本技術(shù)涉及氣相沉積金剛石涂層，特別涉及一種真空鍍膜裝置。

背景技術(shù)：

1、采用化學(xué)氣相沉積技術(shù)制備的金剛石膜，因其性能堪比天然金剛石，應(yīng)用前景廣闊，其中，熱絲法因設(shè)備成本低、可大面積沉積的優(yōu)點，廣泛應(yīng)用于工件表面金剛石涂層的制備；在采用熱絲法于工件表面沉積金剛石涂層的過程中，熱絲往往需要加工至2000℃以上，在此溫度下，熱絲在長時間工作過程中易發(fā)生下垂，影響沉積形成的金剛石涂層的質(zhì)量。

2、現(xiàn)有技術(shù)中，使熱絲保持繃直的拉絲裝置均設(shè)置在反應(yīng)腔內(nèi)，一般利用彈簧的彈力或砝碼的重量等技術(shù)手段進行拉絲，從而使熱絲始終保持在拉直狀態(tài)。但彈簧的彈力有限，砝碼的重量難以選擇，且二者都需設(shè)置于反應(yīng)腔內(nèi)，每次進行拉力調(diào)整時都需停止鍍膜或等鍍膜結(jié)束以打開反應(yīng)腔室，由工作人員手動調(diào)整，熱絲拉力調(diào)節(jié)的便利性較低。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一，本實用新型提供了一種真空鍍膜裝置，在鍍膜過程中，在不打開反應(yīng)腔的前提下，也能夠?qū)崿F(xiàn)對熱絲拉力的調(diào)節(jié)。

2、根據(jù)本實用新型實施例提供的真空鍍膜裝置，包括反應(yīng)腔、傳動結(jié)構(gòu)和驅(qū)動模組；反應(yīng)腔內(nèi)設(shè)有熱絲，熱絲具有活動端；傳動結(jié)構(gòu)穿設(shè)于反應(yīng)腔的腔壁，且與熱絲的活動端連接；驅(qū)動模組設(shè)于反應(yīng)腔外側(cè)，且與傳動結(jié)構(gòu)延伸至反應(yīng)腔外界的部分連接，驅(qū)動模組能夠通過傳動結(jié)構(gòu)驅(qū)動活動端移動，以拉直熱絲。

3、本實用新型所述的真空鍍膜裝置至少具有以下有益效果：在本實用新型的真空鍍膜裝置中，驅(qū)動模組和熱絲之間通過傳動結(jié)構(gòu)傳動連接，使得驅(qū)動模組能夠設(shè)置在反應(yīng)腔外，在真空鍍膜裝置工作時，由于驅(qū)動模組設(shè)置在反應(yīng)腔外側(cè)，在鍍膜過程中，工作人員能夠直接操控驅(qū)動模組對反應(yīng)腔內(nèi)熱絲的拉力進行調(diào)節(jié)，進而，在不打開反應(yīng)腔的前提下，能夠?qū)崿F(xiàn)反應(yīng)腔內(nèi)熱絲拉力的調(diào)節(jié)，提高了本申請的真空鍍膜裝置中熱絲拉力調(diào)節(jié)的便利性。

4、根據(jù)本實用新型實施例所述的真空鍍膜裝置，還包括設(shè)于所述反應(yīng)腔內(nèi)的第一電極，第一電極與傳動結(jié)構(gòu)連接，且能夠跟隨傳動結(jié)構(gòu)移動，熱絲的活動端連接在第一電極上。

5、根據(jù)本實用新型實施例所述的真空鍍膜裝置，還包括第一導(dǎo)電結(jié)構(gòu)，第一導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的一端與第一電極電連接，第一導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的另一端延伸至外界，且用于與外界電源電連接，第一導(dǎo)電結(jié)構(gòu)包括由柔性導(dǎo)電材料制成的柔性導(dǎo)電段，柔性導(dǎo)電段至少部分設(shè)置于反應(yīng)腔內(nèi)，以使第一導(dǎo)電結(jié)構(gòu)能夠適應(yīng)第一電極的移動。

6、根據(jù)本實用新型實施例所述的真空鍍膜裝置，第一導(dǎo)電結(jié)構(gòu)還包括固定導(dǎo)電段，固定導(dǎo)電段穿設(shè)于反應(yīng)腔的腔壁，且用于與外界電源電連接，柔性導(dǎo)電段的一端與固定導(dǎo)電段連接，柔性導(dǎo)電段的另一端與第一電極連接。

7、根據(jù)本實用新型實施例所述的真空鍍膜裝置，第一電極上設(shè)有限位凹槽，熱絲穿設(shè)于限位凹槽內(nèi)。

8、根據(jù)本實用新型實施例所述的真空鍍膜裝置，還包括第一電極壓條，第一電極壓條與第一電極連接，且位于限位凹槽的槽口處，第一電極壓條用于配合限位凹槽的槽壁夾緊熱絲。

9、根據(jù)本實用新型實施例所述的真空鍍膜裝置，第一電極包括導(dǎo)電部和固定部，限位凹槽設(shè)于導(dǎo)電部上，熱絲的活動端與所述固定部固定連接。

10、根據(jù)本實用新型實施例所述的真空鍍膜裝置，傳動結(jié)構(gòu)包括滑塊、拉桿和滑軌，滑塊可滑動地設(shè)于滑軌上，且與熱絲連接，滑軌的延伸方向與熱絲的延伸方向相平行設(shè)置，拉桿穿設(shè)于反應(yīng)腔的腔壁上，且拉桿上相對的兩端分別與滑塊和驅(qū)動模組連接。

