本技術(shù)涉及復(fù)合材料氣相設(shè)備，具體涉及一種化學(xué)氣相沉積爐。

背景技術(shù)：

1、化學(xué)氣相沉積(cvi)是制造c/c復(fù)合材料的首選工藝方法，它是將碳纖維預(yù)制體置于專(zhuān)用的cvi爐內(nèi)，加熱至要求溫度，通入前驅(qū)氣體(碳?xì)浠衔?，氣體分解后擴(kuò)散至含有孔隙的預(yù)制體中，將碳沉積在碳纖維周?chē)涂紫吨?，使預(yù)制體致密化，最終形成c/c復(fù)合材料。為保證沉積效果，提高沉積效率和質(zhì)量，需要前驅(qū)氣體(碳?xì)浠衔?在進(jìn)入沉積區(qū)前預(yù)熱至一定溫度，一是提高前驅(qū)氣體分解效果；二是防止常溫或氣化后溫度低的前驅(qū)氣體進(jìn)入沉積區(qū)，造成爐膛局部溫度降低，影響沉積效果。

2、現(xiàn)有技術(shù)中，通過(guò)在沉積爐底部加裝預(yù)熱器以對(duì)沉積爐底部的氣體進(jìn)行預(yù)熱，但是相關(guān)預(yù)熱器的結(jié)構(gòu)復(fù)雜，制造成本高且拆裝繁瑣。為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題，公開(kāi)號(hào)為cn220550222u的實(shí)用新型公開(kāi)了氣體預(yù)熱裝置和沉積爐，下述稱(chēng)為：現(xiàn)有技術(shù)1)，包括第一單元?dú)?，第一單元?dú)ぐǖ谝簧w體和第一筒殼，第一筒殼形具有容納空間，第一蓋體上開(kāi)設(shè)有多個(gè)第一通孔以與容納空間連通；以及至少一個(gè)第二單元?dú)?，第二單元?dú)ぐǖ诙w體和第二筒殼，第二蓋體固定安裝于第二筒殼，第二筒殼和/或第二蓋體開(kāi)設(shè)有連通部；其中，至少一個(gè)第二單元?dú)耐庀騼?nèi)依次嵌套在第一單元?dú)ぶ?，并且第二單元?dú)ねㄟ^(guò)所述連通部與容納空間連通。通過(guò)上述技術(shù)方案，該氣體預(yù)熱裝置能夠提升待預(yù)熱氣體的預(yù)熱效果。

3、現(xiàn)有技術(shù)1中的氣體預(yù)熱裝置雖然結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，便于拆裝；但是現(xiàn)有技術(shù)1中的氣體預(yù)熱裝置無(wú)法根據(jù)實(shí)際進(jìn)氣量的變化選擇單或多通道預(yù)熱，影響到了氣體預(yù)熱的效果。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種化學(xué)氣相沉積爐，其在實(shí)際的使用過(guò)程中，能夠解決現(xiàn)有技術(shù)中的氣體預(yù)熱裝置無(wú)法根據(jù)實(shí)際進(jìn)氣量的變化選擇單或多通道預(yù)熱，影響到了氣體預(yù)熱的效果的問(wèn)題。

2、為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是：

3、一種化學(xué)氣相沉積爐，包括沉積爐本體，還包括：

4、進(jìn)氣底板，所述進(jìn)氣底板用于與氣象沉積爐本體連接，進(jìn)氣底板上設(shè)置有進(jìn)氣口，進(jìn)氣底板上連接有第一擋環(huán)；

5、分氣部，所述分氣部安裝在進(jìn)氣底板上，分氣部上連接有第二擋環(huán)；

6、出氣蓋板，所述出氣蓋板安裝在分氣部上，出氣蓋板上設(shè)置有第一出氣口，出氣蓋板與進(jìn)氣底板之間形成第二出氣口；

7、其中，進(jìn)氣底板與分氣部之間形成預(yù)熱流道，進(jìn)氣底板上螺紋安裝有用于對(duì)第二出氣口進(jìn)行封堵的封堵組件。

8、優(yōu)選的，所述第一擋環(huán)和第二擋環(huán)交錯(cuò)設(shè)置。

9、優(yōu)選的，第一擋環(huán)和第二擋環(huán)上設(shè)置有加熱部。

10、優(yōu)選的，所述加熱部為半圓形。

11、優(yōu)選的，所述第一擋環(huán)和第二擋環(huán)為波浪形環(huán)狀結(jié)構(gòu)。

12、優(yōu)選的，第一出氣口和第二出氣口呈錐形狀。

13、優(yōu)選的，所述出氣蓋板上連接有限位環(huán)，限位環(huán)與分氣部可拆卸連接。

14、優(yōu)選的，進(jìn)氣底板與分氣部之間可拆卸連接，且進(jìn)氣底板與分氣部之間設(shè)置有密封墊。

15、優(yōu)選的，封堵組件包括封堵部和密封圈，密封圈固定連接在出氣蓋板的底端，封堵部與進(jìn)氣底端螺紋連接。

16、優(yōu)選的，封堵部位于沉積爐本體外的一端固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)桿。

