本技術(shù)是一種晶圓拋光用卡盤(pán)結(jié)構(gòu)，屬于晶圓加工設(shè)備。

背景技術(shù)：

1、晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，由于其形狀為圓形，故稱為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能之ic產(chǎn)品。晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅。

2、中國(guó)專利號(hào)：cn217942962u，提及了一種晶圓拋光用卡盤(pán)結(jié)構(gòu)，通過(guò)設(shè)置帶有硅膠膜的盤(pán)體，在吸附固定作業(yè)時(shí)利用硅膠膜形變產(chǎn)生吸附作用，避免拋光液及其拋光碎屑不可避免的殘留在晶圓吸附卡盤(pán)上，結(jié)晶污染卡盤(pán)，從而避免印記缺陷，提高晶圓品質(zhì)，但此裝置對(duì)于硅膠膜的緊固效果一般，而且拋光碎屑落在硅膠膜上時(shí)，需要工作人員額外使用工具清理，便捷性不高，現(xiàn)在急需一種晶圓拋光用卡盤(pán)結(jié)構(gòu)來(lái)解決上述出現(xiàn)的問(wèn)題。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的不足，本實(shí)用新型目的是提供一種晶圓拋光用卡盤(pán)結(jié)構(gòu)，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題，本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)合理，實(shí)用性好，通過(guò)設(shè)置限位機(jī)構(gòu)，加強(qiáng)了硅膠膜的穩(wěn)固性，使其更不易脫落，且便于對(duì)拋光碎屑進(jìn)行清理，具有較高的便攜性。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型是通過(guò)如下的技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)：一種晶圓拋光用卡盤(pán)結(jié)構(gòu)，包括硅膠膜、限位機(jī)構(gòu)、轉(zhuǎn)動(dòng)清潔機(jī)構(gòu)以及盤(pán)體，所述硅膠膜下方固接有軟磁圈，所述軟磁圈環(huán)形側(cè)面貫穿開(kāi)設(shè)有多個(gè)第一限位孔，所述盤(pán)體環(huán)形側(cè)面開(kāi)設(shè)有凹槽，所述盤(pán)體環(huán)形側(cè)面對(duì)稱套接有磁環(huán)，所述盤(pán)體下方邊側(cè)安裝有底盤(pán)，所述底盤(pán)上方邊側(cè)固接有安裝環(huán)，所述安裝環(huán)環(huán)形側(cè)面貫穿開(kāi)設(shè)有多個(gè)圓孔，所述限位機(jī)構(gòu)包括方型塊、限位柱以及滑塊，所述方型塊上方開(kāi)設(shè)有滑槽，所述滑塊滑動(dòng)安裝在滑槽內(nèi)，所述限位柱伸縮安裝在方型塊右端，所述限位柱環(huán)形側(cè)面套接有圓片，所述圓片左側(cè)安裝有彈簧，所述轉(zhuǎn)動(dòng)清潔機(jī)構(gòu)包括弧面塊、滾柱軸承以及氣泵。

3、進(jìn)一步地，所述滑塊上方安裝有l(wèi)型板，所述l型板下端與圓片固接，所述l型板上方安裝有把手，所述方型塊左端安裝有安裝板，所述限位機(jī)構(gòu)設(shè)有多個(gè)，多個(gè)所述限位機(jī)構(gòu)分別安裝在安裝環(huán)環(huán)形側(cè)面，且多個(gè)限位柱分別穿過(guò)圓孔。

4、進(jìn)一步地，所述弧面塊上方開(kāi)設(shè)有安裝槽，所述滾柱軸承安裝在安裝槽內(nèi)部，所述滾柱軸承內(nèi)圈安裝有調(diào)節(jié)軸，所述氣泵輸出端安裝有通管，所述通管上方連通安裝有金屬軟管，所述轉(zhuǎn)動(dòng)清潔機(jī)構(gòu)通過(guò)弧面塊安裝在安裝環(huán)環(huán)形側(cè)面。

5、進(jìn)一步地，兩個(gè)所述磁環(huán)的磁性分別與軟磁圈磁性相反。

6、進(jìn)一步地，所述底盤(pán)與盤(pán)體的連接方式為螺栓連接。

7、進(jìn)一步地，所述盤(pán)體中部貫穿嵌裝有通風(fēng)管。

8、本實(shí)用新型的有益效果：本實(shí)用新型的一種晶圓拋光用卡盤(pán)結(jié)構(gòu)，因本實(shí)用新型添加了滾柱軸承、氣泵、金屬軟管、彈簧、方型塊、磁環(huán)以及軟磁圈，經(jīng)過(guò)我們的設(shè)計(jì)改進(jìn)及實(shí)際使用表明，本裝置結(jié)構(gòu)合理，實(shí)用性好，通過(guò)設(shè)置限位機(jī)構(gòu)，加強(qiáng)了硅膠膜的穩(wěn)固性，使其更不易脫落，且便于對(duì)拋光碎屑進(jìn)行清理，具有較高的便攜性。

