)的卡接柱，卡接柱的內(nèi)端外側(cè)嵌套連接有復(fù)位彈簧；

27、鍍鍋安裝桿的上方內(nèi)部開槽安裝有呈圓錐形狀結(jié)構(gòu)的調(diào)控塊，調(diào)控塊的下方通過調(diào)節(jié)彈簧與鍍鍋安裝桿的內(nèi)部相連接；

28、調(diào)控塊的外側(cè)貼合設(shè)置有卡接柱的內(nèi)端，卡接柱通過調(diào)控塊的升降與鍍鍋安裝桿構(gòu)成滑動(dòng)結(jié)構(gòu)，卡接柱的外端插入到通孔內(nèi)；

29、鍍鍋安裝桿的最高點(diǎn)高于通孔的最高點(diǎn)。

30、優(yōu)選的，所述鍍鍋本體上方的其中一個(gè)把手內(nèi)開設(shè)有滑動(dòng)槽，滑動(dòng)槽內(nèi)貫穿連接有滑動(dòng)桿，滑動(dòng)桿中部的直徑小于兩端的直徑，滑動(dòng)桿兩端的直徑大于滑動(dòng)槽的高度；

31、滑動(dòng)桿的一側(cè)面與連接繩的一端相連接，連接繩的另一端貫穿把手和鍍鍋安裝桿后通過導(dǎo)向輪與調(diào)控塊的底面相連接。

32、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：該可提高鍍膜純度的真空鍍膜機(jī)，通過無接觸式傳動(dòng)組件可提高鍍膜區(qū)域的潔凈度，因此可進(jìn)一步的提高鍍膜的純度和產(chǎn)品性能，通過中空夾層槽的設(shè)置，可降低壓差產(chǎn)生的氣流，避免微小的粉塵顆粒被揚(yáng)起而影響成膜的純度與附著力，從而可進(jìn)一步的提高鍍膜區(qū)域的潔凈度，進(jìn)一步提高鍍膜純度，其具體內(nèi)容如下：

33、無接觸式傳動(dòng)組件內(nèi)的大齒輪外側(cè)的輪齒具有相同磁極的磁性，小齒輪外側(cè)的輪齒具有相同磁極的磁性，大齒輪外側(cè)的輪齒的磁性與小齒輪外側(cè)的輪齒的磁性相同，因此通過同名磁極相斥的原理，使得大齒輪和小齒輪可無接觸式的進(jìn)行旋轉(zhuǎn)工作，從而可避免大齒輪外側(cè)的輪齒和小齒輪外側(cè)的輪齒的齒面直接接觸而產(chǎn)生磨損，因此可避免在磨損過程中產(chǎn)生金屬粉塵顆粒物以及顆粒物掉落，從而可提高鍍膜區(qū)域的潔凈度，因此可進(jìn)一步的提高鍍膜的純度和產(chǎn)品性能；

34、大齒輪和小齒輪的磁場(chǎng)最大影響到的范圍只到把手的位置處，不會(huì)到鍍鍋本體的位置處，因此不會(huì)影響鍍膜工作；

35、通過中空夾層槽的設(shè)置，使得第二低溫泵可與蒸發(fā)源區(qū)域相連通，使得在上部分鍍膜區(qū)與蒸發(fā)源區(qū)域的第二閘板閥打開時(shí)，可降低壓差產(chǎn)生的氣流，避免微小的粉塵顆粒被揚(yáng)起而影響成膜的純度與附著力，從而可進(jìn)一步的提高鍍膜區(qū)域的潔凈度，不僅提高了鍍膜的純度，還提高了鍍膜的質(zhì)量。

36、（2）通過兩個(gè)第一閘板閥的使用，可將僅需要的區(qū)域回到大氣壓狀態(tài)，因此可進(jìn)行分區(qū)域分別控制，進(jìn)而可縮短每次抽真空所花費(fèi)的時(shí)間，從而提升了整個(gè)真空鍍膜機(jī)的使用效率；

37、鍍膜腔體呈倒圓錐形狀設(shè)置，繼而可減少鍍膜腔體與鍍鍋本體之間的空間，從而可減少鍍鍋本體的非使用蒸發(fā)范圍內(nèi)的空間，繼而可進(jìn)一步的縮短抽真空的時(shí)間，從而可進(jìn)一步的提升真空鍍膜機(jī)的使用效率。

38、（3）通過旋轉(zhuǎn)升降控制機(jī)構(gòu)可將蒸發(fā)源載臺(tái)旋轉(zhuǎn)到承載架的外側(cè)，因此便于對(duì)坩堝蒸發(fā)源進(jìn)行添加材料、維修以及保養(yǎng)等操作，將第二低溫泵與第三閘板閥之間配合使用安裝，無需將第二低溫泵直接與蒸發(fā)源載臺(tái)相連接，因此可避免第二低溫泵自身重力對(duì)蒸發(fā)源載臺(tái)的第一支撐臂產(chǎn)生較大的重力負(fù)載，便于對(duì)第一支撐臂進(jìn)行保護(hù)。

39、（4）通過卡接組件的設(shè)置，便于將安裝載具與鍍鍋安裝桿之間進(jìn)行安裝和拆卸，由此便于對(duì)鍍鍋本體進(jìn)行安裝和拆卸工作，操作便捷；

40、卡接組件包括頂針和撥桿，只需向外拉動(dòng)撥桿，使得撥桿帶動(dòng)頂針向外移動(dòng)，即可使得頂針與鍍鍋安裝桿的上表面的斜面分離，繼而便于將鍍鍋安裝桿與安裝載具分離；

41、卡接組件包括卡接柱和調(diào)控塊，只需將滑動(dòng)桿和把手一同握住，使得滑動(dòng)桿對(duì)連接繩拉動(dòng)，繼而使得連接繩將調(diào)控塊向下拉動(dòng)，由此使得卡接柱通過復(fù)位彈簧的蓄力反向移動(dòng)復(fù)位，使得卡接柱與通孔分離，由此可將鍍鍋安裝桿與安裝載具分離，操作便捷，無需使用雙手操作。