本技術(shù)涉及管件殘余應(yīng)力消除，特別涉及一種長管件殘余應(yīng)力柔性消除工裝。

背景技術(shù)：

1、在半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備制造過程中，機架模組作為關(guān)鍵部件，其精度和穩(wěn)定性對于整個設(shè)備的性能具有至關(guān)重要的影響。然而，在機架模組的制備環(huán)節(jié)中，由于機械加工、熱處理、焊接等工藝過程的存在，不可避免地會在長管件等部件中產(chǎn)生殘余應(yīng)力，殘余應(yīng)力是指消除外力或不均勻的溫度場等作用后，仍留在物體內(nèi)部的自相平衡的內(nèi)應(yīng)力。這種內(nèi)應(yīng)力可能由于不均勻的塑性變形、相變或熱處理過程中的溫度梯度等因素而產(chǎn)生。在半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備用機架模組的制備過程中，這些應(yīng)力可能導(dǎo)致部件發(fā)生翹曲、變形甚至開裂，嚴(yán)重影響機架模組的精度和穩(wěn)定性，由于薄壁管狀類工件在材料及結(jié)構(gòu)等方面的特殊性，通常所使用的消除殘余應(yīng)力的方法并不適用，如剛性固定法、機械沖擊等。由此，近年來發(fā)展了一種利用高能聲束消除工件殘余應(yīng)力的方法。該方法不對工件產(chǎn)生沖擊、加熱等作用，不影響材料和產(chǎn)品的性能，是一種對產(chǎn)品不會造成傷害的應(yīng)力消除方法；

2、已知授權(quán)發(fā)明(公開號：cn117051228a)，公開了一種可消除不同直徑及不同長度管狀類工件殘余應(yīng)力的工裝；本發(fā)明工裝整體體積小、重量輕便、機械結(jié)構(gòu)簡單、人員作業(yè)方便，現(xiàn)超聲換能器能夠通過一定的力穩(wěn)定的安裝在工件表面，確保聲能量有效傳輸進入工件，從實現(xiàn)有效無損的消除工件中的殘余應(yīng)力，同時通過結(jié)構(gòu)調(diào)節(jié)可適應(yīng)不同直徑的管狀類工件，整體工裝可作為單模組形式，按沿線性方向陣列組合，可適應(yīng)不同長度的管狀類工件，兩者相結(jié)合，具有很好的靈活性，即可適應(yīng)不同類型的管狀類工件產(chǎn)品，利于現(xiàn)場生產(chǎn)實用，同時可節(jié)約企業(yè)生產(chǎn)成本，提高人員作業(yè)效率；

3、該裝置在使用時雖然能夠利于現(xiàn)場生產(chǎn)實用，同時可節(jié)約企業(yè)生產(chǎn)成本，提高人員作業(yè)效率，但是該裝置在對不同長度的管件消除時，需要裝配多個超聲換能器，及其繁瑣，導(dǎo)致消除效率低，為此，提出一種長管件殘余應(yīng)力柔性消除工裝。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、有鑒于此，本實用新型提供一種長管件殘余應(yīng)力柔性消除工裝，以解決或緩解現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題，至少提供一種有益的選擇。

2、本實用新型實施例的技術(shù)方案是這樣實現(xiàn)的：一種長管件殘余應(yīng)力柔性消除工裝，包括消除組件，所述消除組件包括底座、豎桿、橫板、第一驅(qū)動電機、矩形孔、往復(fù)絲桿、移動塊、第一電動推桿、第一u形板、第二電動推桿、超聲換能器、調(diào)節(jié)板、轉(zhuǎn)軸、第二u形板、第三電動推桿、夾板、管件本體；