技術(shù)特征：

1.一種晶圓拋光用卡盤(pán)結(jié)構(gòu)，包括硅膠膜(1)、限位機(jī)構(gòu)(3)、轉(zhuǎn)動(dòng)清潔機(jī)構(gòu)(4)以及盤(pán)體(8)，其特征在于：所述硅膠膜(1)下方固接有軟磁圈(5)，所述軟磁圈(5)環(huán)形側(cè)面貫穿開(kāi)設(shè)有多個(gè)第一限位孔(6)，所述盤(pán)體(8)環(huán)形側(cè)面開(kāi)設(shè)有凹槽(10)，所述盤(pán)體(8)環(huán)形側(cè)面對(duì)稱套接有磁環(huán)(11)，所述盤(pán)體(8)下方邊側(cè)安裝有底盤(pán)(7)，所述底盤(pán)(7)上方邊側(cè)固接有安裝環(huán)(2)，所述安裝環(huán)(2)環(huán)形側(cè)面貫穿開(kāi)設(shè)有多個(gè)圓孔(12)；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓拋光用卡盤(pán)結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述滑塊(33)上方安裝有l(wèi)型板(36)，所述l型板(36)下端與圓片(38)固接，所述l型板(36)上方安裝有把手(34)，所述方型塊(30)左端安裝有安裝板(31)，所述限位機(jī)構(gòu)(3)設(shè)有多個(gè)，多個(gè)所述限位機(jī)構(gòu)(3)分別安裝在安裝環(huán)(2)環(huán)形側(cè)面，且多個(gè)限位柱(35)分別穿過(guò)圓孔(12)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓拋光用卡盤(pán)結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述弧面塊(40)上方開(kāi)設(shè)有安裝槽(41)，所述滾柱軸承(42)安裝在安裝槽(41)內(nèi)部，所述滾柱軸承(42)內(nèi)圈安裝有調(diào)節(jié)軸(44)，所述氣泵(43)輸出端安裝有通管(45)，所述通管(45)上方連通安裝有金屬軟管(46)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)清潔機(jī)構(gòu)(4)通過(guò)弧面塊(40)安裝在安裝環(huán)(2)環(huán)形側(cè)面。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓拋光用卡盤(pán)結(jié)構(gòu)，其特征在于：兩個(gè)所述磁環(huán)(11)的磁性分別與軟磁圈(5)磁性相反。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓拋光用卡盤(pán)結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述底盤(pán)(7)與盤(pán)體(8)的連接方式為螺栓連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓拋光用卡盤(pán)結(jié)構(gòu)，其特征在于：所述盤(pán)體(8)中部貫穿嵌裝有通風(fēng)管(9)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供一種晶圓拋光用卡盤(pán)結(jié)構(gòu)，包括硅膠膜、限位機(jī)構(gòu)、轉(zhuǎn)動(dòng)清潔機(jī)構(gòu)以及盤(pán)體，硅膠膜下方固接有軟磁圈，盤(pán)體環(huán)形側(cè)面開(kāi)設(shè)有凹槽，盤(pán)體環(huán)形側(cè)面對(duì)稱套接有磁環(huán)，盤(pán)體下方邊側(cè)安裝有底盤(pán)，底盤(pán)上方邊側(cè)固接有安裝環(huán)，安裝環(huán)環(huán)形側(cè)面貫穿開(kāi)設(shè)有多個(gè)圓孔，方型塊上方開(kāi)設(shè)有滑槽，滑塊滑動(dòng)安裝在滑槽內(nèi)，限位柱環(huán)形側(cè)面套接有圓片，圓片左側(cè)安裝有彈簧，該設(shè)計(jì)解決了原有裝置對(duì)于硅膠膜的緊固效果一般，而且拋光碎屑落在硅膠膜上時(shí)，需要工作人員額外使用工具清理，便捷性不高的問(wèn)題，本技術(shù)結(jié)構(gòu)合理，實(shí)用性好，通過(guò)設(shè)置限位機(jī)構(gòu)，加強(qiáng)了硅膠膜的穩(wěn)固性，使其更不易脫落，且便于對(duì)拋光碎屑進(jìn)行清理，具有較高的便攜性。

技術(shù)研發(fā)人員：張金
受保護(hù)的技術(shù)使用者：唐山學(xué)院
技術(shù)研發(fā)日：20240522
技術(shù)公布日：2025/1/9