本發(fā)明涉及蒸鍍，尤其涉及一種用于晶圓的auge12合金金屬蒸鍍方法。

背景技術(shù)：

1、化合物半導(dǎo)體hbt、phemt制程在晶圓上通常使用金屬層auge12/ni/au這三層金屬作為三極管集電極的金屬電極，而在auge12合金金屬蒸鍍時(shí)會(huì)產(chǎn)生較多顆粒，這些顆粒對(duì)產(chǎn)品良率會(huì)造成一定的影響，如短路、漏電等等以及外觀造成不良影響,?因此需要一種方法來(lái)降低auge12合金金屬蒸鍍顆粒。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提供了一種用于晶圓的auge12合金金屬蒸鍍方法。

2、本發(fā)明采用以下技術(shù)方案：一種用于晶圓的auge12合金金屬蒸鍍方法，所述方法包括：

3、步驟一、對(duì)預(yù)準(zhǔn)備的襯套進(jìn)行高溫清潔，于所述襯套內(nèi)加入第一質(zhì)量的auge12合金材料；

4、步驟二、將所述襯套置于蒸鍍機(jī)的坩堝內(nèi)的石墨墊片上，對(duì)所述蒸鍍機(jī)抽真空至第一預(yù)設(shè)真空度，根據(jù)所述蒸鍍機(jī)內(nèi)的電子槍對(duì)所述auge12合金材料進(jìn)行初次預(yù)融，待所述蒸鍍機(jī)冷卻至室溫將所述襯套取出；

5、步驟三、于所述襯套內(nèi)加入第二質(zhì)量的所述auge12合金材料，以使所述襯套內(nèi)的所述auge12合金材料達(dá)到目標(biāo)質(zhì)量，其中，當(dāng)所述auge12合金材料占所述襯套容積4/5時(shí)的質(zhì)量為所述目標(biāo)質(zhì)量；

6、步驟四、將所述襯套置于所述蒸鍍機(jī)的坩堝內(nèi)的石墨墊片上，對(duì)所述蒸鍍機(jī)抽真空至第二預(yù)設(shè)真空度，根據(jù)所述電子槍對(duì)所述auge12合金材料進(jìn)行二次預(yù)融，待所述蒸鍍機(jī)冷卻至室溫將所述襯套取出；

7、步驟五、于所述襯套內(nèi)加入所述auge12合金材料，以使所述襯套內(nèi)的所述auge12合金材料恢復(fù)至所述目標(biāo)質(zhì)量；

8、步驟六、將待蒸鍍的晶圓置于所述蒸鍍機(jī)內(nèi)，并將所述襯套置于所述蒸鍍機(jī)的坩堝內(nèi)的石墨墊片上，對(duì)所述蒸鍍機(jī)抽真空至第三預(yù)設(shè)真空度，根據(jù)所述電子槍對(duì)所述auge12合金材料進(jìn)行三次預(yù)融，而后開(kāi)始蒸鍍，蒸鍍速率為0.1?/s～0.3?/s，直至蒸鍍至預(yù)設(shè)的厚度為止，待所述蒸鍍機(jī)冷卻至室溫將所述襯套及所述晶圓取出；

9、步驟七、重復(fù)執(zhí)行步驟五至步驟六，以循環(huán)利用所述襯套內(nèi)的所述auge12合金材料，完成對(duì)多批次晶圓的auge12合金金屬蒸鍍。

