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NiP改性反射鏡的超光滑拋光加工方法

文檔序號(hào):40566614發(fā)布日期:2025-01-03 11:26閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種nip改性反射鏡的超光滑拋光加工方法,其特征在于,包括以下步驟:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超光滑拋光加工方法,其特征在于,步驟s4中,所述超光滑拋光液按照質(zhì)量百分含量計(jì)包含以下原料組分:

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的超光滑拋光加工方法,其特征在于,所述金屬表面缺陷改善劑為乙二醇、1,4-丁二醇、甘油中的至少一種;所述拋光磨料為氧化硅;所述氧化劑為過(guò)氧化氫;所述絡(luò)合劑為蘋果酸、乙酸、檸檬酸、水楊酸、乳酸、甘氨酸、丙氨酸中的至少一種;所述表面活性劑為硬脂酸鈉、硬脂酸鉀、十二烷基苯磺酸鈉中的至少一種;所述ph調(diào)節(jié)劑為氫氧化鉀、氫氧化鈉、醋酸鈉、碳酸鈉、硼酸鈉中的至少一種。

4.?根據(jù)權(quán)利要求3所述的超光滑拋光加工方法,其特征在于,步驟s4中,所述超光滑拋光加工的工藝參數(shù)為:采用的拋光盤為瀝青拋光盤或阻尼布拋光盤,所述拋光盤的大小為所述nip改性反射鏡尺寸的四分之一至十六分之一,所述拋光盤的形狀與所述nip改性反射鏡相適配,使所述拋光盤與所述nip改性反射鏡貼合,采用的加工路徑為光柵或螺旋掃描路徑,采用的拋光頭的自轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)速為80?rpm~120?rpm,拋光氣壓為0.01?mpa~0.5?mpa。

5.根據(jù)權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的超光滑拋光加工方法,其特征在于,步驟s1中,在反射鏡基體表面制備nip改性層,包括以下步驟:

6.?根據(jù)權(quán)利要求5所述的超光滑拋光加工方法,其特征在于,步驟s1-1中,采用化學(xué)鍍鎳的方式在反射鏡基體表面制備nip改性層;所述nip改性層的厚度為80?μm~120?μm;所述nip改性層中磷的含量為9?wt?%~14?wt?%;所述反射鏡基體的材料為輕金屬;所述輕金屬包括鋁合金、鈹、鋁鈹合金中的至少一種。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的超光滑拋光加工方法,其特征在于,步驟s1-2中,采用顯微鏡對(duì)nip改性層進(jìn)行檢測(cè),所述檢測(cè)的項(xiàng)目包括:nip改性層的表面是否有雜質(zhì)、是否平坦、是否均勻致密、是否有孔洞、是否有空隙、是否有裂紋;所述nip改性層的質(zhì)量滿足指標(biāo)要求,包括滿足以下指標(biāo):所述nip改性層的表面無(wú)雜質(zhì)、平坦光滑、均勻致密、沒(méi)有孔洞、沒(méi)有空隙和沒(méi)有裂紋。

8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的超光滑拋光加工方法,其特征在于,步驟s1-2完成后,還包括以下處理:根據(jù)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、反射鏡基體的種類選擇熱處理方式,對(duì)質(zhì)量滿足指標(biāo)要求的nip改性層進(jìn)行熱處理,減少氫脆并提高結(jié)合力。

9.?根據(jù)權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的超光滑拋光加工方法,其特征在于,步驟s2中,對(duì)nip改性層進(jìn)行超精密車削加工時(shí),使用金剛石車刀;所述金剛石車刀的前角為0°;所述金剛石車刀的刀尖圓弧半徑為0.5?mm~2?mm;所述金剛石車刀的切削刃鈍圓半徑為20?nm~50?nm;所述超精密車削加工的工藝參數(shù)為:機(jī)床主軸轉(zhuǎn)速為1200?rpm~1600?rpm,進(jìn)給量為1?μm/r~10?μm/r,切削深度為1?μm~5?μm。

10.根據(jù)權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的超光滑拋光加工方法,其特征在于,步驟s3中,還包括:檢測(cè)nip改性反射鏡表面是否滿足超精密車削指標(biāo)要求,如果不滿足指標(biāo)要求則跳轉(zhuǎn)至執(zhí)行步驟s2,否者跳轉(zhuǎn)至執(zhí)行步驟s4。


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種NiP改性反射鏡的超光滑拋光加工方法,該加工方法包括:制備NiP改性層,對(duì)NiP改性層進(jìn)行超精密車削加工和超光滑拋光加工,直至滿足指標(biāo)要求。本發(fā)明加工方法中,利用超精密車削和超光滑拋光對(duì)NiP改性反射鏡毛坯工件進(jìn)行加工,不僅可有效消除NiP改性反射鏡毛坯工件加工過(guò)程中產(chǎn)生的表面缺陷,有利于提高加工效率,同時(shí)能有效抑制反射鏡表面的中高頻誤差,進(jìn)而可以顯著提升加工的面形精度和表面質(zhì)量,能夠?qū)iP改性反射鏡毛坯工件加工成更高質(zhì)量的NiP改性反射鏡,具有加工缺陷少、加工質(zhì)量高、加工效率高、可重復(fù)性好等優(yōu)勢(shì),對(duì)于促進(jìn)NiP改性反射鏡在短波長(zhǎng)光學(xué)領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用具有重要意義。

技術(shù)研發(fā)人員:賴濤,徐超,彭小強(qiáng),劉俊峰,胡皓,關(guān)朝亮
受保護(hù)的技術(shù)使用者:中國(guó)人民解放軍國(guó)防科技大學(xué)
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/1/2
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