3、所述底座的頂部焊接有四個豎桿，所述豎桿的頂端固定連接有橫板，所述橫板的右側(cè)固定連接有第一驅(qū)動電機，所述橫板上開設(shè)有矩形孔，所述矩形孔的兩側(cè)內(nèi)壁之間轉(zhuǎn)動連接有往復(fù)絲桿，所述往復(fù)絲桿的端部延伸至橫板的右側(cè)并與第一驅(qū)動電機的輸出軸固定連接，所述往復(fù)絲桿上螺紋連接有移動塊，所述移動塊的底部固定連接有第一電動推桿，所述第一電動推桿的輸出端固定連接有第一u形板，所述第一u形板的兩側(cè)均固定連接有第二電動推桿，所述第二電動推桿的輸出端固定連接有超聲換能器，所述底座上設(shè)有兩個調(diào)節(jié)板，所述調(diào)節(jié)板的一側(cè)轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸的端部固定連接有第二u形板，所述第二u形板的兩側(cè)內(nèi)壁上均固定連接有第三電動推桿，所述第三電動推桿的輸出端固定連接有夾板，四個所述夾板之間活動接觸有管件本體。

4、進一步優(yōu)選的，兩個所述調(diào)節(jié)板中的一個調(diào)節(jié)板的右側(cè)固定連接有第二驅(qū)動電機。

5、進一步優(yōu)選的，兩個所述轉(zhuǎn)軸中的一個轉(zhuǎn)軸的右端延伸至右側(cè)的調(diào)節(jié)板的右側(cè)并與第二驅(qū)動電機的輸出軸固定連接。

6、進一步優(yōu)選的，所述消除組件的一側(cè)設(shè)有調(diào)節(jié)組件，所述調(diào)節(jié)組件包括凹槽、第三驅(qū)動電機、螺桿；

7、所述底座上開設(shè)有凹槽，所述凹槽的兩側(cè)內(nèi)壁上均轉(zhuǎn)動連接有螺桿，所述底座的右側(cè)固定連接有第三驅(qū)動電機，兩個所述螺桿中的一個螺桿的端部延伸至底座外并與第三驅(qū)動電機的輸出軸固定連接，所述螺桿與對應(yīng)的調(diào)節(jié)板螺紋連接。

8、進一步優(yōu)選的，所述凹槽的兩側(cè)內(nèi)壁之間焊接有兩個方桿，所述方桿與調(diào)節(jié)板滑動連接。

9、進一步優(yōu)選的，兩個所述螺桿相互靠近的端部固定連接，兩個所述螺桿的螺紋旋向相反。

10、進一步優(yōu)選的，所述移動塊上開設(shè)有螺紋孔，所述移動塊通過螺紋孔與往復(fù)絲桿螺紋連接。

11、進一步優(yōu)選的，所述移動塊的外側(cè)與矩形孔的內(nèi)壁滑動連接。

12、本實用新型實施例由于采用以上技術(shù)方案，其具有以下優(yōu)點：

13、1.將管件本體放置到夾板之間，通過四個夾板將管件本體進行固定，將超聲換能器移動至管件本體的兩側(cè)，第二驅(qū)動電機通過轉(zhuǎn)軸帶動第二u形板轉(zhuǎn)動，第二u形板通過夾板帶動管件本體轉(zhuǎn)動，同時第一驅(qū)動電機帶動往復(fù)絲桿轉(zhuǎn)動，往復(fù)絲桿通過移動塊帶動第一電動推桿移動，第一電動推桿通過第一u形板帶動超聲換能器移動，通過兩個超聲換能器對管件本體去除內(nèi)部應(yīng)力，通過管件本體的轉(zhuǎn)動和超聲換能器的往復(fù)移動，從而可全方位對管件本體進行消除，不需要配置多個超聲換能器；

14、2.通過第三驅(qū)動電機帶動螺桿轉(zhuǎn)動，螺桿帶動對應(yīng)的調(diào)節(jié)板移動，調(diào)節(jié)板帶動對應(yīng)的夾板移動，從而可對不同長度的管件本體進行固定，使得裝置可適用于不同長度的管件進行消除。