17、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下有益效果：

18、在對(duì)氣體進(jìn)行預(yù)熱時(shí)，分氣部、進(jìn)氣底板和出氣蓋板的側(cè)面通過(guò)直接吸收來(lái)自沉積爐本體內(nèi)的輻射和傳導(dǎo)熱，能夠?qū)⒎謿獠?、進(jìn)氣底板和出氣蓋板加熱到預(yù)熱溫度；分氣部、進(jìn)氣底板和出氣蓋板達(dá)到預(yù)熱溫度后，待預(yù)熱氣體通過(guò)進(jìn)氣底板和分氣部之間形成的預(yù)熱流道內(nèi)對(duì)氣體進(jìn)行預(yù)熱；

19、通過(guò)設(shè)置第一擋環(huán)和第二擋環(huán)能夠延長(zhǎng)進(jìn)氣底板與分氣部之間形成的預(yù)熱流道的路徑，進(jìn)一步提高加熱后的分氣部與進(jìn)氣底板對(duì)預(yù)熱流道內(nèi)的氣體的加熱效果；且通過(guò)第一擋環(huán)與第二擋環(huán)之間形成的預(yù)熱流道能夠在保證氣體預(yù)熱充分性的前提下，減少了用于對(duì)氣體進(jìn)行預(yù)熱的裝置的占用空間，保證了裝爐量；

20、當(dāng)通入預(yù)熱流道內(nèi)的氣體較少時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)螺紋連接在進(jìn)氣底板上的封堵組件，使得封堵組件向上移動(dòng)后能夠?qū)Τ鰵馍w板與進(jìn)氣底板組件形成的第二出氣口進(jìn)行封堵，使得待預(yù)熱氣體只能通過(guò)第一出氣口排入爐體內(nèi)，避免了通入預(yù)熱流道內(nèi)的氣體較少時(shí)，氣體同時(shí)從第一出氣口和第二出氣口排出會(huì)導(dǎo)致無(wú)法對(duì)氣體進(jìn)行充分預(yù)熱。

技術(shù)特征：

1.一種化學(xué)氣相沉積爐，包括沉積爐本體(101)，其特征在于，還包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種化學(xué)氣相沉積爐，其特征在于：所述第一擋環(huán)(104)和第二擋環(huán)(105)交錯(cuò)設(shè)置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種化學(xué)氣相沉積爐，其特征在于：第一擋環(huán)(104)和第二擋環(huán)(105)上設(shè)置加熱部(112)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種化學(xué)氣相沉積爐，其特征在于：所述加熱部(112)為半圓形。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種化學(xué)氣相沉積爐，其特征在于：所述第一擋環(huán)(104)和第二擋環(huán)(105)為波浪形環(huán)狀結(jié)構(gòu)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種化學(xué)氣相沉積爐，其特征在于：第一出氣口(108)和第二出氣口(109)呈錐形狀。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種化學(xué)氣相沉積爐，其特征在于：所述出氣蓋板(107)上連接有限位環(huán)，限位環(huán)與分氣部(106)可拆卸連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種化學(xué)氣相沉積爐，其特征在于：進(jìn)氣底板(102)與分氣部(106)之間可拆卸連接，且進(jìn)氣底板(102)與分氣部(106)之間設(shè)置有密封墊。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種化學(xué)氣相沉積爐，其特征在于：封堵組件(111)包括封堵部(115)和密封圈(114)，密封圈(114)固定連接在出氣蓋板(107)的底端，封堵部(115)與進(jìn)氣底端螺紋連接。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種化學(xué)氣相沉積爐，其特征在于：封堵部(115)位于沉積爐本體(101)外的一端固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)桿(113)。

技術(shù)總結(jié)
本實(shí)施例公開(kāi)了一種化學(xué)氣相沉積爐，具體公開(kāi)了一種化學(xué)氣相沉積爐，包括沉積爐本體、進(jìn)氣底板、分氣部和出氣蓋板，所述進(jìn)氣底板用于與氣象沉積爐本體連接，進(jìn)氣底板上設(shè)置有進(jìn)氣口，進(jìn)氣底板上連接有第一擋環(huán)；所述分氣部安裝在進(jìn)氣底板上，分氣部上連接有第二擋環(huán)；所述出氣蓋板安裝在分氣部上，出氣蓋板上設(shè)置有第一出氣口，出氣蓋板與進(jìn)氣底板之間形成第二出氣口；其中，進(jìn)氣底板與分氣部之間形成預(yù)熱流道，進(jìn)氣底板上螺紋安裝有用于對(duì)第二出氣口進(jìn)行封堵的封堵組件；本技術(shù)能夠解決現(xiàn)有技術(shù)中的氣體預(yù)熱裝置無(wú)法根據(jù)實(shí)際進(jìn)氣量的變化選擇單或多通道預(yù)熱，影響到了氣體預(yù)熱效果的問(wèn)題。

技術(shù)研發(fā)人員：郭慶良,朱偉忠
受保護(hù)的技術(shù)使用者：德陽(yáng)深捷科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240520
技術(shù)公布日：2025/1/6