本技術(shù)涉及半導(dǎo)體外延材料生長，具體為一種新型半導(dǎo)體設(shè)備尾氣管道氣流穩(wěn)定裝置。

背景技術(shù)：

1、mocvd是生長半導(dǎo)體外延材料的設(shè)備，由原材料進氣系統(tǒng)，反應(yīng)室生長系統(tǒng)，排氣系統(tǒng)等組成，半導(dǎo)體外延材料的生長會用到砷烷、磷烷、三甲基鋁、三甲基鎵等劇毒氣體和金屬有機物，劇毒氣體在生長過程中是飽和原材料，小部分的劇毒氣體和有機源完成化學(xué)反應(yīng)，還有部分劇毒氣體和金屬有機源隨尾氣管道的排入尾氣收集裝置進行收集或處理，尾氣處理系統(tǒng)業(yè)內(nèi)通常的做法是將半導(dǎo)體設(shè)備的尾氣收集起來統(tǒng)一處理，尾氣處理系統(tǒng)的方式一般有干式、濕式及燃燒式等，因為尾氣系統(tǒng)的氣流控制運行不穩(wěn)定，時常會因為壓力異常而造成設(shè)備大泵停機，設(shè)備異常停止工作，而造成未處理完成的有毒氣體和金屬有機物處理不完全而直接排入廠務(wù)排風(fēng)系統(tǒng)，嚴重者會影響大氣，對環(huán)境造成污染，對半導(dǎo)體設(shè)備的正常運行產(chǎn)生嚴重影響，為此，我們設(shè)計出一種新型半導(dǎo)體設(shè)備尾氣管道氣流穩(wěn)定裝置，來解決上述問題。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型提供了一種新型半導(dǎo)體設(shè)備尾氣管道氣流穩(wěn)定裝置，解決了尾氣系統(tǒng)的氣流控制運行不穩(wěn)定，在實際應(yīng)用中，因為尾氣系統(tǒng)的氣流控制運行不穩(wěn)定，時常會因為壓力異常而造成設(shè)備大泵停機，設(shè)備異常停止工作的問題。

2、為實現(xiàn)以上目的，本實用新型通過以下技術(shù)方案予以實現(xiàn)：一種新型半導(dǎo)體設(shè)備尾氣管道氣流穩(wěn)定裝置，包括處理機構(gòu)和控制機構(gòu)，所述處理機構(gòu)包括主吸附桶和輔吸附桶，所述主吸附桶一側(cè)的底部固定安裝有進入主管，且進入主管的頂部固定安裝有進入壓力表，所述主吸附桶的頂部固定安裝有排出主管，所述排出主管的頂部固定連接有尾氣管體，且尾氣管體的另一側(cè)固定安裝有排出壓力表，所述尾氣管體的頂部固定安裝有軸流風(fēng)機，所述輔吸附桶的底部固定安裝有進入輔管，所述輔吸附桶的頂部固定安裝有排出輔管，所述尾氣管體的一側(cè)固定連接有與排出輔管連接的支流管；

3、所述控制機構(gòu)包括控制柜，所述控制柜的內(nèi)部固定安裝有plc控制器，所述控制柜正面的上方活動安裝有門板，所述門板的正面固定安裝有人機交互面板，且人機交互面板的一側(cè)固定安裝有操作按鈕，所述控制柜頂部的另一側(cè)固定安裝有警報燈。