15、上述概述僅僅是為了說明書的目的，并不意圖以任何方式進行限制。除上述描述的示意性的方面、實施方式和特征之外，通過參考附圖和以下的詳細(xì)描述，本實用新型進一步的方面、實施方式和特征將會是容易明白的。

技術(shù)特征：

1.一種長管件殘余應(yīng)力柔性消除工裝，包括消除組件(1)，其特征在于：所述消除組件(1)包括底座(2)、豎桿(3)、橫板(4)、第一驅(qū)動電機(5)、矩形孔(6)、往復(fù)絲桿(7)、移動塊(8)、第一電動推桿(9)、第一u形板(10)、第二電動推桿(11)、超聲換能器(12)、調(diào)節(jié)板(13)、轉(zhuǎn)軸(14)、第二u形板(15)、第三電動推桿(16)、夾板(17)、管件本體(18)；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的長管件殘余應(yīng)力柔性消除工裝，其特征在于：兩個所述調(diào)節(jié)板(13)中的一個調(diào)節(jié)板(13)的右側(cè)固定連接有第二驅(qū)動電機(19)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的長管件殘余應(yīng)力柔性消除工裝，其特征在于：兩個所述轉(zhuǎn)軸(14)中的一個轉(zhuǎn)軸(14)的右端延伸至右側(cè)的調(diào)節(jié)板(13)的右側(cè)并與第二驅(qū)動電機(19)的輸出軸固定連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的長管件殘余應(yīng)力柔性消除工裝，其特征在于：所述消除組件(1)的一側(cè)設(shè)有調(diào)節(jié)組件(20)，所述調(diào)節(jié)組件(20)包括凹槽(21)、第三驅(qū)動電機(22)、螺桿(23)；

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的長管件殘余應(yīng)力柔性消除工裝，其特征在于：所述凹槽(21)的兩側(cè)內(nèi)壁之間焊接有兩個方桿(24)，所述方桿(24)與調(diào)節(jié)板(13)滑動連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的長管件殘余應(yīng)力柔性消除工裝，其特征在于：兩個所述螺桿(23)相互靠近的端部固定連接，兩個所述螺桿(23)的螺紋旋向相反。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的長管件殘余應(yīng)力柔性消除工裝，其特征在于：所述移動塊(8)上開設(shè)有螺紋孔，所述移動塊(8)通過螺紋孔與往復(fù)絲桿(7)螺紋連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的長管件殘余應(yīng)力柔性消除工裝，其特征在于：所述移動塊(8)的外側(cè)與矩形孔(6)的內(nèi)壁滑動連接。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供了一種長管件殘余應(yīng)力柔性消除工裝，包括消除組件，消除組件包括底座、豎桿、橫板、第一驅(qū)動電機、矩形孔、往復(fù)絲桿、移動塊、第一電動推桿、第一U形板。本技術(shù)將管件本體放置到夾板之間，通過四個夾板將管件本體固定，將超聲換能器移動至管件本體的兩側(cè)，第二驅(qū)動電機通過轉(zhuǎn)軸帶動第二U形板轉(zhuǎn)動，第二U形板通過夾板帶動管件本體轉(zhuǎn)動，同時第一驅(qū)動電機帶動往復(fù)絲桿轉(zhuǎn)動，往復(fù)絲桿通過移動塊帶動第一電動推桿移動，第一電動推桿通過第一U形板帶動超聲換能器移動，通過兩個超聲換能器對管件本體去除內(nèi)部應(yīng)力，通過管件本體的轉(zhuǎn)動和超聲換能器的往復(fù)移動，從而可全方位對管件本體進行消除，不需要配置多個超聲換能器。

技術(shù)研發(fā)人員：胡志華,朱洪波,管秋明
受保護的技術(shù)使用者：航菱微（泰州）科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240428
技術(shù)公布日：2024/12/30