本技術(shù)涉及退火爐，具體為一種磁粉芯生產(chǎn)用退火爐。

背景技術(shù)：

1、退火爐是在半導(dǎo)體器件制造中使用的一種工藝，其包括加熱多個(gè)半導(dǎo)體晶片以影響其電性能。熱處理是針對(duì)不同的效果而設(shè)計(jì)的?？梢约訜峋约せ顡诫s劑，將薄膜轉(zhuǎn)換成薄膜或?qū)⒈∧まD(zhuǎn)換成晶片襯底界面，使致密沉積的薄膜，改變生長(zhǎng)的薄膜的狀態(tài)，修復(fù)注入的損傷，移動(dòng)摻雜劑或?qū)诫s劑從一個(gè)薄膜轉(zhuǎn)移到另一個(gè)薄膜或從薄膜進(jìn)入晶圓襯底。

2、經(jīng)檢索公開(kāi)號(hào)：cn215481103u一種金屬磁粉芯生產(chǎn)用的高效退火爐，包括恒溫退火機(jī)構(gòu)，恒溫退火機(jī)構(gòu)包括與地面支撐設(shè)置的退火箱，退火箱的端頭側(cè)壁開(kāi)設(shè)有鼓風(fēng)機(jī)安裝槽位，鼓風(fēng)機(jī)安裝槽位的內(nèi)部?jī)?nèi)嵌設(shè)有托板，托板的中部通過(guò)開(kāi)槽穿插設(shè)有鼓風(fēng)機(jī)，其中位于鼓風(fēng)機(jī)的吹風(fēng)端與退火機(jī)構(gòu)的中部穿插連接，退火箱的側(cè)壁開(kāi)設(shè)有電輔熱網(wǎng)板，電輔熱網(wǎng)板出風(fēng)端與退火箱的頂端中部開(kāi)設(shè)有出風(fēng)開(kāi)槽，出風(fēng)開(kāi)槽的表面固定安放有用于恒溫退火的u型放置板。本實(shí)用新型一種金屬磁粉芯生產(chǎn)用的高效退火爐，通過(guò)設(shè)有的退火箱、鼓風(fēng)機(jī)安裝槽位和鼓風(fēng)機(jī)，以便在使用過(guò)程中，達(dá)到鼓風(fēng)機(jī)的安裝，并由此啟動(dòng)鼓風(fēng)機(jī)，產(chǎn)生負(fù)壓抽吸力；

3、然而，該申請(qǐng)中由于管套的設(shè)置，使得熱傳導(dǎo)筒無(wú)法全部進(jìn)入退火網(wǎng)箱內(nèi)，使得對(duì)熱傳導(dǎo)筒的冷卻效果較低。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的是提供一種磁粉芯生產(chǎn)用退火爐，以解決上述現(xiàn)有技術(shù)中的不足之處。

2、一種磁粉芯生產(chǎn)用退火爐，包括安裝架、退火網(wǎng)箱、熱傳導(dǎo)筒、推移組件以及移動(dòng)組件，所述退火網(wǎng)箱設(shè)置在所述安裝架內(nèi)部，退火網(wǎng)箱具有進(jìn)口，所述推移組件包括驅(qū)動(dòng)源、滑軌、滑桿以及卡鉗，所述滑軌固定設(shè)置在安裝架頂部，所述滑桿滑動(dòng)連接在所述滑軌底部，所述卡鉗設(shè)置在所述滑桿底部，所述卡鉗能夠?qū)λ鰺醾鲗?dǎo)筒進(jìn)行夾持；所述移動(dòng)組件包括套筒和驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，所述套筒固定連接在所述退火網(wǎng)箱內(nèi)壁上，所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)位于所述退火網(wǎng)箱內(nèi)，所述熱傳導(dǎo)筒與所述套筒能夠同軸移動(dòng)配合，所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)所述熱傳導(dǎo)筒相對(duì)所述套筒移動(dòng)。

3、進(jìn)一步的，所述套筒包括固定桿、支撐環(huán)以及定位輪，若干所述固定桿一端均設(shè)置在所述退火網(wǎng)箱內(nèi)部遠(yuǎn)離所述進(jìn)口的一側(cè)，若干所述支撐環(huán)分別被若干所述固定桿貫穿且固定連接，若干所述定位輪分別設(shè)置在若干所述支撐環(huán)內(nèi)環(huán)處，若干所述定位輪均與所述熱傳導(dǎo)筒外壁貼合。

4、進(jìn)一步的，所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)包括固定板、電機(jī)以及導(dǎo)輪，所述固定板設(shè)置在所述進(jìn)口內(nèi)部，所述電機(jī)設(shè)置在所述固定板遠(yuǎn)離所述進(jìn)口的一端底部，所述導(dǎo)輪設(shè)置在所述電機(jī)輸出端，所述導(dǎo)輪與所述熱傳導(dǎo)筒外壁貼合。

5、進(jìn)一步的，平衡組件包括多個(gè)螺紋柱、多個(gè)螺紋套以及多個(gè)底座，四個(gè)所述螺紋柱分別設(shè)置在所述安裝架底部四角位置。

6、進(jìn)一步的，四個(gè)所述螺紋套分別一一對(duì)應(yīng)螺紋連接在若干所述螺紋柱底部，四個(gè)所述底座分別一一對(duì)應(yīng)設(shè)置在四個(gè)所述螺紋套底部。

