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一種半導(dǎo)體材料加工刀具的生產(chǎn)工藝及生產(chǎn)設(shè)備的制作方法

文檔序號:40544716發(fā)布日期:2025-01-03 11:04閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體材料加工刀具的生產(chǎn)工藝,包括混料工序、壓制工序和固化工序,其特征在于:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體材料加工刀具的生產(chǎn)工藝,其特征在于:啟動固化反應(yīng)爐的升溫程序進(jìn)行固化包括如下階段:

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體材料加工刀具的生產(chǎn)工藝,其特征在于:第三階段固化溫度為110~180攝氏度中,固化終溫為以下兩種選擇的之一:

4.一種根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體材料加工刀具的生產(chǎn)設(shè)備,包括雙鍋逆流混料機(jī)、振篩、冷壓成型機(jī)、固化反應(yīng)爐,其特征在于:固化反應(yīng)爐包括固化爐本體(1)、設(shè)置在固化爐本體(1)內(nèi)且進(jìn)出端延伸到固化區(qū)域外的傳輸網(wǎng)鏈(2)、設(shè)置在固化爐本體(1)位于加熱區(qū)域兩端的封閉門(3)、設(shè)置在固化爐本體(1)內(nèi)的電加熱裝置(4)、設(shè)置在固化爐本體(1)內(nèi)的空氣循環(huán)裝置(5)、多個陶瓷圓盤(6)、多個置于傳輸網(wǎng)鏈(2)上并且供陶瓷圓盤(6)擱置的擱置機(jī)構(gòu)(7);

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種半導(dǎo)體材料加工刀具的生產(chǎn)設(shè)備,其特征在于:所述底托(71)的底部設(shè)置有多個通孔(711),所述防脫組件(72)包括升降設(shè)置在底托(71)內(nèi)的托板(721)、多個設(shè)置在底托(71)內(nèi)且驅(qū)使托板(721)向上運(yùn)動的彈性件(722)、多個設(shè)置在托板(721)下表面且在托板(721)向下運(yùn)動過程中穿過通孔(711)后刺入到傳輸網(wǎng)鏈(2)上的固定尖樁(723),所述轉(zhuǎn)盤(73)轉(zhuǎn)動連接在托板(721)上;所述彈性件(722)包括設(shè)置在底托(71)上的第一限位柱(7221)、設(shè)置在托板(721)下表面的第二限位柱(7222)、套設(shè)在第一限位柱(7221)和第二限位柱(7222)之間的第一壓縮彈簧(7223),所述底托(71)下表面設(shè)置有對應(yīng)第一限位柱(7221)的活動槽(712),所述第二限位柱(7222)上設(shè)置有螺紋調(diào)節(jié)孔(72221),所述活動槽(712)內(nèi)設(shè)置有向上穿過第一限位柱(7221)后螺紋連接在螺紋調(diào)節(jié)孔(72221)內(nèi)的調(diào)節(jié)螺釘(7224)。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種半導(dǎo)體材料加工刀具的生產(chǎn)設(shè)備,其特征在于:所述轉(zhuǎn)盤(73)下表面設(shè)置有轉(zhuǎn)動連接在托板(721)上的圓形腔體(731),所述風(fēng)力驅(qū)動件(74)包括多個圓周陣列設(shè)置在圓形腔體(731)的周側(cè)的風(fēng)筒(741),所述風(fēng)筒(741)和圓形腔體(731)之間設(shè)置有連通孔(732),所述轉(zhuǎn)盤(73)下表面設(shè)置有與圓形腔體(731)相通的網(wǎng)孔部(733),所述第一出風(fēng)管(54)、第二出風(fēng)管(55)吹出的循環(huán)風(fēng)同時作用到風(fēng)筒(741)內(nèi),以帶動轉(zhuǎn)盤(73)進(jìn)行旋轉(zhuǎn),且循環(huán)風(fēng)從連接孔、網(wǎng)孔部(733)吹出過程中用于對陶瓷圓盤(6)進(jìn)行加熱。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種半導(dǎo)體材料加工刀具的生產(chǎn)設(shè)備,其特征在于:所述抽風(fēng)機(jī)(51)的進(jìn)口端設(shè)置有第一三通閥(56),所述抽風(fēng)機(jī)(51)的出口端設(shè)置有第二三通閥(57),所述進(jìn)風(fēng)管(52)與第一三通閥(56)連接,所述三通管道(53)與第二三通閥(57)連接,所述第一三通閥(56)的其余一個出口、第二三通閥(57)的其余一個出口均朝上設(shè)置;