10、本發(fā)明一實(shí)施例的用于晶圓的auge12合金金屬蒸鍍方法，通過(guò)對(duì)襯套進(jìn)行預(yù)清潔處理，以去除襯套保護(hù)油膜引起的污染；并通過(guò)分批次于襯套內(nèi)添加auge12合金材料，采用初次預(yù)融和二次預(yù)融對(duì)auge12合金材料進(jìn)行除雜，可有效將auge12合金材料內(nèi)的碳雜質(zhì)及表面的顆粒蒸發(fā)掉，提高襯套內(nèi)的auge12合金材料的純度，由于碳雜質(zhì)的蒸發(fā)，二次預(yù)融后襯套內(nèi)的auge12合金材料會(huì)低于目標(biāo)質(zhì)量，因此在進(jìn)行蒸鍍前需要再次布料，并進(jìn)行三次預(yù)融，以使襯套內(nèi)的液態(tài)的auge12合金材料占襯套容積的4/5，此狀態(tài)能夠保證auge12合金材料蒸鍍效果最佳，在蒸鍍時(shí)使用特定蒸鍍速率，使auge12合金材料蒸鍍較佳比例且不影響電性能，有效的減少了晶圓表面顆粒的產(chǎn)生，提高了成品產(chǎn)品的良率。

11、進(jìn)一步的，對(duì)預(yù)準(zhǔn)備的襯套進(jìn)行高溫清潔的步驟具體包括：

12、將預(yù)準(zhǔn)備的襯套置于蒸鍍機(jī)的坩堝內(nèi)的石墨墊片上，設(shè)定真空度1ⅹ10-6torr～5ⅹ10-6torr；

13、依次將所述電子槍的功率調(diào)至80w、160w、240w、320w及400w，并在80w時(shí)對(duì)所述襯套持續(xù)加熱10min～15min，在160w時(shí)對(duì)所述襯套持續(xù)加熱10min～15min，在240w時(shí)對(duì)所述襯套持續(xù)加熱1min～2min，在320w時(shí)對(duì)所述襯套持續(xù)加熱1min～2min，在400w時(shí)對(duì)所述襯套加熱至整個(gè)所述襯套成紅色，保持1min，關(guān)掉所述電子槍?zhuān)鋮s至室溫后取出所述襯套。

