本技術(shù)涉及真空鍍膜，特別涉及一種全自動真空鍍膜設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、真空鍍膜的工作原理是在真空環(huán)境下，通過加熱靶材使其蒸發(fā)，并在電場的作用下，這些蒸發(fā)的原子或分子被加速并轟擊基片，從而在基片表面形成一層薄膜，這個過程涉及多種技術(shù)，包括物理氣相沉積、磁控濺射、離子鍍等。其中，物理氣相沉積技術(shù)使用低電壓、大電流的電弧放電，使靶材蒸發(fā)，而磁控濺射技術(shù)則通過磁場束縛和延長電子的運動路徑，提高工作氣體的電離率和有效利用電子的能量，從而加速靶材原子的濺射沉積。

2、目前，在真空鍍膜的過程中需要進行氣體輸送，氣體輸送裝置是指用以輸送氣體的裝置，常用于真空鍍膜過程中，在真空鍍膜的工藝體系內(nèi)，氣體輸送裝置主要將惰性氣體輸送到真空腔室內(nèi)，用于對薄膜表面進行鍍膜，但是現(xiàn)有的氣體輸送裝置在真空鍍膜條件下，其出氣孔容易被堵住，造成真空鍍膜失敗。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于提供一種全自動真空鍍膜設(shè)備，現(xiàn)有的氣體輸送裝置在真空鍍膜條件下，其出氣孔容易被堵住，造成真空鍍膜失敗的問題。

2、為實現(xiàn)上述目的，提供一種全自動真空鍍膜設(shè)備，包括：真空鍍膜設(shè)備本體和過濾箱，所述過濾箱內(nèi)壁設(shè)置有多個卡塊，相連兩個所述卡塊之間滑動連接有過濾網(wǎng)，所述過濾箱中部轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)桿，所述轉(zhuǎn)桿外部固定連接有連接件，所述連接件兩側(cè)均固定連接有連接桿，兩個所述連接桿一端固定連接有清理板。

3、根據(jù)所述的一種全自動真空鍍膜設(shè)備，所述轉(zhuǎn)桿外部轉(zhuǎn)動連接有連接套，所述連接套外側(cè)固定連接有固定桿，所述固定桿另一端與過濾箱內(nèi)壁固定連接。

4、根據(jù)所述的一種全自動真空鍍膜設(shè)備，所述過濾箱外側(cè)設(shè)置有驅(qū)動電機，所述驅(qū)動電機輸出端固定連接有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸一端固定連接有第二錐齒輪，所述轉(zhuǎn)桿外部設(shè)置有第一錐齒輪。

5、根據(jù)所述的一種全自動真空鍍膜設(shè)備，所述過濾箱外部設(shè)置有連接板，所述連接板側(cè)壁與過濾網(wǎng)上端固定連接，所述連接板上表面固定連接有把手。

6、根據(jù)所述的一種全自動真空鍍膜設(shè)備，所述過濾箱外側(cè)開設(shè)有多個定位孔，所述連接板側(cè)壁固定連接有多個定位桿，所述定位桿與定位孔相互配合。

7、根據(jù)所述的一種全自動真空鍍膜設(shè)備，所述過濾箱兩端均設(shè)置有法蘭，所述法蘭側(cè)壁均連通有連接管。

8、上述方案具有的有益效果：本實用新型通過在連接管的中部安裝過濾箱，在過濾箱的中部安裝過濾網(wǎng)，利用過濾網(wǎng)對輸送的氣體進行過濾，可以避免出氣口堵塞影響鍍膜的效果。

9、本實用新型的附加方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實用新型的實踐了解到。

技術(shù)特征：

1.一種全自動真空鍍膜設(shè)備，包括：真空鍍膜設(shè)備本體(1)和過濾箱(2)，其特征在于，所述過濾箱(2)內(nèi)壁設(shè)置有多個卡塊(12)，相連兩個所述卡塊(12)之間滑動連接有過濾網(wǎng)(5)，所述過濾箱(2)中部轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)桿(14)，所述轉(zhuǎn)桿(14)外部固定連接有連接件(15)，所述連接件(15)兩側(cè)均固定連接有連接桿(7)，兩個所述連接桿(7)一端固定連接有清理板(6)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述轉(zhuǎn)桿(14)外部轉(zhuǎn)動連接有連接套(16)，所述連接套(16)外側(cè)固定連接有固定桿(20)，所述固定桿(20)另一端與過濾箱(2)內(nèi)壁固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述過濾箱(2)外側(cè)設(shè)置有驅(qū)動電機(10)，所述驅(qū)動電機(10)輸出端固定連接有轉(zhuǎn)軸(19)，所述轉(zhuǎn)軸(19)一端固定連接有第二錐齒輪(18)，所述轉(zhuǎn)桿(14)外部設(shè)置有第一錐齒輪(17)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述過濾箱(2)外部設(shè)置有連接板(9)，所述連接板(9)側(cè)壁與過濾網(wǎng)(5)上端固定連接，所述連接板(9)上表面固定連接有把手(8)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種全自動真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述過濾箱(2)外側(cè)開設(shè)有多個定位孔(11)，所述連接板(9)側(cè)壁固定連接有多個定位桿(13)，所述定位桿(13)與定位孔(11)相互配合。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種全自動真空鍍膜設(shè)備，其特征在于，所述過濾箱(2)兩端均設(shè)置有法蘭(4)，所述法蘭(4)側(cè)壁均連通有連接管(3)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種全自動真空鍍膜設(shè)備，其包括：真空鍍膜設(shè)備本體和過濾箱，所述過濾箱內(nèi)壁設(shè)置有多個卡塊，相連兩個所述卡塊之間滑動連接有過濾網(wǎng)，所述過濾箱中部轉(zhuǎn)動連接有轉(zhuǎn)桿，所述轉(zhuǎn)桿外部固定連接有連接件，所述連接件兩側(cè)均固定連接有連接桿，兩個所述連接桿一端固定連接有清理板。通過上述結(jié)構(gòu)，利用過濾網(wǎng)對輸送的氣體進行過濾，保障出氣口堵塞，而且利用清理板在旋轉(zhuǎn)的過程中對過濾網(wǎng)進行清理，可以保障氣體輸送的效果。

技術(shù)研發(fā)人員：劉振國,劉偵,彭建鑫
受保護的技術(shù)使用者：貴州玉山九鼎科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240514
技術(shù)公布日：2025/1/6