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種半導(dǎo)體材料加工刀具的生產(chǎn)設(shè)備,其特征在于:所述固化爐本體(1)的出口端、擱置機(jī)構(gòu)(7)和陶瓷圓盤(6)三者之間設(shè)置有驅(qū)使轉(zhuǎn)盤(73)上的陶瓷圓盤(6)向上舉升的舉升分離機(jī)構(gòu)(8),所述固化爐本體(1)的出口端設(shè)置有位于舉升分離機(jī)構(gòu)(8)上方的風(fēng)冷機(jī)構(gòu)(9);

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種半導(dǎo)體材料加工刀具的生產(chǎn)設(shè)備,其特征在于:所述風(fēng)冷機(jī)構(gòu)(9)包括多個排列設(shè)置在固化爐本體(1)的出口端的冷風(fēng)管(91)、供風(fēng)管(92)、多個連接在供風(fēng)管(92)和冷風(fēng)管(91)之間的軟管(93)、與供風(fēng)管(92)連接的空氣壓縮機(jī)(94),所述冷風(fēng)管(91)底部設(shè)置有多個呈排列分布的出風(fēng)口,兩個所述水平引導(dǎo)片(82)處于多個冷風(fēng)管(91)下方。

10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種半導(dǎo)體材料加工刀具的生產(chǎn)設(shè)備,其特征在于:所述固化爐本體(1)內(nèi)的頂部設(shè)置有實(shí)現(xiàn)覆蓋多個進(jìn)風(fēng)管(52)和固化爐本體(1)連接處的過濾機(jī)構(gòu)(10),所述固化爐本體(1)的頂部設(shè)置有沿著固化爐本體(1)的長度方向延伸的滑軌(11),所述過濾機(jī)構(gòu)(10)包括多個插接設(shè)置在滑軌(11)內(nèi)且實(shí)現(xiàn)覆蓋進(jìn)風(fēng)管(52)和固化爐本體(1)連接處的活性炭過濾板(101)、設(shè)置在傳輸網(wǎng)鏈(2)和位于一端的活性炭過濾板(101)之間且在傳輸網(wǎng)鏈(2)的運(yùn)動過程中帶動活性炭過濾板(101)移動的拉索(1023)組件(102);所述拉索(1023)組件(102)包括設(shè)置在活性炭過濾板(101)靠近固化爐本體(1)的進(jìn)入端的一端兩側(cè)的第一吊環(huán)(1021)、兩個設(shè)置在傳輸網(wǎng)鏈(2)的兩側(cè)的第二吊環(huán)(1022)、可拆卸設(shè)置在位于一端的活性炭過濾板(101)的第一吊環(huán)(1021)和第二吊環(huán)(1022)之間且?guī)в墟i扣的拉索(1023),所述封閉門(3)向上運(yùn)動到極限狀態(tài)時不影響活性炭過濾板(101)的水平移動,所述封閉門(3)向下運(yùn)動到極限狀態(tài)時抵觸在位于兩端的活性炭過濾板(101)的側(cè)面。


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明涉及公開了一種半導(dǎo)體材料加工刀具的生產(chǎn)工藝,首先在混料工序中,逐步在磨料中添加樹脂液進(jìn)行攪拌、添加樹脂粉進(jìn)行攪拌,實(shí)現(xiàn)利用樹脂液進(jìn)行初步粘結(jié),并使得樹脂粉可均勻混合,避免樹脂粉溶解在樹脂液中的情況發(fā)生,且前期物料較為干燥時方便混合均勻,后續(xù)加入濕潤劑以實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)干濕程度,最終通過振篩后得到均勻、松散、干濕適中的混合料;同時在對成型胚體進(jìn)行固化時,通過設(shè)置在固化反應(yīng)爐內(nèi)設(shè)置空氣循環(huán),以使得固化反應(yīng)爐內(nèi)的溫度均衡,從而保證反應(yīng)氣氛的均衡和完全,提高固化后的半導(dǎo)體刀具的結(jié)構(gòu)強(qiáng)度。本發(fā)明還涉及公開了一種半導(dǎo)體材料加工刀具的生產(chǎn)設(shè)備。

技術(shù)研發(fā)人員:邵永杰
受保護(hù)的技術(shù)使用者:煜涵新材料(杭州)有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2025/1/2
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