7、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供的在使用時(shí)，當(dāng)熱傳導(dǎo)筒由進(jìn)口進(jìn)入退火網(wǎng)箱后，熱傳導(dǎo)筒與若干定位輪和一個(gè)導(dǎo)輪接觸，直至熱傳導(dǎo)筒移動(dòng)至與兩個(gè)支撐環(huán)內(nèi)的若干定位輪接觸，之后通過(guò)卡鉗解除對(duì)熱傳導(dǎo)筒的限制，再啟動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)導(dǎo)輪轉(zhuǎn)動(dòng)，通過(guò)導(dǎo)輪與熱傳導(dǎo)筒之間的摩擦，帶動(dòng)熱傳導(dǎo)筒移動(dòng)，直至熱傳導(dǎo)筒完全進(jìn)入退火網(wǎng)箱內(nèi)，使得熱傳導(dǎo)筒各個(gè)部位均能被冷卻降溫，使得冷卻效果增強(qiáng)，冷卻時(shí)間減少，當(dāng)熱傳導(dǎo)筒經(jīng)過(guò)冷卻退火后，再次啟動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)導(dǎo)輪反轉(zhuǎn)，使得熱傳導(dǎo)筒能夠被不斷推移至退火網(wǎng)箱外部，以便于進(jìn)行退火之后的操作。

技術(shù)特征：

1.一種磁粉芯生產(chǎn)用退火爐，其特征在于，包括安裝架(1)、退火網(wǎng)箱(2)、熱傳導(dǎo)筒(3)、推移組件(4)、移動(dòng)組件(5)以及平衡組件(6)，所述退火網(wǎng)箱(2)設(shè)置在所述安裝架(1)內(nèi)部，退火網(wǎng)箱(2)具有進(jìn)口，所述推移組件(4)包括驅(qū)動(dòng)源、滑軌(41)、滑桿(42)以及卡鉗(43)，所述滑軌(41)固定設(shè)置在安裝架(1)頂部，所述滑桿(42)滑動(dòng)連接在所述滑軌(41)底部，所述卡鉗(43)設(shè)置在所述滑桿(42)底部，所述卡鉗(43)能夠?qū)λ鰺醾鲗?dǎo)筒(3)進(jìn)行夾持；所述移動(dòng)組件(5)包括套筒(51)和驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)(52)，所述套筒(51)固定連接在所述退火網(wǎng)箱(2)內(nèi)壁上，所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)(52)位于所述退火網(wǎng)箱(2)內(nèi)，所述熱傳導(dǎo)筒(3)與所述套筒(51)能夠同軸移動(dòng)配合，所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)(52)用于驅(qū)動(dòng)所述熱傳導(dǎo)筒(3)相對(duì)所述套筒(51)移動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種磁粉芯生產(chǎn)用退火爐，其特征在于，所述套筒(51)包括固定桿(511)、支撐環(huán)(512)以及定位輪(513)，若干所述固定桿(511)一端均設(shè)置在所述退火網(wǎng)箱(2)內(nèi)部遠(yuǎn)離所述進(jìn)口的一側(cè)，若干所述支撐環(huán)(512)分別被若干所述固定桿(511)貫穿且固定連接，若干所述定位輪(513)分別設(shè)置在若干所述支撐環(huán)(512)內(nèi)環(huán)處，若干所述定位輪(513)均與所述熱傳導(dǎo)筒(3)外壁貼合。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種磁粉芯生產(chǎn)用退火爐，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)(52)包括固定板(521)、電機(jī)(522)以及導(dǎo)輪(523)，所述固定板(521)設(shè)置在所述進(jìn)口內(nèi)部，所述電機(jī)(522)設(shè)置在所述固定板(521)遠(yuǎn)離所述進(jìn)口的一端底部，所述導(dǎo)輪(523)設(shè)置在所述電機(jī)(522)輸出端，所述導(dǎo)輪(523)與所述熱傳導(dǎo)筒(3)外壁貼合。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種磁粉芯生產(chǎn)用退火爐，其特征在于，所述平衡組件(6)包括多個(gè)螺紋柱(61)、多個(gè)螺紋套(62)以及多個(gè)底座(63)，四個(gè)所述螺紋柱(61)分別設(shè)置在所述安裝架(1)底部四角位置。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種磁粉芯生產(chǎn)用退火爐，其特征在于，所述螺紋套(62)螺紋連接在所述螺紋柱(61)底部，所述底座(63)設(shè)置在所述螺紋套(62)底部。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開(kāi)了一種磁粉芯生產(chǎn)用退火爐，涉及退火爐技術(shù)領(lǐng)域，包括安裝架、退火網(wǎng)箱、熱傳導(dǎo)筒、推移組件以及移動(dòng)組件，退火網(wǎng)箱設(shè)置在安裝架內(nèi)部，退火網(wǎng)箱具有進(jìn)口，推移組件包括驅(qū)動(dòng)源、滑軌、滑桿以及卡鉗，滑軌固定設(shè)置在安裝架頂部，滑桿滑動(dòng)連接在滑軌底部，卡鉗設(shè)置在滑桿底部，卡鉗能夠?qū)醾鲗?dǎo)筒進(jìn)行夾持；移動(dòng)組件包括套筒和驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，套筒固定連接在退火網(wǎng)箱內(nèi)壁上，驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)位于退火網(wǎng)箱內(nèi)，熱傳導(dǎo)筒與套筒能夠同軸移動(dòng)配合，驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)用于驅(qū)動(dòng)熱傳導(dǎo)筒相對(duì)套筒移動(dòng)，通過(guò)啟動(dòng)電機(jī)帶動(dòng)導(dǎo)輪轉(zhuǎn)動(dòng)，使得熱傳導(dǎo)筒能夠被推移至退火網(wǎng)箱外部或內(nèi)部，以便于進(jìn)行退火之后的操作。

技術(shù)研發(fā)人員：王宏安,王文博
受保護(hù)的技術(shù)使用者：洛陽(yáng)晟源新材料有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240515
技術(shù)公布日：2024/12/26