4、優(yōu)選的，所述進入主管和進入輔管之間通過三通閥的連接，所述三通閥的底部固定安裝有閥輪。

5、優(yōu)選的，所述排出壓力表的下方固定安裝有取樣管，所述取樣管的下方固定安裝有溫度探頭。

6、優(yōu)選的，所述進入壓力表的一側(cè)固定安裝有吹掃氮氣管，所述吹掃氮氣管上固定安裝有氮氣閥。

7、優(yōu)選的，所述門板正面的一側(cè)固定安裝有安全鎖，所述控制柜兩側(cè)的上方設(shè)置有多組通風(fēng)孔。

8、優(yōu)選的，所述控制柜底部的四周固定安裝有移動輪，所述移動輪上活動安裝有剎車桿。

9、有益效果

10、本實用新型提供了一種新型半導(dǎo)體設(shè)備尾氣管道氣流穩(wěn)定裝置。與現(xiàn)有技術(shù)相比具備以下有益效果：

11、該新型半導(dǎo)體設(shè)備尾氣管道氣流穩(wěn)定裝置，通過增加軸流風(fēng)機起到補償和調(diào)節(jié)廠務(wù)系統(tǒng)風(fēng)機的不穩(wěn)定性，軸流風(fēng)機運行頻率的大小可以根據(jù)進入壓力表與排出壓力表反饋到plc控制器進行智能控制，可以適時調(diào)整尾氣管道中的氣體壓力及流速，可以起到優(yōu)化整個尾排系統(tǒng)氣流的穩(wěn)定性，能夠達到氣流穩(wěn)定流動，已到達mocvd尾氣流速及壓力恒定且持續(xù)的工作要求。

技術(shù)特征：

1.一種新型半導(dǎo)體設(shè)備尾氣管道氣流穩(wěn)定裝置，其特征在于：包括處理機構(gòu)(1)和控制機構(gòu)(8)，所述處理機構(gòu)(1)包括主吸附桶(2)和輔吸附桶(5)，所述主吸附桶(2)一側(cè)的底部固定安裝有進入主管(201)，且進入主管(201)的頂部固定安裝有進入壓力表(202)，所述主吸附桶(2)的頂部固定安裝有排出主管(203)，所述排出主管(203)的頂部固定連接有尾氣管體(6)，且尾氣管體(6)的另一側(cè)固定安裝有排出壓力表(604)，所述尾氣管體(6)的頂部固定安裝有軸流風(fēng)機(7)，所述輔吸附桶(5)的底部固定安裝有進入輔管(501)，所述輔吸附桶(5)的頂部固定安裝有排出輔管(502)，所述尾氣管體(6)的一側(cè)固定連接有與排出輔管(502)連接的支流管(601)；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型半導(dǎo)體設(shè)備尾氣管道氣流穩(wěn)定裝置，其特征在于：所述進入主管(201)和進入輔管(501)之間通過三通閥(3)的連接，所述三通閥(3)的底部固定安裝有閥輪(301)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型半導(dǎo)體設(shè)備尾氣管道氣流穩(wěn)定裝置，其特征在于：所述排出壓力表(604)的下方固定安裝有取樣管(603)，所述取樣管(603)的下方固定安裝有溫度探頭(602)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型半導(dǎo)體設(shè)備尾氣管道氣流穩(wěn)定裝置，其特征在于：所述進入壓力表(202)的一側(cè)固定安裝有吹掃氮氣管(4)，所述吹掃氮氣管(4)上固定安裝有氮氣閥(401)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型半導(dǎo)體設(shè)備尾氣管道氣流穩(wěn)定裝置，其特征在于：所述門板(10)正面的一側(cè)固定安裝有安全鎖(1001)，所述控制柜(9)兩側(cè)的上方設(shè)置有多組通風(fēng)孔(903)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種新型半導(dǎo)體設(shè)備尾氣管道氣流穩(wěn)定裝置，其特征在于：所述控制柜(9)底部的四周固定安裝有移動輪(901)，所述移動輪(901)上活動安裝有剎車桿(902)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種新型半導(dǎo)體設(shè)備尾氣管道氣流穩(wěn)定裝置，包括處理機構(gòu)和控制機構(gòu)，所述處理機構(gòu)包括主吸附桶和輔吸附桶，所述主吸附桶一側(cè)的底部固定安裝有進入主管，且進入主管的頂部固定安裝有進入壓力表，所述主吸附桶的頂部固定安裝有排出主管。該新型半導(dǎo)體設(shè)備尾氣管道氣流穩(wěn)定裝置，通過增加軸流風(fēng)機起到補償和調(diào)節(jié)廠務(wù)系統(tǒng)風(fēng)機的不穩(wěn)定性，軸流風(fēng)機運行頻率的大小可以根據(jù)進入壓力表與排出壓力表反饋到PLC控制器的數(shù)據(jù)進行智能控制，可以適時調(diào)整尾氣管道中的氣體壓力及流速，可以起到優(yōu)化整個尾排系統(tǒng)氣流的穩(wěn)定性，能夠達到氣流穩(wěn)定流動，已到達MOCVD尾氣流速及壓力恒定且持續(xù)的工作要求。

技術(shù)研發(fā)人員：蔣波,楊皓宇,張龍,孔慶軍,吳春旺
受保護的技術(shù)使用者：南京鐳芯光電有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240412
技術(shù)公布日：2024/12/30