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一種離子束拋光裝置的制作方法

文檔序號:40592977發(fā)布日期:2025-01-07 20:33閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種離子束拋光裝置,其特征在于,包括:

2.根據(jù)權利要求1所述的一種離子束拋光裝置,其特征在于,所述拋光裝置還包括面形檢測機構(5),所述面形檢測機構(5)包括第一檢測裝置(501)和第二檢測裝置(502),所述第一檢測裝置(501)設置在所述安裝空間的頂部,所述第二檢測裝置(502)設置在所述安裝空間的底部,所述第一檢測裝置(501)用于檢測所述夾持機構(4)上放置的透鏡的頂面,所述第二檢測裝置(502)用于檢測所述夾持機構(4)上放置的透鏡的底面。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種離子束拋光裝置,其特征在于,所述真空箱(1)包括箱體(101)和門板(102),所述箱體(101)的正面設有第一開孔,所述第一開孔連通所述安裝空間,所述門板(102)用于開啟或關閉所述第一開孔,所述門板(102)上設有觀察窗(103)。

4.根據(jù)權利要求3所述的一種離子束拋光裝置,其特征在于,所述第一拋光機構(2)包括第一導軌(201)、第一移動裝置(202)、第二導軌(203)、第二移動裝置(204)、第三導軌(205)、第三移動裝置(206)和第一底座(207),所述第一導軌(201)設置在所述箱體(101)的內頂面,所述第一移動裝置(202)與所述第一導軌(201)滑動連接,所述第二導軌(203)豎直固定在所述第一移動裝置(202)上,所述第二移動裝置(204)與所述第二導軌(203)滑動連接,所述第三導軌(205)設置在所述第二移動裝置(204)上,所述第三導軌(205)與所述第二導軌(203)垂直設置,所述第三移動裝置(206)與所述第三導軌(205)滑動連接,所述第一底座(207)設置在所述第三移動裝置(206)上,所述第一底座(207)用于固定第一離子源。

5.根據(jù)權利要求3所述的一種離子束拋光裝置,其特征在于,所述第二拋光機構(3)包括第四導軌(301)、第四移動裝置(302)、第五導軌(303)、第五移動裝置(304)、第六導軌(305)、第六移動裝置(306)和第二底座(307),所述第四導軌(301)設置在所述箱體(101)的內底面,所述第四移動裝置(302)與所述第四導軌(301)滑動連接,所述第五導軌(303)豎直固定在所述第四移動裝置(302)上,所述第五移動裝置(304)與所述第五導軌(303)滑動連接,所述第六導軌(305)設置在所述第五移動裝置(304)上,所述第五導軌(303)與所述第四導軌(301)垂直設置,所述第六移動裝置(306)與所述第六導軌(305)滑動連接,所述第二底座(307)設置在所述第六移動裝置(306)上,所述第二底座(307)用于固定第二離子源。

6.根據(jù)權利要求1所述的一種離子束拋光裝置,其特征在于,所述夾具(405)包括弧形板(406)和防滑膠條(407),所述弧形板(406)的外側與所述伸縮桿(404)的活動端固定連接,所述弧形板(406)的內側設有卡槽,所述卡槽與所述防滑膠條(407)相匹配,所述防滑膠條(407)卡設在所述卡槽中。

7.根據(jù)權利要求6所述的一種離子束拋光裝置,其特征在于,所述固定組件(402)包括兩個驅動裝置,每個所述驅動裝置包括電機(408)、螺桿(409)、第七導軌(410)、滑塊(411)和支撐桿(412),所述第七導軌(410)沿箱體(101)的深度方向設置在所述箱體(101)的內底面,所述支撐桿(412)豎直固定在所述滑塊(411)上,所述升降套筒(403)一一對應地套設在所述支撐桿(412)上,所述升降套筒(403)與所述支撐桿(412)滑動連接,所述滑塊(411)與所述第七導軌(410)滑動連接,所述滑塊(411)上設有第一螺紋孔,所述螺桿(409)與所述第一螺紋孔螺紋連接,所述電機(408)的輸出軸與所述螺桿(409)固定連接,所述滑塊(411)通過電機(408)驅動沿所述第七導軌(410)往復運動。

8.根據(jù)權利要求7所述的一種離子束拋光裝置,其特征在于,所述升降套筒(403)側壁上設有第二螺紋孔,所述第二螺紋孔上設有鎖緊螺釘(413),所述鎖緊螺釘(413)的一端穿過所述第二螺紋孔與所述支撐桿(412)相抵。


技術總結
本發(fā)明涉及離子束拋光設備技術領域,特別是一種離子束拋光裝置,其包括真空箱、第一拋光機構、第二拋光機構和夾持機構,真空箱內設有安裝空間,第二拋光機構與第一拋光機構對稱設置在安裝空間中,所述夾持機構包括夾緊組件和固定組件,固定組件設置在真空箱的內底面,夾緊組件包括兩個升降套筒、兩個伸縮桿和兩個夾具,升降套筒與固定組件滑動連接使得升降套筒上下調節(jié),伸縮桿連接升降套筒和夾具,夾具用于固定透鏡。本發(fā)明可以在一個真空環(huán)境中完成透鏡的雙面拋光作業(yè),減少了翻轉透鏡和重新抽真空的次數(shù),從而顯著提高了拋光效率,夾緊組件和固定組件互相配合,確保了整個夾緊過程的穩(wěn)定性和可重復性。

技術研發(fā)人員:黃賀,張瀛懷,房圣桃,李鑫,梁棋翔,張健,葉銘堃
受保護的技術使用者:季華實驗室
技術研發(fā)日:
技術公布日:2025/1/6
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