11、根據(jù)本實用新型實施例所述的真空鍍膜裝置，反應(yīng)腔的一側(cè)腔壁向反應(yīng)腔的外界凹陷以形成容納結(jié)構(gòu)，容納結(jié)構(gòu)內(nèi)形成有連通反應(yīng)腔的容納腔，傳動結(jié)構(gòu)設(shè)于容納腔內(nèi)。

12、根據(jù)本實用新型實施例所述的真空鍍膜裝置，驅(qū)動模組為電氣驅(qū)動器。

13、本實用新型的附加方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實用新型的實踐了解到。

技術(shù)特征：

1.一種真空鍍膜裝置，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空鍍膜裝置，其特征在于，還包括設(shè)于所述反應(yīng)腔內(nèi)的第一電極，所述第一電極與所述傳動結(jié)構(gòu)連接，且能夠跟隨所述傳動結(jié)構(gòu)移動，所述熱絲的活動端連接在所述第一電極上。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種真空鍍膜裝置，其特征在于，還包括第一導(dǎo)電結(jié)構(gòu)，所述第一導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的一端與所述第一電極電連接，所述第一導(dǎo)電結(jié)構(gòu)的另一端延伸至外界，且用于與外界電源電連接，所述第一導(dǎo)電結(jié)構(gòu)包括由柔性導(dǎo)電材料制成的柔性導(dǎo)電段，所述柔性導(dǎo)電段至少部分設(shè)置于所述反應(yīng)腔內(nèi)，以使所述第一導(dǎo)電結(jié)構(gòu)能夠適應(yīng)所述第一電極的移動。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種真空鍍膜裝置，其特征在于，所述第一導(dǎo)電結(jié)構(gòu)還包括固定導(dǎo)電段，所述固定導(dǎo)電段穿設(shè)于所述反應(yīng)腔的腔壁，且用于與所述外界電源電連接，所述柔性導(dǎo)電段的一端與所述固定導(dǎo)電段連接，所述柔性導(dǎo)電段的另一端與所述第一電極連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種真空鍍膜裝置，其特征在于，所述第一電極上設(shè)有限位凹槽，所述熱絲穿設(shè)于所述限位凹槽內(nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種真空鍍膜裝置，其特征在于，還包括第一電極壓條，所述第一電極壓條與所述第一電極連接，且位于所述限位凹槽的槽口處，所述第一電極壓條用于配合所述限位凹槽的槽壁夾緊所述熱絲。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種真空鍍膜裝置，其特征在于，所述第一電極包括導(dǎo)電部和固定部，所述限位凹槽設(shè)于所述導(dǎo)電部上，所述熱絲的活動端與所述固定部固定連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空鍍膜裝置，其特征在于，所述傳動結(jié)構(gòu)包括滑塊、拉桿和滑軌，所述滑塊可滑動地設(shè)于所述滑軌上，且與所述熱絲連接，所述滑軌的延伸方向與所述熱絲的延伸方向相平行設(shè)置，所述拉桿穿設(shè)于所述反應(yīng)腔的腔壁上，且所述拉桿上相對的兩端分別與所述滑塊和所述驅(qū)動模組連接。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種真空鍍膜裝置，其特征在于，所述反應(yīng)腔的一側(cè)腔壁向所述反應(yīng)腔的外界凹陷以形成容納結(jié)構(gòu)，所述容納結(jié)構(gòu)內(nèi)形成有連通所述反應(yīng)腔的容納腔，所述傳動結(jié)構(gòu)設(shè)于所述容納腔內(nèi)。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種真空鍍膜裝置，其特征在于，所述驅(qū)動模組為電氣驅(qū)動器。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種真空鍍膜裝置，包括反應(yīng)腔、傳動結(jié)構(gòu)和驅(qū)動模組；反應(yīng)腔內(nèi)設(shè)有熱絲，熱絲具有活動端；傳動結(jié)構(gòu)穿設(shè)于反應(yīng)腔的腔壁，且與熱絲的活動端連接；驅(qū)動模組設(shè)于反應(yīng)腔外側(cè)，且與傳動結(jié)構(gòu)延伸至反應(yīng)腔外界的部分連接，驅(qū)動模組能夠通過傳動結(jié)構(gòu)驅(qū)動活動端移動，以拉直熱絲。在本技術(shù)的真空鍍膜裝置中，驅(qū)動模組和熱絲之間通過傳動結(jié)構(gòu)連接，使得驅(qū)動模組能夠設(shè)置在反應(yīng)腔外，在真空鍍膜裝置工作時，由于驅(qū)動模組設(shè)置在反應(yīng)腔外側(cè)，使得工作人員能夠直接操控驅(qū)動模組對反應(yīng)腔內(nèi)熱絲的拉力進行調(diào)節(jié)，進而，在不打開反應(yīng)腔的前提下，能夠?qū)崿F(xiàn)反應(yīng)腔內(nèi)熱絲拉力的調(diào)節(jié)，提高了本申請的真空鍍膜裝置中熱絲拉力調(diào)節(jié)的便利性。

技術(shù)研發(fā)人員：王俊鋒,黎志躍,周敏,秦興耀,謝子聰,鄧進彪
受保護的技術(shù)使用者：廣東鼎泰機器人科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240206
技術(shù)公布日：2025/1/6