14、進(jìn)一步的，所述第一質(zhì)量為所述目標(biāo)質(zhì)量的一半。

15、進(jìn)一步的，所述第一預(yù)設(shè)真空度為5ⅹ10-7torr～1ⅹ10-6torr。

16、進(jìn)一步的，根據(jù)所述蒸鍍機(jī)內(nèi)的電子槍對(duì)所述auge12合金材料進(jìn)行初次預(yù)融的步驟具體包括：

17、將所述電子槍的功率調(diào)至350w～450w對(duì)所述auge12合金材料進(jìn)行加熱，持續(xù)10min～15min；

18、將所述電子槍的功率調(diào)至750w～850w對(duì)所述auge12合金材料進(jìn)行加熱，持續(xù)5min～10min；

19、將所述電子槍的功率調(diào)至1100w～1300w對(duì)所述auge12合金材料進(jìn)行加熱，持續(xù)3min～8min。

20、進(jìn)一步的，所述第二預(yù)設(shè)真空度為5ⅹ10-7torr～1ⅹ10-6torr。

21、進(jìn)一步的，根據(jù)所述電子槍對(duì)所述auge12合金材料進(jìn)行二次預(yù)融的步驟具體包括：

22、將所述電子槍的功率調(diào)至350w～450w對(duì)所述auge12合金材料進(jìn)行加熱，持續(xù)10min～15min；

23、將所述電子槍的功率調(diào)至750w～850w對(duì)所述auge12合金材料進(jìn)行加熱，持續(xù)5min～10min；

24、將所述電子槍的功率調(diào)至1200w～1400w對(duì)所述auge12合金材料進(jìn)行加熱，持續(xù)3min～8min。

25、進(jìn)一步的，所述第三預(yù)設(shè)真空度為1ⅹ10-7torr～5ⅹ10-7torr。

26、進(jìn)一步的，根據(jù)所述電子槍對(duì)所述auge12合金材料進(jìn)行三次預(yù)融的步驟具體包括：

27、將所述電子槍的功率調(diào)至600w～800w對(duì)所述auge12合金材料進(jìn)行加熱，持續(xù)3min～4min；

28、將所述電子槍的功率調(diào)至1000w～1200w對(duì)所述auge12合金材料進(jìn)行加熱，持續(xù)2min～3min；

29、將所述電子槍的功率調(diào)至1400w～1600w對(duì)所述auge12合金材料進(jìn)行加熱，持續(xù)1min～2min。

30、進(jìn)一步的，在所述將待蒸鍍的晶圓置于所述蒸鍍機(jī)內(nèi)的步驟之前，采用預(yù)設(shè)的遮擋板將所述坩堝遮擋，并在所述三次預(yù)融后將所述遮擋板移除。

技術(shù)特征：

1.一種用于晶圓的auge12合金金屬蒸鍍方法，其特征在于，所述方法包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓的auge12合金金屬蒸鍍方法，其特征在于，對(duì)預(yù)準(zhǔn)備的襯套進(jìn)行高溫清潔的步驟具體包括：

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓的auge12合金金屬蒸鍍方法，其特征在于，所述第一質(zhì)量為所述目標(biāo)質(zhì)量的一半。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓的auge12合金金屬蒸鍍方法，其特征在于，所述第一預(yù)設(shè)真空度為5ⅹ10-7torr～1ⅹ10-6torr。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓的auge12合金金屬蒸鍍方法，其特征在于，根據(jù)所述蒸鍍機(jī)內(nèi)的電子槍對(duì)所述auge12合金材料進(jìn)行初次預(yù)融的步驟具體包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓的auge12合金金屬蒸鍍方法，其特征在于，所述第二預(yù)設(shè)真空度為5ⅹ10-7torr～1ⅹ10-6torr。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓的auge12合金金屬蒸鍍方法，其特征在于，根據(jù)所述電子槍對(duì)所述auge12合金材料進(jìn)行二次預(yù)融的步驟具體包括：

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓的auge12合金金屬蒸鍍方法，其特征在于，所述第三預(yù)設(shè)真空度為1ⅹ10-7torr～5ⅹ10-7torr。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓的auge12合金金屬蒸鍍方法，其特征在于，根據(jù)所述電子槍對(duì)所述auge12合金材料進(jìn)行三次預(yù)融的步驟具體包括：

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于晶圓的auge12合金金屬蒸鍍方法，其特征在于，在所述將待蒸鍍的晶圓置于所述蒸鍍機(jī)內(nèi)的步驟之前，采用預(yù)設(shè)的遮擋板將所述坩堝遮擋，并在所述三次預(yù)融后將所述遮擋板移除。

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及蒸鍍技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于晶圓的AuGe12合金金屬蒸鍍方法，方法包括：對(duì)預(yù)準(zhǔn)備的襯套進(jìn)行高溫清潔，于襯套內(nèi)加入第一質(zhì)量的AuGe12合金材料；對(duì)AuGe12合金材料進(jìn)行初次預(yù)融；于襯套內(nèi)加入第二質(zhì)量的AuGe12合金材料，以使襯套內(nèi)的AuGe12合金材料達(dá)到目標(biāo)質(zhì)量；對(duì)AuGe12合金材料進(jìn)行二次預(yù)融；于襯套內(nèi)加入AuGe12合金材料，以使襯套內(nèi)的AuGe12合金材料恢復(fù)至目標(biāo)質(zhì)量；對(duì)AuGe12合金材料進(jìn)行三次預(yù)融，而后開(kāi)始蒸鍍，蒸鍍速率為0.1?/s～0.3?/s，直至蒸鍍至預(yù)設(shè)的厚度為止。本發(fā)明有效的減少了晶圓表面顆粒的產(chǎn)生，提高了成品產(chǎn)品的良率。

技術(shù)研發(fā)人員：茆同海,侯漢成,劉坤明,宋嘉銘
受保護(hù)的技術(shù)使用者：華通芯電（南昌）電子科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2025/1/2